技术总结
本发明公开了一种热丝承载架以及金刚石薄膜沉积设备。本发明的热丝承载架包括主架体以及安装于主架体上的多根热丝，并且所述主架体包括平行设置的两固定架以及多个连接件；其中，多个所述连接件可拆卸地装设于所述固定架上，并可于所述固定架上沿水平方向左右滑动，所述主架体通过所述固定架上的连接件连接所述热丝，并且调节所述连接件可相应调节所述主架体上所安装的热丝的数量以及所安装热丝之间的间距。本发明的热丝承载架及金刚石薄膜沉积设备，可解决传统金刚石薄膜沉积设备中热丝固定不可调，导致无法灵活调控温度场而导致生成成本偏高、生产效率难以提高的问题。
技术研发人员：唐永炳;张松全;王陶
受保护的技术使用者：深圳先进技术研究院
文档号码：201710124589
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.06.23