镀膜组分纯净的光学用真空腔体的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜邻域，具体涉及一种镀膜组分纯净的光学用真空腔体。

背景技术：

OLED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。囚为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。

现在的蒸镀工艺都需要经历抽真空、加热及镀膜等一系列过程，而在镀膜之前的加热过程中，在未达到蒸发物的蒸发温度时就会有蒸发源将杂质蒸发掉，另有一些蒸发物在加热蒸发过程中会释放出气体。这些杂质和不稳定的气体扩散会造成薄膜厚度不均、组分不净、性能不稳、应力较大、附着不牢固等缺点，影响镀膜质量，薄膜质量侧直接影响显示器件的发光效率。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题在于，提供一种仅在达到蒸发物温度时才对靶材进行蒸镀的光学用真空腔体，且提高了镀膜质量，不会出现薄膜厚度不均、组分不净、性能不稳、应力较大、附着不牢固等缺点，并且节省电量消耗，节约了能源。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：镀膜组分纯净的光学用真空腔体，包括真空腔体本体，在位于真空腔体本体的用于置放蒸发源的底部的正上方设有铰接在真空腔体本体上部的挡盖，挡盖下设置由记忆合金材料制成的弹簧，真空腔体本体的底部包括用于置放蒸发源的台阶，台阶内壁设置将蒸发源的底部和侧面包裹的隔热材料层；所述弹簧采用变态温度为40℃的NiTi记忆合金材料，弹簧的一端固定在机械延时开关的中空转筒的侧壁上，弹簧的另一端固定连接阻挡板，阻挡板抵靠在真空腔体本体侧壁的凸块上；机械延时开关包括一个丝杠螺母机构、与丝杠固定连接的中空转筒、绕设在中空转筒上的扭簧及中空转筒上固定设置的弹簧，中空转筒的侧面上位于底部位置设置弹簧，扭簧的一端固定在中空转筒的底部，扭簧的另一端固定连接在真空腔体本体的侧壁上，绕设在中空转筒上的扭簧处于被拉伸的状态；中空转筒的前端与丝杠固定连接，中空转筒的中心对称轴与丝杠的中心对称轴共线且为倾斜布置，丝杠的另一端即丝杠的前端距离挡盖开合盒子的盒盖的弹性锁扣一段距离，丝杠上的螺母的外侧面与真空腔体本体的侧壁上的连接杆固定相连，连接杆与真空腔体本体一体成型；挡盖开合盒子包括盒盖、盒体和第二弹簧，盒体为顶部开口的带底圆筒形，盒盖为带弹性锁扣的圆盘，圆盘的顶部的侧面固定连接弹性锁扣，圆盘的直径与盒体的内壁的直径相同，第二弹簧的一端固定连接在盒体的底部的内壁上，第二弹簧的另一端固定连接圆盘的下底面，盒体的高度满足盒盖的上表面处于盒体的顶端时第二弹簧处于被压紧的状态，弹性锁扣采用弹性塑料材质制成，形状为碗形，盒体的上部的外表面上还设有和弹性锁扣匹配的凸起。这里选取较易得的记忆合金材料—变态温度为40℃的NiTi记忆合金材料，成本低且易得，但是考虑到一般给塑料镀膜一般都是在80℃左右，因此此处配合机械延时开关，当达到40℃时弹簧变形并产生作用触发机械延时开关启动，然后经过一段时间（时间的设定根据前期多次实验后统计真空腔体本体内从40℃达到80℃的时间，并结合调整扭簧的绕设拉伸情况以及丝杠的前端距离挡盖开合盒子的盒盖的弹性锁扣的距离来设定）后挡盖开合盒子作用，挡盖开启；也可以通过更换扭簧或调整丝杠的前端距离挡盖开合盒子的盒盖的弹性锁扣的距离（这里的距离指沿着丝杠的中心对称轴线方向的距离）来达到更长的延时以满足给玻璃镀膜（一般给玻璃镀膜在200℃左右）；时间上根据前期多次实验或在汇总记录以前从40℃至80℃（或40℃至200℃）的时间来选择合适的扭簧或丝杠的前端距离挡盖开合盒子的盒盖的弹性锁扣的距离以设定合适的时间。或者针对给玻璃镀膜的情况，也可采用变态温度为80℃的TiNiCu或TiNi记忆合金材料，然后详细记录之前的情况（从80℃至200℃的时间）来选择合适的扭簧。动作过程为：蒸发源开始加热后，温度慢慢升高，当达到40℃时，采用变态温度为40℃的NiTi记忆合金材料制成的弹簧变形（收缩），阻挡板离开凸块，由此中空转筒缺少了凸块的阻挡被拉伸的扭簧开始收缩并带动转筒旋转，由于螺母固定，因此丝杠在旋转的过程中向弹性锁扣方向前进，并且是倾斜向上的方向，经过一段时间后达到挡盖开合盒子的盒盖的弹性锁扣处，由于丝杠倾斜向上前进，因此在继续前进过程中，对弹性锁扣具备一个竖直向上的分力和水平方向的使弹性锁扣离开盒体的分力，由此极易推开弹性锁扣，第二弹簧由于盒盖没有了弹性锁扣的原因释放弹力，盒盖被顶起，由此其上方的挡盖被顶起，因此实现了在达到蒸发物温度时才对靶材进行蒸镀。

