1.一种制备SiO/C复合材料的设备,包括炉体,所述炉体外设有用于所述炉体降温的第一冷却循环系统,其特征在于,所述炉体内依次设有如下三个腔室:
用于反应原料发生反应、提供反应产物的反应室;
用于提供隔热作用、形成温差效应的过渡室;
用于沉积、获取目的产物的沉积室;
其中,所述反应室与所述过渡室之间、所述过渡室与所述沉积室之间均为密封连接,所述反应室和沉积室均设有加热装置和多点温控系统,所述沉积室外设有用于所述沉积室降温的第二冷却循环系统,所述过渡室与所述沉积室的连接处设有可导入气体用于沉积的导入口,所述导入口与气体导入装置相连;所述三个腔室中,至少所述沉积室与所述炉体内壁存在间隙,所述间隙形成一个与所述沉积室相通的真空室。
2.如权利要求1所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述反应室内壁设有石墨内衬。
3.如权利要求1所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述三个腔室的内壁均由非金属材料制得,形成非金属层。
4.如权利要求1所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述沉积室内设有用于沉积的沉积基体,所述沉积基体由非金属材料制得。
5.如权利要求3或4所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述非金属材料为陶瓷、石墨、碳化硅或石英玻璃。
6.如权利要求1所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述炉体外部套有夹套结构,所述夹套结构与所述第一冷却循环系统相连。
7.如权利要求3所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述过渡室的非金属层与所述过渡室的外壁之间填充有保温材料。
8.如权利要求1至4任一项所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述真空室与沉积室之间通过多孔挡板相隔。
9.如权利要求1所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述三个腔室和炉体内部形状一致。
10.如权利要求1或6所述的一种制备SiO/C复合材料的设备,其特征在于,所述第一冷却循环系统和第二冷却循环系统的冷却介质为水或乙醇。