一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板的制作方法

文档序号:12393920阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板包括ITO面和蒸镀面,所述掩模板上设有贯穿ITO面和蒸镀面的蒸镀孔,所述蒸镀面上设有用于提高所述掩模板的强度和硬度的纳米层。

2.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板包括蒸镀区和定位区,所述蒸镀孔设在所述蒸镀区内,所述定位区内设有定位孔。

3.根据权利要求2所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述蒸镀孔的内壁设有所述纳米层。

4.根据权利要求2所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述ITO面设有所述纳米层。

5.根据权利要求2所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述掩模板采用不锈钢、纯镍或镍合金任意一种材料制成。

6.根据权利要求2所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述蒸镀孔在所述蒸镀区上均匀设置多个,所述蒸镀孔之间设有连接部。

7.根据权利要求1至6任一所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述蒸镀孔在所述蒸镀面上的开口形状为圆形、正三角形、矩形或正多边形。

8.根据权利要求7所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述纳米层为碳化钛膜。

9.根据权利要求7所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述纳米层为氮化钛膜。

10.根据权利要求7所述的一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板,其特征在于,所述纳米层为氮化铬膜。

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