平面靶材固定压紧装置的制作方法

本发明涉及磁控溅射真空镀膜技术领域，特别涉及一种平面靶材固定压紧装置。

背景技术：

近年来，随着科学的发展，技术的进步，表面科学和纳米薄膜变的越来越受重视，大到航空航天，小到手机手表，越来越多的薄膜技术被应用，而获取薄膜的技术也在不断的发展和进步，现如今，磁控溅射技术已经被广泛应用，为了获得各种性能的薄膜，这种技术日新月异。这种技术的关键在于可以通过不同种的电源，在基材上进行各种各样材料的镀膜，获得各种不同材料的纳米级的薄膜，所以靶材是这项技术的重中之重。

对于镀膜生产企业来说，时间是生产最重要的一项因素，而靶材的更换和维护严重的影响了生产效率，所以提高靶材的更换和维护速度是很关键的一个环节。

常规平面靶材需要压紧板对靶材进行固定，防止靶材移动造成不良后果，然而这种压板一般都是通过螺栓固定，拆卸靶材时需将把压板的螺栓全部拧下，把压紧板全部卸下后才能取出靶材。之后安装靶材时还需要将所有压板安装好，拧好所有螺栓才能完成靶材的更换。通常这种压紧板需要将靶材牢牢固定住，所以螺丝的数量较多，造成任务量大，更换靶材非常浪费时间，严重影响了生产进度。

技术实现要素：

本发明实施例提供了一种平面靶材固定压紧装置，以快速对靶材进行安装压紧和拆卸，节约时间，降低成本。

为了实现上述目的，本发明实施例提供了一种平面靶材固定压紧装置，该平面靶材固定压紧装置包括：压紧装置主体，至少一弹簧气胀压紧组件，至少一安装维护部件及设置在所述压紧装置主体内的压缩空气气路；

所述压紧装置主体上设置有用于安装所述弹簧气胀压紧组件的安装槽，以及压缩空气气嘴；所述压缩空气气嘴安装在与所述压缩空气气路连接的气嘴孔上，所述压缩空气气路通过一气管与所述安装槽联通；

所述弹簧气胀压紧组件包括压紧板及弹簧，所述弹簧一端固定在所述压紧板的底座上，所述压紧板在压缩空气或者弹簧的推动下沿所述安装槽移动，实现平面靶材的安装及压紧；

所述安装维护部件固定在所述压紧装置主体上，位于所述安装槽的开口处，与所述弹簧的另一端接触。

一实施例中，所述弹簧气胀压紧组件还包括：唇形密封圈，套设在所述压紧板底座的凹槽中。

一实施例中，所述压缩空气气嘴的个数为2，分别设置在所述压紧装置主体侧面的上部。

一实施例中，所述安装维护部件具有一用于对所述压紧板进行导向的限位部。

一实施例中，所述压紧板的底座上设有一台阶部，所述安装槽的开口处设有凸起部，所述凸起部与所述台阶部配合，对所述压紧板进行限位。

一实施例中，所述压缩空气气嘴尾部设有螺纹，与所述气嘴孔螺纹连接。

一实施例中，所述平面靶材固定压紧装置固定在靶材底座上，当平面靶材安装完成后，所述弹簧气胀压紧组件的压紧板抵压在平面靶材上。

一实施例中，当通过所述压缩空气气嘴鼓入压缩空气时，压缩空气首先进入所述压缩空气气路，然后通过气管进入所述安装槽，克服所述弹簧推力，推动所述压紧板沿所述安装槽移动，进入所述平面靶材的安装或更换状态。

一实施例中，当所述平面靶材的安装或更换后，通过按压所述压缩空气气嘴排出所述压缩空气，所述压紧板受所述弹簧推力作用沿安装槽移动，使得所述压紧板压紧所述平面靶材。

本发明实施例的平面靶材固定压紧装置，利用弹簧和气胀的方式压紧代替常规的螺丝压紧板压紧，不仅减少拆卸压紧板带来的工作量，而且极大的节约了工作时间。另外，该平面靶材固定压紧装置工作时减小了内外的压强差，大大增加了使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的剖视图一；

