技术总结
本发明提供一种热分解氮化硼容器及其制造方法，所述热分解氮化硼容器不易于产生脱膜、剥离等，且最适于培养单晶。为此，本发明提供一种热分解氮化硼容器的制造方法以及热分解氮化硼容器，所述热分解氮化硼容器的制造方法，是制造热分解氮化硼容器的方法，其由以下步骤构成：使用热化学气相沉积法，将热分解氮化硼成膜于碳制的容器模具材料上；通过将所述成膜物从所述容器模具材料卸下，来获得容器形状的成型体；通过氧化处理所述容器形状的成型体，来去除源自所述容器模具材料并附着于表面上的碳；之后，对所述容器形状的成型体，从与模具材料相接侧的面实施薄化处理，形成一容器。
技术研发人员：狩野正树
受保护的技术使用者：信越化学工业株式会社
文档号码：201610405107
技术研发日：2016.06.08
技术公布日：2016.12.21