一种真空镀膜机用冷却装置的制作方法

文档序号:15892503发布日期:2018-11-09 20:32阅读:197来源:国知局

本实用新型涉及镀膜机设备技术领域,具体为一种真空镀膜机用冷却装置。



背景技术:

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长) 形成薄膜,对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。

真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量,需要及时有效的进行冷却,以确保其正常工作,目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管,在圆管内通冷却水来冷却,这种结构,冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触,冷却速度慢,冷却不及时,很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏,而且这种冷却方式与镀膜机的接触面积有限而且由于不能够直接与镀膜机直接接触导致其冷却效率相对较低。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却装置,解决了镀膜机冷却效率相对较低的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机用冷却装置,包括镀膜机,镀膜机的外侧的中部套接有外机壳,所述外机壳内壁的两侧和底部均固定连接有支柱,所述支柱远离外机壳的一侧均固定连接有连接板,所述连接板远离支柱的一侧均与镀膜机的外侧固定连接,所述外机壳的顶部固定连接有水箱,所述水箱两侧底部的中部均贯穿连接有挡板,所述挡板相对的一侧均贯穿水箱并延伸至水箱的内腔,所述挡板远离水箱的一侧固定连接有侧板,所述侧板的底部搭接在外机壳的顶部,所述外机壳底部两侧的正面与背面均固定连接有立柱,所述立柱外侧的中部套接有限位块,所述立柱外侧的底部套接有弹簧,所述立柱的底部固定连接有支撑脚,所述限位块相对一侧的中部固定连接有底板,所述底板的顶部搭接有回收箱。

优选的,所述水箱内壁底部的两侧均等距离开设有进水孔,所述进水孔位于挡板的正下方。

优选的,所述弹簧的顶部与限位块的底部固定连接,所述弹簧的底部与支撑脚的顶部固定连接。

优选的,所述外机壳底部的两侧均固定连接有出水管,所述回收箱位于出水管的正下方。

优选的,所述镀膜机位于外机壳的内腔,所述外机壳的长度大于镀膜机的长度。

优选的,所述回收箱的容量与水箱的容量相等。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却装置,具备以下有益效果:

(1)该真空镀膜机用冷却装置,通过外机壳、水箱、挡板、侧板、进水孔和回收箱的配合使用,使得经过进水孔流进外机壳内腔的冷水能够第一时间与镀膜机进行接触且沿着镀膜机的外壁进行流淌,从而达到快速为镀膜机进行降温散热处理的目的,解决了传统镀膜机散热装置散热效率相对较低的问题。

(2)该真空镀膜机用冷却装置,通过外机壳、镀膜机、出水管、底板和回收箱的配合使用,使得经过降温处理的热水能够及时流出被集中回收处理,从而达到重复循环利用水资源的目的,解决了镀膜机冷却用水造成不环保的问题。

(3)该真空镀膜机用冷却装置,通过立柱、限位块、弹簧、支撑脚和底板的配合使用,使得回收箱能够随着水位的增加而缓慢向下移动,从而达到方便为回收装置进行减震以及避免流出的热水飞溅的目的,解决镀膜机冷却装置不具备减震缓冲效果的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型外机壳俯视图。

图中:1镀膜机、2外机壳、3支柱、4连接板、5水箱、6挡板、7侧板、 8立柱、9限位块、10弹簧、11支撑脚、12底板、13回收箱、14进水孔、15 出水管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种真空镀膜机用冷却装置,包括镀膜机1,镀膜机1位于外机壳2的内腔,外机壳2的长度大于镀膜机1的长度,镀膜机1的外侧的中部套接有外机壳2,外机壳2底部的两侧均固定连接有出水管15,回收箱13位于出水管15的正下方,外机壳2内壁的两侧和底部均固定连接有支柱3,支柱3远离外机壳2的一侧均固定连接有连接板4,水箱5内壁底部的两侧均等距离开设有进水孔14,进水孔14位于挡板6的正下方,连接板4远离支柱3的一侧均与镀膜机1的外侧固定连接,外机壳2的顶部固定连接有水箱5,水箱5两侧底部的中部均贯穿连接有挡板6,挡板6相对的一侧均贯穿水箱5并延伸至水箱5的内腔,挡板6远离水箱 5的一侧固定连接有侧板7,侧板7的底部搭接在外机壳2的顶部,外机壳2 底部两侧的正面与背面均固定连接有立柱8,立柱8外侧的中部套接有限位块 9,立柱8外侧的底部套接有弹簧10,弹簧10的顶部与限位块9的底部固定连接,弹簧10的底部与支撑脚11的顶部固定连接,立柱8的底部固定连接有支撑脚11,限位块9相对一侧的中部固定连接有底板12,通过立柱8、限位块9、弹簧10、支撑脚11和底板12的配合使用,使得回收箱13能够随着水位的增加而缓慢向下移动,从而达到方便为回收装置进行减震以及避免流出的热水飞溅的目的,解决镀膜机1冷却装置不具备减震缓冲效果的问题,底板12的顶部搭接有回收箱13,随着回收箱13内部的水越来越多,回收箱 13挤压底板13向下移动,底板13带动限位块9向下移动,限位块9挤压弹簧10向下移动,弹簧10被压缩产生形变,将回收箱13移动至底部,待水彻底冷却之后,将回收箱13内腔的水重新灌入水箱5的内腔进行重复利用,通过外机壳2、水箱5、挡板6、侧板7、进水孔14和回收箱13的配合使用,使得经过进水孔14流进外机壳2内腔的冷水能够第一时间与镀膜机1进行接触且沿着镀膜机1的外壁进行流淌,从而达到快速为镀膜机1进行降温散热处理的目的,解决了传统镀膜机1散热装置散热效率相对较低的问题,通过外机壳2、镀膜机1、出水管15、底板12和回收箱13的配合使用,使得经过降温处理的热水能够及时流出被集中回收处理,从而达到重复循环利用水资源的目的,解决了镀膜机1冷却用水造成不环保的问题,回收箱13的容量与水箱5的容量相等。

工作原理:在进行镀膜作业之间,通过水泵等设备为水箱5加冷水,进行镀膜作业的时候,设备启动一段时间之后,拉动侧板7,侧板7带动挡板6 在水箱5的内腔向两侧移动,直至将水箱5底部开设的进水孔14暴露出来,水箱5内腔的冷水经过进水孔14流入外机壳2的内腔,冷水直接会滴落在镀膜机1的外表面,镀膜机1内腔产生的高温传导至外壳的时候,冷水直接将其温度进行吸收处理,经过吸热作业的水流到外机壳2内壁的底部,经过出水管15流出,流进回收箱13的内腔。

综上所述,该真空镀膜机用冷却装置,通过外机壳2、水箱5、挡板6、侧板7、进水孔14和回收箱13的配合使用,使得经过进水孔14流进外机壳 2内腔的冷水能够第一时间与镀膜机1进行接触且沿着镀膜机1的外壁进行流淌,从而达到快速为镀膜机1进行降温散热处理的目的,解决了传统镀膜机1 散热装置散热效率相对较低的问题,通过外机壳2、镀膜机1、出水管15、底板12和回收箱13的配合使用,使得经过降温处理的热水能够及时流出被集中回收处理,从而达到重复循环利用水资源的目的,解决了镀膜机1冷却用水造成不环保的问题,通过立柱8、限位块9、弹簧10、支撑脚11和底板12 的配合使用,使得回收箱13能够随着水位的增加而缓慢向下移动,从而达到方便为回收装置进行减震以及避免流出的热水飞溅的目的,解决镀膜机1冷却装置不具备减震缓冲效果的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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