镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及镀膜领域，特别是涉及制造过程中用到的一种镀膜装置。

背景技术：

现有镀膜机镀膜过程中，镀膜靶材固定，镀膜工件由驱动件驱动下进行公转同时工件自身自转。由于镀膜工件形状大多非圆形，例如矩形或椭圆形，工件在转动镀膜时，常常发生工件各个边的镀膜厚度不均匀。例如，若工件为矩形，则转动过程中工件的短边正对固定靶材的时间大于长边的时间，即在镀膜时，短边比长边更靠近靶材，这将导致工件短边镀膜厚度会大于工件长边的镀膜厚度，进而导致工件镀膜良率较低。

技术实现要素：

鉴于上述状况，有必要提供一种镀膜装置，以解决上述问题。

一种镀膜装置，包括：

承载机构，用于承载工件，所述工件用于与所述工件镀膜用的靶材相邻设置；

调速机构，连接所述承载机构，所述调速机构用于调整所述承载机构的自转速度；

驱动机构，用于驱动所述调速机构调整所述承载机构的所述自转速度。

进一步地，所述驱动机构还连接所述调速机构，所述驱动机构还用于带动所述调速机构做旋转运动。

进一步地，所述驱动机构包括：

第一驱动件，抵接所述调速机构，所述第一驱动件用于驱动所述调速机构调整所述承载机构的自转速度；

第二驱动件，连接所述调速机构以及所述承载机构，所述第二驱动件用于驱动所述承载机构做旋转运动。

进一步地，所述第一驱动件包括第一齿轮，所述调速机构包括第二齿轮，所述第一齿轮固定设置，且所述第一齿轮用于抵接于所述第二齿轮，所述第二齿轮用于带动所述承载机构做自转运动。

进一步地，所述第二驱动件包括电机以及转盘，所述电机带动所述转盘转动；

所述调速机构还包括壳体以及第三齿轮，所述第三齿轮位于所述壳体内，所述第二齿轮连接所述壳体，所述第二齿轮用于带动所述第三齿轮转动，所述壳体连接所述转盘；

所述承载机构位于所述转盘的周围，且所述承载机构连接所述第三齿轮，所述转盘用于带动所述调速机构的所述壳体做旋转运动。

进一步地，所述第一齿轮和所述转盘同轴。

进一步地，所述调速机构还包括第四齿轮，所述第四齿轮与所述第二齿轮同轴，所述第二齿轮用于通过所述第四齿轮带动所述第三齿轮转动。

进一步地，所述第四齿轮位于所述壳体之内，所述第四齿轮与所述第二齿轮同步转动。

进一步地，所述第三齿轮和第四齿轮为椭圆齿轮。

进一步地，所述承载机构包括复数个承载件，所述承载件用于承载复数个所述工件，所述复数个所述承载件与所述第三齿轮连接，所述复数个承载件沿着所述转盘的周边间隔设置。

本实用新型通过驱动机构驱动调速机构调整承载机构的自转速度，以实现靶材对承载机构的工件进行溅射均匀镀膜，以改良镀膜后的工件的色差差异，提升工件的颜色良率和膜层性能。

本申请结构简单、组装方便、成本低、维护方便、通用性强、可以极大提高镀膜良率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的镀膜装置的架构示意图。

图2是本实用新型一实施例的镀膜装置的结构示意图。

图3是图2所示的镀膜装置的调速机构的立体结构示意图。

图4是图3所示的调速机构的立体结构示意图。

主要元件符号说明

镀膜装置100

靶材10

承载机构20

承载件21

调速机构30

第二齿轮31

壳体32

第三齿轮33

第四齿轮34

驱动机构40

第一驱动件41

第一齿轮411

第二驱动件42

电机421

转盘422

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以使直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。当一个组件被认为是“设置在”另一个组件，它可以使直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中设置的组件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参照图1，一种镀膜装置100，包括承载机构20、调速机构30及驱动机构40。

承载机构20用于承载工件。工件与工件镀膜用的靶材10相邻设置，也即所述承载机构20亦与所述靶材10相邻设置，以使所述靶材10通过磁控溅射等方式可将靶材溅射到工件上实现镀膜。

调速机构30与承载机构20相连接，调速机构30用于调整承载机构20的自转速度。

驱动机构40用于驱动调速机构30调整承载机构20的自转速度。

本实施例中，工件为非圆形，例如，当工件为矩形时，靶材10位于承载机构20自转路径的外侧，承载机构20带动工件自转过程中，工件短边距离靶材10位置较近，工件长边距离靶材10位置较远，靶材10的溅射粒子密度与距离相关，距离靶材10越远，靶材10的溅射粒子的密度越小，进而导致工件短边膜厚比长边更厚。通过驱动机构40驱动调速机构30调整承载机构20的自转速度，从而调整工件自身的自转速度，使工件的短边正对靶材10时，承载机构20的自转速度变大；使工件长边正对靶材10时，承载机构20的自转速度变小，以实现靶材10对承载机构20上的工件进行均匀镀膜。

近一步地，驱动机构40与调速机构30相连接，驱动机构40还用于带动调速机构30做旋转运动，也即带动调速机构30绕着某一轴做公转运动。

具体地，驱动机构40驱动调速机构30做公转运动同时驱动调速机构30调节承载机构20的自转速度，由于承载机构20与调速机构30相连接，调速机构30同时带动承载机构20进行旋转运动，也即带动承载机构20上的工件公转运动。

