各个沟槽325匹配。耦接机构240容许螺纹化支撑构件215旋转，以与悬置配件220耦接和去耦接，从而提供螺纹化支撑构件215从背板140的移除。此外，当中心支撑构件150被安装且被张紧时，耦接机构240配置为容许悬置配件220与螺纹化支撑构件215之间的轻微移动。气体分配喷头145用于处理，气体分配喷头145经历从约为环境温度(例如，约25°C)到约350°C到约450°C之间的温度，具体取决于扩散器的材料，气体分配喷头145的部分会在工艺循环期间经历膨胀与收缩。由于气体分配喷头145会因热膨胀与收缩而经受横向移动，耦接机构240所提供的间隔空间或“余隙(slop)”能容许螺纹化支撑构件215与悬置配件220之间发生轻微移动。由此，此移动避免或最小化可作用在螺纹化支撑构件215上且使螺纹化支撑构件215断裂或弯曲的剪切力。
[0043]在此实施例中，第二开口 205B包括膨胀部330，膨胀部330邻近背板140的内表面
146。由于气体分配喷头145会经受从膨胀到收缩的横向移动，膨胀部330容许用于使中心支撑构件150移动而不受干扰的间隔。因此，通过耦接机构240与膨胀部330中的一个或两个，响应于气体分配喷头145所遇到的任何膨胀或收缩，容许气体分配喷头145的部分的横向移动。在一个实施例中，耦接机构240及/或膨胀部330容许气体分配喷头145的部分在约0.25英寸至约0.5英寸之间的移动。尽管未图示，密封件(诸如，0形环或波纹管)可安装在轴230的外表面与第二开口 205B的表面之间，以促进真空密封，同时容许螺纹化支撑构件215相对于背板140的相对移动。
[0044]在此实施例中，耦接机构240包含悬置配件220的上部，悬置配件220的上部配置为阴匹配界面，而轴230的下部适于作为阳匹配界面。在另一个实施例中(未图示)，可将耦接机构240反转，使得轴230的下部包含阴匹配界面，而悬置配件220的上部包含阳匹配界面。
[0045]图3B是设置在气体分配喷头145中的悬置配件220的一个实施例的放大截面图。在一个实施例中，气体分配喷头145包括多个气体通道175，所述多个气体通道175具有从气体分配喷头145的上表面185A延伸到下表面185B的第一孔洞335。第一孔洞335耦接到至少第二孔洞340，所述第二孔洞340流体地耦接到第一孔洞335。第二孔洞340能以锥状或平锥头状的形式而呈喇叭形。在一些实施例中，第一孔洞335与第二孔洞340通过限缩孔口 345来耦接，限缩孔口 345的直径小于第一孔洞335与第二孔洞340的直径。
[0046]悬置配件220设置在扩大的第二孔洞350中，扩大的第二孔洞350的直径大于第一孔洞335的直径但小于相邻的第一孔洞335之间的节距或距离。由此，相邻的第一孔洞335与扩大的第二孔洞350之间维持有壁352，以容许悬置配件220的螺纹化部分354耦接到形成在气体分配喷头145中的匹配螺纹。在一个方面中，悬置配件220的使用在气体分配喷头145中产生了两种类型的气体通道175，例如，因悬置配件220的存在而堵塞的第一类型以及未堵塞的第二类型。因此，不包括悬置配件220的气体通道175提供从中间区域170到处理区域180的未堵塞的气体的流动，而通过悬置配件220设置在气体通道175中的气体通道175的气流会至少部分地因悬置配件220的存在而堵塞。为了将气体提供到悬置配件220设置在气体通道175中的堵塞的气体通道175，悬置配件220包括纵向孔洞355。纵向孔洞355沿着或基本平行于悬置配件220的纵向轴形成。纵向孔洞355适于作为替代气体通道，以容许气体从中间区域170通过悬置配件220流到第二孔洞350，并且通过限缩孔口 345流到处理区域180。气体可从中间区域170绕着轴230流动且通过间隙360(图上显示成虚线)，其中所述间隙360形成在悬置配件220中且与纵向孔洞355流体连通。
[0047]图4A是螺纹化支撑构件215的一个实施例的侧视图。螺纹化支撑构件215包括支撑主体405，支撑主体405在一个实施例中包括圆形截面。支撑主体405包括一个或多个键部410与螺纹化部分235，所述键部410在第一端415处从支撑主体405径向地向外延伸，所述螺纹化部分235位于和第一端415相对的第二端420处。第一端415的至少一部分的尺寸能使第一端415被插入到悬置配件220内(图2至3B)，而螺纹化部分235适于被支撑螺母225接收(图2与3A)。在一个实施例中，第一端415包括锥件425，锥件425可以是斜边或半径，以促进到悬置配件220内的插入。第二端420还可包括工具界面430，以促进螺纹化支撑构件215的旋转控制，所述旋转控制用于支撑螺母225的拧紧及/或松开。工具界面430可以是阴开口，所述阴开口适于六键、方键、T0RX扳手或其它类型的螺钉驱动配置。
