一种管式PECVD石墨舟冷却房的制作方法

文档序号:12304683阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种管式PECVD石墨舟冷却房,包括冷却房(5),所述冷却房(5)的内部设置有冷却风扇(4),其特征在于,所述冷却房(5)的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨(8),所述机械手臂移动导轨(8)的内侧端开设有移动槽,所述移动槽中设置有机械手臂(7),所机械手臂(7)能够沿着所述移动槽移动,待冷却的石墨舟(1)的两端分别开设有卡槽,一个所述机械手臂(7)插入对应侧的一个所卡槽中配合,以将石墨舟(1)悬挂于所述冷却风扇(4)的上方。

2.根据权利要求1所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述机械手臂移动导轨(8)的长度c为80~120cm。

3.根据权利要求2所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述机械手臂移动导轨(8)的长度c为100cm。

4.根据权利要求1所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述机械手臂移动导轨(8)的宽度d为20~40cm。

5.根据权利要求4所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述机械手臂移动导轨(8)的宽度d为30cm。

6.根据权利要求1所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述机械手臂(7)的长度a为20~50cm。

7.根据权利要求6所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述机械手臂(7)的长度a为35cm。

8.根据权利要求1所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述机械手臂(7)的宽度b为10~20cm。

9.根据权利要求7所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述机械手臂(7)的宽度b为15cm。

10.根据权利要求1-9任一项所述的管式PECVD石墨舟冷却房,其特征在于,所述冷却房(5)的顶部设置有排风口(6)。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1