请同时参见图1和图2，驱动机构40包括第一驱动件41和第二驱动件42。

具体地，第一驱动件41与调速机构30相抵接，第一驱动件41用于驱动调速机构30调整承载机构20的自转速度。

第二驱动件42同时与调速机构30以及承载机构20相连接，第二驱动件42用于驱动承载机构20做旋转运动。

本实施例中，第一驱动件41驱动调速机构30调整承载机构20的自转速度，第二驱动件42驱动承载机构20做旋转运动，以使承载机构20上的工件公转同时进行速度可调的自转运动。

请同时参见图2和图3，第一驱动件41包括第一齿轮411，调速机构30包括第二齿轮31，第一齿轮411固定设置，例如设置于一工作台上，且第一齿轮411用于抵接于第二齿轮31，第二齿轮31用于带动承载机构20做自转运动。

本实施例中，第一驱动件41以第一齿轮411的形式来驱动调速机构30带动承载机构20做自转运动，且第一齿轮411的个数是一个，在其他实施方式中，第一驱动件41还可以为具有凹陷边缘的圆盘等可以让所述第二齿轮31抵接并做爬行运动的部件。且驱动件的个数可以为复数个。

具体地，通过固定设置的第一齿轮411与第二齿轮31相抵接，第二驱动件42驱动第二齿轮31绕第一齿轮411做旋转运动，同时第一齿轮411固定设置，以使第二齿轮31旋转运动同时进行自转运动，进而通过第二齿轮31控制承载机构20自转运动的自转速度，同时第二驱动件42还驱动承载机构20做旋转运动。

第二驱动件42包括电机421以及转盘422，电机421带动转盘422转动。

请同时参见图3和图4，调速机构30还包括壳体32以及第三齿轮33，第三齿轮33位于壳体32内，第二齿轮31连接壳体32，第二齿轮31用于带动第三齿轮33转动，壳体32连接转盘422。

承载机构20位于转盘422的周围，且承载机构20连接第三齿轮33，转盘422用于带动调速机构30的壳体32做旋转运动，转盘422具有轴心，转盘422带动调速机构30的壳体32绕转盘422的轴心公转。

具体地，电机421带动转盘422做旋转运动，转盘422带动壳体32做旋转运动，壳体32同时带动第二齿轮31和第三齿轮33做旋转运动，同时第二齿轮31绕固定设置的第一齿轮411做自转运动，第二齿轮31带动第三齿轮33做自转运动，第三齿轮33带动承载机构20做自转运动，通过第二齿轮31和第三齿轮33调节承载机构20的自转速度。

进一步地，第一齿轮411和转盘422同轴。

电机421带动转盘422做旋转运动的转动方向与第一齿轮411相同，由于第一齿轮411和转盘422同轴设置，可通过第一齿轮411控制承载机构20的自转方向。

调速机构30还包括第四齿轮34，第四齿轮34与第二齿轮31同轴，第二齿轮31用于通过第四齿轮34带动第三齿轮33转动。

具体地，第二齿轮31带动第四齿轮34做自转运动，第四齿轮34带动第三齿轮33做自转运动，第三齿轮33带动承载机构20做自转运动，通过第二齿轮31、第四齿轮34和第三齿轮33调节承载机构20的自转速度。

第四齿轮34位于壳体32之内，第四齿轮34与第二齿轮31同步转动，也即第四齿轮34与第二齿轮31转动的角速度相等。

具体地，壳体32同时带动第四齿轮34和第二齿轮31做公转运动，第二齿轮31带动第四齿轮34做自转运动。

在一实施例中，第三齿轮33和第四齿轮34为椭圆齿轮。

进一步地，第三齿轮33和第四齿轮34的啮合角度为正交，使第三齿轮33和第四齿轮34之间的中心距保持固定。

本实施方式中，第三齿轮33和第四齿轮34的齿数、长轴、短轴、偏心率均相等。

承载机构20包括复数个承载件21，承载件21用于承载复数个工件，复数个承载件21与第三齿轮33连接，复数个承载件21沿着转盘422的周边间隔设置。

本实施方式中，第三齿轮33与承载件21同轴且同步，第三齿轮33旋转和自转的同时，带动承载件21旋转和自转。

在一实施方式中，靶材10的数量为多个，且间隔设于承载机构20的外周侧。

请一并参见图1至图4，在生产过程中，将工件套设于承载件21上；

电机421带动转盘422做旋转运动，转盘422同时带动壳体32和承载机构20做旋转运动，壳体32同时带动第二齿轮31、第三齿轮33、第四齿轮34做旋转运动，同时第二齿轮31绕固定设置的第一齿轮411做自转运动，第一齿轮411带动第四齿轮34做自转运动，第四齿轮34带动第三齿轮33做自转运动，第三齿轮33带动承载机构20做自转运动；

靶材10向承载机构20的承载件21上的工件溅射镀膜。

上述镀膜装置100由于具有调速机构30和驱动机构40，其可根据工件的结构，通过驱动机构40驱动调速机构30调整承载机构20的自转速度，以提高镀膜的一致性，以改良镀膜后的工件的色差差异，提升工件的颜色良率和膜层性能。

本申请结构简单、组装方便、成本低、维护方便、通用性强、可快速拆卸，可以极大提高镀膜良率。

另外，本领域技术人员还可在本实用新型精神内做其它变化，当然，这些依据本实用新型精神所做的变化，都应包含在本实用新型所要求保护的范围。