一种半导体材料智能研磨抛光机的制作方法

文档序号:21253843发布日期:2020-06-26 21:48阅读:200来源:国知局
一种半导体材料智能研磨抛光机的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域,尤其涉及一种半导体材料智能研磨抛光机。



背景技术:

半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。

现有的半导体抛光机在对半导体进行抛光时,一般都是将半导体固定在抛光机上的,在一面打磨完成后,还需手工调整位置,所以在使用时,比较麻烦,所以我们提出一种半导体材料智能研磨抛光机,用于解决上述所提出的问题。



技术实现要素:

基于背景技术存在半导体抛光机在对半导体进行抛光时,一般都是将半导体固定在抛光机上的,在一面打磨完成后,还需手工调整位置的技术问题,本实用新型提出了一种半导体材料智能研磨抛光机。

本实用新型提出的一种半导体材料智能研磨抛光机,包括底座,底座上固定安装有控制器,所述底座的顶部固定安装有两个立柱,且两个立柱相互靠近的一端均转动连接有卡罩,两个卡罩上卡装有同一个半导体棒,两个立柱的顶端固定安装有同一个横梁,所述横梁上滑动连接有u型板,所述u型板的两侧内壁上均对称转动连接有两个同步轮,且四个同步轮上传动连接有同一个同步带,所述同步带上固定安装有抛光带,所述抛光带与半导体棒相接触。

优选的,所述横梁上开设有移动孔,所述横梁的顶部滑动连接有移动板,所述移动板的底部固定安装有滚珠丝杠,所述滚珠丝杠上螺纹连接有连接罩,所述连接罩的底部与u型架的顶部固定连接,利用滚珠丝杠可以使得连接罩进行纵向滑动限位。

优选的,所述连接环的顶部对称固定安装有两个安装柱,且两个安装柱的顶端均延伸至连接罩的上方并固定安装有同一个滚珠丝杠螺母,所述滚珠丝杠的底端贯穿滚珠丝杠螺母并延伸至连接罩内,所述滚珠丝杠与连接罩的一侧内壁滑动连接,且滚珠丝杠螺母与滚珠丝杠螺纹连接,利用滚珠丝杠和滚珠丝杠螺母可以方便对连接罩进行随时制动。

优选的,所述连接环的底部固定安装有制动齿环,且连接罩的另一侧内壁上固定安装有安装板,所述安装板上滑动连接有移动轴,所述移动轴的顶端延伸至制动齿环内并固定安装有固定齿轮,所述固定齿轮与制动齿环活动啮合,利用制动齿环和固定齿轮可以方便对滚珠丝杠螺母进行弹性限位。

优选的,所述移动轴的底端固定安装有拉板,且连接罩的另一侧内壁上开设有滑动孔,所述拉板的一侧贯穿滑动孔并延伸至连接罩的外侧,所述移动轴上套设有拉伸弹簧,且拉伸弹簧位于安装板的下方,所述拉伸弹簧的顶端和底端分别与安装板的顶部和拉板的顶部固定连接,利用拉伸弹簧可以对固定齿轮进行弹性限位,可以防止固定齿轮随意进行移动。

优选的,所述u型板的两侧内壁上均对称固定安装有两个固定板,且四个同步轮分别与对应的固定板转动连接,位于一侧的固定板上固定安装有打磨电机,且打磨电机与其中的一个同步轮固定连接,利用打磨电机可以带动抛光带进行运动,以此实现对半导体棒进行打磨的目的。

优选的,所述移动板的顶部固定安装有驱动马达,且驱动马达与控制器电性连接,所述移动孔的一侧内壁上固定安装有移动齿条,所述驱动马达的输出轴延伸至移动孔内并固定安装有驱动齿轮,所述驱动齿轮与移动齿条相啮合,利用驱动马达可以方便带动抛光带进行横向移动,以此便可以全面的对半导体棒进行全面的打磨。

优选的,位于一侧的立柱上转动连接有连接轴,所述连接轴的一端与位于一侧的卡罩固定连接,所述连接轴的另一端固定安装有传动齿轮,所述底座的顶部一侧滑动连接有传动齿条,所述传动齿条与传动齿轮相啮合,利用传动齿条的移动,可以方便带动传动齿轮进行转动,进一步可以带动半导体棒进行转动。

优选的,所述地底座的顶部滑动连接有连接板,且连接板位于立柱的一侧,所述连接板的顶部与传动齿条的底部固定连接,所述底座的顶部一侧固定安装有转动电机,且转动电机与控制器电性连接,所述转动电机的输出轴与连接板传动连接,利用转动电机作为动力源,可以方便带动传动齿条进行横向移动。

优选的,所述连接板上开设有连接孔,所述转动电机的输出轴上固定安装有转动柱,所述转动柱的一侧顶部固定安装有挡杆,且挡杆的一端延伸至连接孔并与连接孔活动连接,利用连接孔和挡杆,可以方便将转动柱的转动运动,变为连接板的直线运动。