[0048]图4B是图4A的螺纹化支撑构件215的平面图。键部410包括外尺寸(诸如，外径435)，所述外尺寸的大小可使所述键部被插入到悬置配件220的内部通道且能在悬置配件220的内部通道内旋转。
[0049]图5A是悬置配件220的一个实施例的侧视截面图，其中螺纹化支撑构件215的轴230(图上显示成虚线)设置在所述悬置配件220中。悬置配件220包括支撑主体505，支撑主体505的形状大致上为圆形，并且支撑主体505锥形过渡到螺纹化部分354。支撑主体505含有中心开口 510，中心开口 510包括内部通道515。内部通道515至少部分地由中心开口 510的表面以及唇部520来容纳，所述唇部520外接中心开口 510的直径的一部分。在一个实施例中，螺纹化部分354包含第一匹配机构(例如，阳匹配机构)，而中心开口 510与唇部520包含第二匹配机构(诸如，适于接收螺纹化支撑构件215的第一端415的阴匹配机构)。螺纹化支撑构件215的第一端415适于在内部通道515中旋转。在一个实施例中，界定中心开口 510的唇部520包含沟槽化容室555，所述沟槽化容室555适于接收螺纹化支撑构件215的键部410且和螺纹化支撑构件215的键部410匹配。
[0050]支撑主体505还包括至少一个销525(图5B中显示两个销)，所述销525配置以作为螺纹化支撑构件215的键部410的止挡件，及/或限制螺纹化支撑构件215在安装后的旋转。所述销525可如图所示纵向地被定位，或所述销525可耦接到垂直于悬置配件220的纵向轴的支撑主体505。支撑主体505的中心包括中心开口510，中心开口510适于接收轴230的一部分。在此实施例中，螺纹化支撑构件215的轴230位于固定位置，而使得键部410与悬置配件220的唇部520接触，并且键部410促进气体分配喷头145从背板140(两者皆显示在图1至3A中)的支撑。包括类似于键部410的至少一个特征结构的工具也可被插入到中心开口 510，以在将悬置配件220安装到气体分配喷头145上时，促进悬置配件220的旋转和拧紧。
[0051 ] 在一个实施例中，中心开口 510包括从内部通道515朝向纵向孔洞355的圆锥形凹部或锥形化表面530。锥形化表面530配置为减少悬置配件220中的限制并促进通过悬置配件220的气体的流动。在一个实施例中，被包含在轴230与锥形化表面530下方的容积包含位于悬置配件220内的腔室535。
[0052]在一个实施例中，支撑主体505包含头部540与所述螺纹化部分354，所述头部540位于支撑主体505的第一端处，而所述螺纹化部分354位于支撑主体505的第二端处。头部540包括相对于螺纹化部分354的直径为更大的尺寸或直径。在一个实施例中，头部540包括第一直径，并且螺纹化部分354包括小于第一直径的第二直径。在一个方面中，头部540与螺纹化部分354通过平锥头状圆锥形表面(诸如，外锥件545)来耦接。头部540包括中心开口510与内部通道515，而螺纹化部分354含有纵向孔洞355。在一个实施例中，内部通道515包括圆形内部直径550，圆形内部直径550通过锥形化表面530直接地耦接到纵向孔洞355。在一个方面中，具有逐渐减少直径的流动路径通过圆形内部直径550、锥形化表面530与纵向孔洞355中的一个或组合被包含在悬置配件220内。
[0053]图5B是图5A所显示的悬置配件220的俯视图。键部410在图上显示成虚线，位于唇部520下方，使得螺纹化支撑构件215通过悬置配件220位于固定的位置。位于轴230的相对侧上的间隙360在图上显示成暴露悬置配件220的锥形化表面530的一部分。间隙360容许气体从中间区域170(图1至3A)流动通过悬置配件220的纵向孔洞355且进入处理区域180(图1至 3A)。
[0054]图5C是图5B所显示的悬置配件220的俯视图。在此实施例中，轴230在图上显示成虚线，位于可移除的位置。轴230被旋转约45，以容许键部410能与介于唇部520的相对侧之间的开口对准。当所述键部410如图5C所示对准时，螺纹化支撑构件215可从悬置配件220的中心开口 510移除。
[0055]图6A是支撑螺母225的一个实施例的侧视图，并且图6B是图6A所显示的支撑螺母225的俯视图。支撑螺母225包括