技术总结
本发明提供了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体及坩埚盖，所述坩埚本体用于盛放蒸发材料，所述坩埚盖设于所述坩埚本体上，并与所述坩埚本体相间隔，所述坩埚盖内设有多个相间隔设置的挡板，所述挡板一端固定于所述坩埚盖，另一端朝向所述坩埚本体延伸，所述挡板及所述坩埚盖用于承载所述蒸镀坩埚中受热蒸发的所述蒸发材料。本发明还提供了一种蒸镀装置。本发明提供的蒸镀坩埚和蒸镀装置可减少坩埚盖上的沉积材料脱落及防止沉积材料堵塞蒸发源。
技术研发人员：任晓光
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201710161640
技术研发日：2017.03.17
技术公布日：2017.06.20