纳米多孔金及其制备方法与流程

文档序号:12109649阅读:来源:国知局

技术特征:

1.纳米多孔金,其特征在于:其孔隙率沿厚度呈梯度变化。

2.根据权利要求1所述的纳米多孔金,其特征在于:所述孔隙率沿厚度呈梯度变化为孔隙率沿厚度呈线性变化。

3.根据权利要求2所述的纳米多孔金,其特征在于:所述孔隙率沿厚度呈线性变化由Au含量从5~40%线性变化到30~40%的纳米多孔金前驱体经去合金化处理实现,所述的纳米多孔金前驱体为金与其他金属所形成的合金,所述的其他金属为Ag、Cu或Al中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的纳米多孔金,其特征在于:所述纳米多孔金前驱体中Au含量从15~25%线性变化到35~40%。

5.根据权利要求4所述的纳米多孔金,其特征在于:所述纳米多孔金前驱体中Au含量从20%线性变化到40%。

6.纳米多孔金的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

A、采用磁控共溅射薄膜沉积法制备纳米多孔金前驱体;一靶材为Au靶,另一靶材为活泼金属靶;控制任一靶材功率不变,另一靶材功率变化或控制两个靶材功率变化但变化不同;

B、将纳米多孔金前驱体在酸性溶液中进行去合金化处理即可。

7.根据权利要求6所述的纳米多孔金的制备方法,其特征在于:步骤A中,采用磁控共溅射薄膜沉积法沉积时,先控制装置背底真空度高于2.5×10-4Pa,然后通入溅射气体氩气将压力控制为0.1~2Pa。

8.根据权利要求6所述的纳米多孔金的制备方法,其特征在于:步骤A中,所述活泼金属靶为Ag、Cu或Al中的任意一种。

9.根据权利要求6所述的纳米多孔金的制备方法,其特征在于:步骤A中,所述另一靶材功率变化为线性变化。

10.根据权利要求6所述的纳米多孔金的制备方法,其特征在于:步骤A中,通过控制沉积时间来控制纳米多孔金前驱体的厚度。

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