技术特征：
技术总结
本发明提供一种基底支持组件、成膜设备和方法，属于成膜技术领域，其可至少部分解决现有的冷却板贴设铜胶带技术切线时间长、危险性大、容易导致粘片或碎片、厚度调整不灵活的问题。本发明的基底支持组件包括用于在成膜工艺中支持基底的支持板，支持板具有用于朝向基底的工作面，且，所述支持板的工作面上有多个间隔设置的开口，每个所述开口中设有活动块和驱动器，所述驱动器用于驱动活动块相对于工作面升降，以使所述活动块的顶面能在与工作面齐平和凸出于工作面的位置间运动。
技术研发人员：孙朴;吴文泽;刘德健;曹飞
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
技术研发日：2017.09.07
技术公布日：2017.11.21