本实用新型的有益效果是:

首先将半导体棒卡装在两个卡罩,然后向下拉动,这时可以向下移动连接罩,使得抛光带与半导体棒进行紧密接触,这时可以释放拉板,便可以在拉伸弹簧的作用下,使得移动轴向上进行移动,实现固定齿轮与制动齿环进行啮合,以达到对连接罩进行固定的目的;

同时启动打磨电机和驱动马达,在驱动马达进行工作时,可以带动驱动齿轮进行转动,此时移动齿条的作用下,可以实现带动移动板进行移动,在移动板进行移动时,可以带动u型板进行横向移动,在打磨电机进行工作时,可以带动抛光带进行运动,以此实现对半导体棒进行打磨的目的;

最后可以间断的启动转动电机,以此可以带动转动杆按照一定的角度进行转动,这时在挡杆和连接板的作用下,可以带动传动齿条进行横向移动,便会通过传动齿轮使得半导体棒按照一定的角度进行转动,以便全面的对半导体棒进行全面的打磨。

本实用新型通过将半导体棒卡装在两个卡罩上,之后依次启动驱动马达、打磨电机以及转动电机,即可实现对半导体棒进行全面的打磨,且不需要手工对半导体棒进行调整位置,减少了手工操作,所以在使用时会非常方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的结构主视图;

图2为本实用新型提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的连接罩内部结构主视图;

图3为本实用新型提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的u型板结构侧视图;

图4为本实用新型提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的打磨电机和同步轮连接结构主视图;

图5为本实用新型提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的传动齿条与连接板连接结构侧视图;

图6为本实用新型提出的一种半导体材料智能研磨抛光机的附图2中的a结构放大图。

图中:1底座、2立柱、3卡罩、4横梁、5半导体棒、6移动孔、7移动齿条、8移动板、9驱动马达、10驱动齿轮、11滚珠丝杠、12连接罩、13连接轴、14传动齿轮、15连接板、16转动电机、17转动柱、18连接环、19滚珠丝杠螺母、20制动齿环、21安装板、22移动轴、23固定齿轮、24拉板、25拉伸弹簧、26u型架、27固定板、28同步轮、29同步带、30抛光带、31打磨电机、32传动齿条、33连接孔。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型作进一步解说。

实施例

参考图1-6,本实施例中提出了一种半导体材料智能研磨抛光机,包括底座1,底座1上固定安装有控制器,底座1的顶部固定安装有两个立柱2,且两个立柱2相互靠近的一端均转动连接有卡罩3,两个卡罩3上卡装有同一个半导体棒5,两个立柱1的顶端固定安装有同一个横梁4,横梁4上滑动连接有u型板26,u型板26的两侧内壁上均对称转动连接有两个同步轮28,且四个同步轮28上传动连接有同一个同步带29,同步带29上固定安装有抛光带30,抛光带30与半导体棒5相接触。

其中,首先将半导体棒5卡装在两个卡罩3,然后向下拉动,这时可以向下移动连接罩12,使得抛光带30与半导体棒5进行紧密接触,这时可以释放拉板24,便可以在拉伸弹簧25的作用下,使得移动轴22向上进行移动,实现固定齿轮23与制动齿环20进行啮合,以达到对连接罩12进行固定的目的,同时启动打磨电机31和驱动马达9,在驱动马达9进行工作时,可以带动驱动齿轮10进行转动,此时移动齿条7的作用下,可以实现带动移动板8进行移动,在移动板8进行移动时,可以带动u型板26进行横向移动,在打磨电机31进行工作时,可以带动抛光带30进行运动,以此实现对半导体棒5进行打磨的目的,最后可以间断的启动转动电机16,以此可以带动转动杆17按照一定的角度进行转动,这时在挡杆和连接板15的作用下,可以带动传动齿条32进行横向移动,便会通过传动齿轮14使得半导体棒5按照一定的角度进行转动,以便全面的对半导体棒5进行全面的打磨,本实用新型通过将半导体棒5卡装在两个卡罩3上,之后依次启动驱动马达9、打磨电机31以及转动电机16,即可实现对半导体棒5进行全面的打磨,且不需要手工对半导体棒5进行调整位置,减少了手工操作,所以在使用时会非常方便。

本实施例中,横梁4上开设有移动孔6,横梁4的顶部滑动连接有移动板8,移动板8的底部固定安装有滚珠丝杠11,滚珠丝杠11上螺纹连接有连接罩12,连接罩12的底部与u型架26的顶部固定连接,利用滚珠丝杠11可以使得连接罩12进行纵向滑动限位。