图2为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的上视图；

图3为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置压紧平面靶材示意图；

图4为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的主视图；

图5为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的剖视图二；

图6为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的压缩空气气路的透视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的剖视图一。图2为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的上视图。如图1及图2所示，该平面靶材固定压紧装置1包括：压紧装置主体11，至少一弹簧气胀压紧组件3，至少一安装维护部件4及设置在压紧装置主体11内的压缩空气气路2。

压紧装置主体11上经过机械加工，内部设置有用于安装弹簧气胀压紧组件3的安装槽6，还设置有压缩空气气嘴5以及用于固定与其连接的各个部件的螺栓孔。压缩空气气嘴5安装在与所述压缩空气气路连接的气嘴孔9上，压缩空气气路2通过一气管21与安装槽6联通。

一实施例中，压缩空气气嘴5的个数为2，分别设置在压紧装置主体11侧面的上部，如图2及图6所示。压缩空气气嘴5发尾部可以设有螺纹，与之对应的，可以在气嘴孔9的内表面设有螺纹，压缩空气气嘴5与气嘴孔9螺纹连接。

弹簧气胀压紧组件3包括压紧板31及弹簧33，弹簧一端固定在压紧板31的底座34上，压紧板31可在压缩空气或者弹簧的推动下沿安装槽移动，实现平面靶材的安装及压紧。

安装维护部件4固定在压紧装置主体11上，位于安装槽6的开口处，与弹簧33的另一端接触，以抵住弹簧33。安装维护部件4可以通过螺栓41固定在压紧装置主体11上。

一实施例中，安装维护部件4具有一用于对压紧板31进行导向的限位部42。

压紧装置主体11、压缩空气气体管路2及弹簧气胀压紧组件3构成了一个密封的气胀腔室。一实施例中，为了提高密封性，弹簧气胀压紧组件上还可以设有唇形密封圈32，唇形密封圈32套设在压紧板31的底座的凹槽36中。

压紧板31的底座上设有一台阶部35，安装槽6的开口处设有凸起12，凸起部12与台阶部35配合，对压紧板31进行限位。

具体实施时，如图3所示，平面靶材固定压紧装置1固定在靶材底座7上，弹簧气胀压紧组件的压紧板抵压在平面靶材上。图3中，平面靶材固定压紧装置1的个数为2个，通过平面靶材固定压紧装置1，可以压紧平面靶材8的两端。

图4为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的主视图。如图4所示，平面靶材固定压紧装置1可以通过螺栓6固定在靶材底座7上。

图5为本发明实施例的平面靶材固定压紧装置的剖视图二，如图1所示，平面靶材固定压紧装置1的状态为压紧状态，如图5所示，平面靶材固定压紧装置1的状态为松开状态。图1中，通过向安装在压缩空气鼓入气嘴孔9(如图6)上的压缩空气气嘴5鼓入压缩空气(可用压缩空气枪冲入气体，按压即可排出气体)，压缩空气首先进入压缩空气气路2，然后通过与压缩空气气路2连通的气管21进入安装槽6中，密封的安装槽6膨胀，克服弹簧33的推力，将压紧板31沿着安装槽6的路径推开，直至到达限位位置，平面靶材压紧装置1完全到达工作位置(即达到如图5所示的状态)，此时弹簧处于压缩状态，这时可以进行靶材更换工作。靶材安装好之后，通过按压压缩空气气嘴5排出压缩空气，压紧板31受弹簧33推力作用在安装槽内伸长，弹簧33紧紧抵住压紧板31，使得压紧板31压紧平面靶材8，平面靶材固定压紧装置1已经将平面靶材8固定，如图1所示。

本发明实施例的平面靶材固定压紧装置，利用弹簧和气胀的方式压紧代替常规的螺丝压紧板压紧，不仅减少拆卸压紧板带来的工作量，而且极大的节约了工作时间(可以使10分钟到30分钟甚至更多的工作时间缩短到几秒钟)。另外，该平面靶材固定压紧装置工作时减小了内外的压强差，大大增加了使用寿命。

本发明中应用了具体实施例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。