1.可控气氛薄层渗碳工艺,其特征在于:所述渗碳工艺是在钛合金上进行渗碳的工艺,所述工艺在等离子渗碳真空炉中进行,具体为:
以钛合金作为工件极,工件极的电压为350~400V,工件极的渗碳温度为900~1000℃;
以石墨为源极,源极的电压为750~900V;
以氩气为载气,控制氩气的工作压力在0.1Pa~30Pa,且随着渗碳工艺的进行使氩气的工作压力逐渐减小,
渗碳时间为至少0.5h。
2.根据权利要求1所述的工艺,其特征在于:所述以氩气为载气,控制氩气初始工作压力为20~30Pa,渗碳工艺结束时氩气工作压力为0.1~5Pa,在渗碳过程中匀速降低氩气的工作压力;
渗碳时间为至少3h。
3.根据权利要求2所述的工艺,其特征在于:所述以氩气为载气,控制氩气初始工作压力为25Pa,渗碳工艺结束时氩气工作压力为1Pa,在渗碳过程中匀速降低氩气的工作压力;
渗碳时间为4h。
4.根据权利要求1所述的工艺,其特征在于:所述钛合金为TiAl合金。
5.利用权利要求1所述工艺制得的钛合金,其特征在于:所述钛合金表面渗碳层为200~500微米,渗碳层的硬度为9000~12000MPa。