本实施例中,连接环18的顶部对称固定安装有两个安装柱,且两个安装柱的顶端均延伸至连接罩12的上方并固定安装有同一个滚珠丝杠螺母19,滚珠丝杠11的底端贯穿滚珠丝杠螺母19并延伸至连接罩12内,滚珠丝杠11与连接罩12的一侧内壁滑动连接,且滚珠丝杠螺母19与滚珠丝杠11螺纹连接,利用滚珠丝杠11和滚珠丝杠螺母19可以方便对连接罩12进行随时制动。

本实施例中,连接环18的底部固定安装有制动齿环20,且连接罩12的另一侧内壁上固定安装有安装板21,安装板21上滑动连接有移动轴22,移动轴22的顶端延伸至制动齿环20内并固定安装有固定齿轮23,固定齿轮23与制动齿环20活动啮合,利用制动齿环20和固定齿轮23可以方便对滚珠丝杠螺母19进行弹性限位。

本实施例中,移动轴22的底端固定安装有拉板24,且连接罩12的另一侧内壁上开设有滑动孔,拉板24的一侧贯穿滑动孔并延伸至连接罩12的外侧,移动轴22上套设有拉伸弹簧25,且拉伸弹簧25位于安装板21的下方,拉伸弹簧25的顶端和底端分别与安装板21的顶部和拉板24的顶部固定连接,利用拉伸弹簧25可以对固定齿轮23进行弹性限位,可以防止固定齿轮23随意进行移动。

本实施例中,u型板26的两侧内壁上均对称固定安装有两个固定板27,且四个同步轮28分别与对应的固定板27转动连接,位于一侧的固定板27上固定安装有打磨电机31,且打磨电机31与其中的一个同步轮28固定连接,利用打磨电机31可以带动抛光带30进行运动,以此实现对半导体棒5进行打磨的目的。

本实施例中,移动板8的顶部固定安装有驱动马达9,且驱动马达9与控制器电性连接,移动孔6的一侧内壁上固定安装有移动齿条7,驱动马达9的输出轴延伸至移动孔6内并固定安装有驱动齿轮10,驱动齿轮10与移动齿条7相啮合,利用驱动马达9可以方便带动抛光带30进行横向移动,以此便可以全面的对半导体棒5进行全面的打磨。

本实施例中,位于一侧的立柱2上转动连接有连接轴13,连接轴13的一端与位于一侧的卡罩3固定连接,连接轴13的另一端固定安装有传动齿轮14,底座1的顶部一侧滑动连接有传动齿条32,传动齿条32与传动齿轮14相啮合,利用传动齿条32的移动,可以方便带动传动齿轮14进行转动,进一步可以带动半导体棒5进行转动。

本实施例中,地底座1的顶部滑动连接有连接板15,且连接板15位于立柱2的一侧,连接板15的顶部与传动齿条32的底部固定连接,底座1的顶部一侧固定安装有转动电机16,且转动电机16与控制器电性连接,转动电机16的输出轴与连接板15传动连接,利用转动电机16作为动力源,可以方便带动传动齿条32进行横向移动。

本实施例中,连接板15上开设有连接孔33,转动电机16的输出轴上固定安装有转动柱17,转动柱17的一侧顶部固定安装有挡杆,且挡杆的一端延伸至连接孔33并与连接孔33活动连接,利用连接孔33和挡杆,可以方便将转动柱17的转动运动,变为连接板15的直线运动。

本实施例中,首先将半导体棒5卡装在两个卡罩3,然后向下拉动拉板24可以带动固定齿轮23向下进行移动,使得固定齿轮23与制动齿环20脱离啮合,所以滚珠丝杠螺母19就会失去限位,可以进行转动,这时可以向下移动连接罩12,使得抛光带30与半导体棒5进行紧密接触,这时可以释放拉板24,便可以在拉伸弹簧25的作用下,使得移动轴22向上进行移动,实现固定齿轮23与制动齿环20进行啮合,以达到对连接罩12进行固定的目的,同时启动打磨电机31和驱动马达9,在驱动马达9进行工作时,可以带动驱动齿轮10进行转动,此时移动齿条7的作用下,可以实现带动移动板8进行移动,在移动板8进行移动时,可以带动u型板26进行横向移动,在打磨电机31进行工作时,可以带动抛光带30进行运动,以此实现对半导体棒5进行打磨的目的,最后可以间断的启动转动电机16,以此可以带动转动杆17按照一定的角度进行转动,这时在挡杆会在连接孔33内进行纵向滑动,所以便会可以带动连接板15进行横向移动,这时在连接板15的作用下,可以带动传动齿条32进行横向移动,便会通过传动齿轮14使得连接轴13进行转动,在连接轴13进行转动时,可以带动半导体棒5按照一定的角度进行转动,以便全面的对半导体棒5进行全面的打磨,同时利用控制器可以分别控制驱动马达9和转动电机16进行工作,所以在驱动马达9将抛光带30由一端移动另一端时,控制器便会自动启动转动电机16进行工作,以此可以带动半导体棒5进行角度调节,所以不需要手工对半导体棒5进行调整位置,减少了手工操作,所以在使用时会非常方便。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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