作为本实用新型镀膜组分纯净的光学用真空腔体的另一种改进，真空腔体本体的顶部设有用于夹持待镀膜样品的旋转夹具，旋转夹具的转轴采用形状记忆合金材料制成。这样的设置是利用了形状记忆合金的伪弹性的性质，可以在待镀膜样品的旋转过程中充分减震，使得旋转更平稳，这样镀膜更均匀，镀膜质量得到提高。

作为本实用新型镀膜组分纯净的光学用真空腔体的进一步改进，与丝杠配合的螺母设有两个，每个螺母的外侧面均与真空腔体本体的侧壁上的一个连接杆固定相连，连接杆与真空腔体本体一体成型。这样的设置使得整个中空转筒在旋转上升过程中更平稳。

本实用新型仅在达到蒸发物温度时才对靶材进行蒸镀的光学用真空腔体，且提高了镀膜质量，不会出现薄膜厚度不均、组分不净、性能不稳、应力较大、附着不牢固等缺点；并且本实用新型可以灵活选择弹簧所用的记忆合金材料，根据实际情况设置不同的机械开关的延时时间以同样起到仅在达到蒸发物温度时才对靶材进行蒸镀；蒸发源处的腔体底壁设置隔热层，使得在挡盖打开后更集中供热蒸镀，减小电量的使用、节约能源；旋转夹具的旋转轴采用记忆合金能充分减震，使得旋转平稳，镀膜更均匀，镀膜质量得到提高；将丝杠倾斜设置，使得延时开关在打开弹性锁扣动作时具备水平方向的分力，更易打开盒盖。

附图说明

图1为本实用新型镀膜组分纯净的光学用真空腔体实施例一的结构示意图；

图2为图1中挡盖开合盒子部分的放大示意图；

图3为图1中弹簧和中空转筒部分的放大示意图；

图4为图1去除真空腔体本体顶部和挡盖后的俯视图；

图5为图4中丝杠螺母机构及弹簧部分的放大示意图；

图6为图4中弹簧受热变形后的状态示意图。

图中：1、真空腔体本体 2、挡盖 3、蒸发源 4、弹簧 5、台阶 6、隔热材料层 7、阻挡板 8、凸块 9、丝杠 10、中空转筒 11、扭簧 12、挡盖开合盒子 13、盒盖 14、弹性锁扣 15、螺母 16、连接杆 17、盒体 18、第二弹簧 19、凸起 20、旋转夹具 21、转轴。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的以及效果有更加清楚地了解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

如图1至图6所示，镀膜组分纯净的光学用真空腔体，包括包括真空腔体本体1，在位于真空腔体本体1的用于置放蒸发源3的底部的正上方设有铰接在真空腔体本体1上部的挡盖2，挡盖2下设置由记忆合金材料制成的弹簧4，真空腔体本体1的底部包括用于置放蒸发源3的台阶5，台阶5内壁设置将蒸发源3的底部和侧面包裹的隔热材料层6；所述弹簧4采用变态温度为40℃的NiTi记忆合金材料，弹簧4的一端固定在机械延时开关的中空转筒10的侧壁上，弹簧4的另一端固定连接阻挡板7，阻挡板7抵靠在真空腔体本体1侧壁的凸块8上；机械延时开关包括一个丝杠螺母机构、与丝杠9固定连接的中空转筒10、绕设在中空转筒10上的扭簧11及中空转筒10上固定设置的弹簧4，中空转筒10的侧面上位于底部位置设置弹簧4，扭簧11的一端固定在中空转筒10的底部，扭簧11的另一端固定连接在真空腔体本体1的侧壁上，绕设在中空转筒10上的扭簧11处于被拉伸的状态；中空转筒10的前端与丝杠9固定连接，中空转筒10的中心对称轴与丝杠9的中心对称轴共线且为倾斜布置，丝杠9的另一端即丝杠9的前端距离挡盖开合盒子12的盒盖13的弹性锁扣14一段距离，丝杠9上的螺母15的外侧面与真空腔体本体1的侧壁上的连接杆16固定相连，连接杆16与真空腔体本体1一体成型；挡盖开合盒子12包括盒盖13、盒体17和第二弹簧18，盒体17为顶部开口的带底圆筒形，盒盖13为带弹性锁扣14的圆盘，圆盘的顶部的侧面固定连接弹性锁扣14，圆盘的直径与盒体17的内壁的直径相同，第二弹簧18的一端固定连接在盒体17的底部的内壁上，第二弹簧18的另一端固定连接圆盘的下底面，盒体17的高度满足盒盖13的上表面处于盒体17的顶端时第二弹簧18处于被压紧的状态，弹性锁扣14采用弹性塑料材质制成，形状为碗形，盒体17的上部的外表面上还设有和弹性锁扣14匹配的凸起19。真空腔体本体1的顶部设有用于夹持待镀膜样品的旋转夹具20，旋转夹具20的转轴21采用形状记忆合金材料制成。与丝杠9配合的螺母15设有两个，每个螺母15的外侧面均与真空腔体本体1的侧壁上的一个连接杆16固定相连，连接杆16与真空腔体本体1一体成型。

以上内容是结合具体的优选技术方案对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。