一种连续真空镀膜装置的制作方法

文档序号:15773475发布日期:2018-10-26 22:01阅读:198来源:国知局

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种连续真空镀膜装置。



背景技术:

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。但现有的真空镀膜机,一次只能够对一个工件进行镀膜,不能够连续使用,工作效率低,成本高。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在工作效率低,等缺点,而提出的一种连续真空镀膜装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

设计一种连续真空镀膜装置,包括链条式输送带,所述链条式输送带的下侧两侧均固定安装有支撑柱,所述支撑柱上安装有驱动电机,所述驱动电机的输出轴通过连接机构与链条式输送带的主动轴连接,所述支撑柱靠近驱动电机的下部安装有微控制器,所述微控制器通过导线与驱动电机连接,所述链条式输送带的表面等距离安装有两组密封盖,所述密封盖远离链条式输送带的一侧边缘均固定安装有卡环,所述密封盖靠近卡环的中心固定安装有固定块,所述固定块上开设有固定槽,所述链条式输送带的中部安装有支撑板,所述支撑板的两端分别与支撑柱的侧壁上部连接,所述支撑板的上下两侧均等距离安装有顶杆,所述顶杆的远离支撑板的一端均固定安装有滑块,所述链条式输送带的内侧开设有滑槽,所述滑块均设置在滑槽内;

所述支撑柱的侧壁下部固定安装有支撑板,所述支撑板的上部通过一组伸缩杆安装有储液槽,所述储液槽内安装有加热丝,所述储液槽的上部等距离开设有通孔,所述通孔的上部均固定安装有镀膜腔,所述密封盖压合在镀膜腔的上部,且镀膜腔的上部边缘开设有卡槽,所述卡环卡设在卡槽内,所述储液槽的外壁上安装有真空抽气机,所述真空抽气机与镀膜腔连接。

优选的,所述卡槽内设置有橡胶密封垫,所述橡胶密封垫与卡环连接。

优选的,一组所述伸缩杆为六个,且伸缩杆均为电动伸缩杆,所述微控制器通过导线与电动伸缩杆连接。

优选的,所述镀膜腔与储液槽焊接连接。

本实用新型提出的一种连续真空镀膜装置,有益效果在于:通过在链条式输送带上安装两组固定块,能够有效的提高镀膜效率,微控制器控制链条式输送带的运行与停止,方便连续镀膜,智能程度高,便于操作,本实用新型结构简单,方便使用,能够有效的提高镀膜的效率,同时保证镀膜效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种连续真空镀膜装置的结构示意图。

图中:链条式输送带1、卡环2、密封盖3、固定槽4、固定块5、滑槽6、滑块7、顶杆8、支撑板9、真空抽气机10、加热丝11、储液槽12、伸缩杆13、通孔14、镀膜腔15、支撑柱16、驱动电机17、微控制器18、卡槽19。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1,一种连续真空镀膜装置,包括链条式输送带1,链条式输送带1的下侧两侧均固定安装有支撑柱16,支撑柱16上安装有驱动电机17,驱动电机17的输出轴通过连接机构与链条式输送带1的主动轴连接,支撑柱16靠近驱动电机17的下部安装有微控制器18,微控制器18通过导线与驱动电机17连接,链条式输送带1的表面等距离安装有两组密封盖3,密封盖3远离链条式输送带1的一侧边缘均固定安装有卡环2,密封盖3靠近卡环2的中心固定安装有固定块5,固定块5上开设有固定槽4,链条式输送带1的中部安装有支撑板9,支撑板9的两端分别与支撑柱16的侧壁上部连接,支撑板9的上下两侧均等距离安装有顶杆8,顶杆8的远离支撑板9的一端均固定安装有滑块7,链条式输送带1的内侧开设有滑槽6,滑块7均设置在滑槽6内,便于运送工件,方便镀膜。

支撑柱16的侧壁下部固定安装有支撑板,支撑板的上部通过一组伸缩杆13安装有储液槽12,一组伸缩杆13为六个,且伸缩杆13均为电动伸缩杆,微控制器18通过导线与电动伸缩杆连接,方便使用便于将镀膜腔15密封,保证镀膜效果,储液槽12内安装有加热丝11,储液槽12的上部等距离开设有通孔14,通孔14的上部均固定安装有镀膜腔15,镀膜腔15与储液槽12焊接连接,结构稳定提高使用寿命,密封盖3压合在镀膜腔15的上部,且镀膜腔15的上部边缘开设有卡槽19,卡环2卡设在卡槽19内,卡槽19内设置有橡胶密封垫,橡胶密封垫与卡环2连接,保证密封效果,储液槽12的外壁上安装有真空抽气机10,真空抽气机10与镀膜腔15连接。

工作流程:本实用新型使用时,将工件固定在固定块5上的固定槽4内,然后通过微控制器18控制驱动电机17,驱动电机17带动链条式输送带1转动,而工件随着链条式输送带1的移动至镀膜腔15的上部,然后通过微控制器18控制伸缩杆13上升,伸缩杆13带动储液槽12向上移动,使工件进入镀膜腔15,同时密封盖3上的卡环2卡入镀膜腔15上的卡槽19内,使镀膜腔15密封,然后通过真空抽气机10排出镀膜腔15内的空气,通过微控制器18启动加热丝11对储液槽12内的镀膜液加热蒸发,贴合在工件的表面,镀膜完成后,微控制器18控制伸缩杆13收缩、断开加热丝11电源,然后利用微控制器18控制链条式输送带1旋转,使工件移动到链条式输送带1的上部,镀膜后的工件移动链条式输送带1上部后,该装置重复上述步骤继续进行镀膜,方便使用,有效的提高了工作效率。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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