1.一种真空加热装置，其特征在于，包括真空腔室，所述真空腔室内设有用于加热托盘的加热单元，所述真空腔室连通有氮气发生单元。
2.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述真空腔室内的底部设有用于导向托盘进入所述真空腔室的滑动导轨，所述真空腔室内的底部还设有用于支撑所述加热单元的多个第一支柱，各所述第一支柱间隔排列，所述真空腔室内的顶部设有用于固定托盘的磁性卡件。
3.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述真空腔室包括多个真空子腔室，各所述真空子腔室连通，所述氮气发生单元与各个所述真空子腔室连通，每个所述真空子腔室内设置一个所述加热单元。
4.根据权利要求3所述的真空加热装置，其特征在于，所述真空加热装置还包括设有用于抽出真空腔室内气体的真空泵，所述真空泵与各个所述真空子腔室连通。
5.根据权利要求3所述的真空加热装置，其特征在于，所述真空加热装置还设有用于排出杂质气体的排气单元，所述排气单元与各个所述真空子腔室连通。
6.根据权利要求3所述的真空加热装置，其特征在于，所述真空加热装置还设有用于控制所述加热单元的加热控制单元，所加热控制单元与各个所述加热单元连接。
7.根据权利要求3所述的真空加热装置，其特征在于，所述真空腔室的一侧设有取放口，所述取放口上设有密封门。
8.根据权利要求7所述的真空加热装置，其特征在于，相邻两个所述真空子腔室之间通过透气隔板隔离。
9.根据权利要求7所述的真空加热装置，其特征在于，相邻两个所述真空子腔室之间通过密闭隔板隔开，所述密闭隔板的底部设有多个间隔排列的第二支柱，所述第二支柱与相邻两个所述真空子腔室的底部接触。
10.根据权利要求1所述的真空加热装置，其特征在于，所述加热单元为加热板，所述加热板的加热面设有用于防止托盘与加热板接触的支撑件。