1.一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：包括以下步骤：
第一，将工件放入渗碳炉；
第二，向渗碳炉内通入氮气对渗碳炉进行吹扫；
第三，对工件进行至少一次复合脉冲碳氮共渗；
所述复合脉冲碳氮共渗包括以下几个步骤：
a，向渗碳炉中通入乙炔气体；
b，向渗碳炉内通入氮气对渗碳炉进行吹扫；
c，向渗碳炉中通入氨气；
d，向渗碳炉内通入氮气对渗碳炉进行吹扫；
e，向渗碳炉内通入氮气，进行氮气扩散。
2.根据权利要求1所述的一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：一次所述复合脉冲碳氮共渗中的a步骤中通入乙炔的时间t1是≤60s，流量q1是1500±200nl/h。
3.根据权利要求1所述的一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：一次所述复合脉冲碳氮共渗中的b步骤中氮气吹扫时间为t2是10±1s，吹扫流量q2是4000±500nl/h。
4.根据权利要求1所述的一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：一次所述复合脉冲碳氮共渗中的c步骤中通入氨气的时间t3是≤65s，流量q3是1450±200nl/h。
5.根据权利要求1所述的一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：一次所述复合脉冲碳氮共渗中的d步骤中氮气吹扫时间t4是10±1s，吹扫流量q4是4000±500nl/h。
6.根据权利要求1所述的一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：一次所述复合脉冲碳氮共渗中a步骤中通入乙炔的时间是t1，b步骤中氮气吹扫时间是t2，c步骤中通入氨气的时间是t3，d步骤中氮气吹扫时间是t4，e步骤中通入氮气扩散时间是t5，t5应满足t5/（t1+t3）＞2、通入氮气扩散流量q5是1500±200nl/h，通入氮气的扩散时间t5范围为4～120min。
7.根据权利要求1所述的一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：所述渗碳炉的压力p是8±0.5mbar。
8.根据权利要求1所述的一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：所述渗碳炉的温度t是870±10℃。
9.根据权利要求1所述的一种16cr3niwmovnbe材料低压真空碳氮共渗方法，其特征在于：一次所述复合脉冲碳氮共渗中a步骤中通入乙炔的时间是t1，b步骤中氮气吹扫时间是t2，c步骤中通入氨气的时间是t3，d步骤中氮气吹扫时间是t4，e步骤中通入氮气扩散时间是t5，对工件进行至少两次复合脉冲碳氮共渗，第n次复合脉冲碳氮共渗通入乙炔的时间t1小于等于第n-1次复合脉冲碳氮共渗通入乙炔的时间t1，第n次复合脉冲碳氮共渗通入氨气的时间t3小于等于第n-1次复合脉冲碳氮共渗通入氨气的时间t3，第n次复合脉冲碳氮共渗通入氮气扩散时间t5大于第n-1次复合脉冲碳氮共渗通入氮气扩散时间t5，第n次复合脉冲碳氮共渗的时间（t1+t2+t3+t4+t5）大于第n-1次复合脉冲碳氮共渗的时间（t1+t2+t3+t4+t5）。