技术总结
本实用新型公开了一种管式PECVD石墨舟冷却房，包括冷却房，所述冷却房的内部设置有冷却风扇，所述冷却房的内部相对两侧壁对称设置有机械手臂移动导轨，所述机械手臂移动导轨的内侧端开设有移动槽，所述移动槽中设置有机械手臂，所机械手臂能够沿着所述移动槽移动，待冷却的石墨舟的两端分别开设有卡槽，一个所述机械手臂插入对应侧的一个所卡槽中配合，以将石墨舟悬挂于所述冷却风扇的上方。该管式PECVD石墨舟冷却房，能够明显改善石墨舟的冷却效果，减少冷却时间，提升产能。
技术研发人员：袁中存;党继东
受保护的技术使用者：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
文档号码：201720131178
技术研发日：2017.02.14
技术公布日：2017.10.27