一种掩膜板固定装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体器件制备技术领域，特别是涉及一种掩膜板固定装置。
【背景技术】
[0002]有机发光二极管(OLED，Organic Light-Emitting D1des)是自发光器件，无需背光源，外观轻而薄，并且具有显示功耗低、视角宽、屏幕响应快的优点。因此，有机发光二极管有望取代液晶显示器。
[0003]在有机发光二极管制备过程中，目前较为成熟的技术是采用真空蒸镀技术，在器件制备过程中，有机材料会淀积在位于蒸发源上方的基板上，为了形成特有的图案，在基板下方紧贴有掩膜板，掩膜板上预先留有设计排版好的开口，最终有机材料会通过开口，淀积到基板上面。
[0004]在传统技术中，大尺寸基板镀膜工艺的掩膜板多采用分割式的掩膜板，各掩膜板受张紧力后焊接在一种掩膜板框架上，在焊接完成后，掩膜板的精度就不可再调整。在焊接过程中容易引起变形，并且在后续工序中，掩膜板在使用过程中，机械张力引起的变形将会使得掩膜板逐渐松弛，上述原因会影响掩膜板开口的精度，造成掩膜板报废。
【发明内容】
[0005]基于此，有必要提供一种掩膜板固定装置，应用本发明技术方案，能够对OLED工序使用过程中的各掩膜板的松紧程度进行微调，降低掩膜板的报废率。
[0006]一种掩膜板固定装置，包括:配对使用的焊接掩膜板一端的多个分离块、下框架，以及可调整所述分离块与所述下框架接触松紧程度的若干锁紧机构。
[0007]在一个实施例中，所述下框架为矩形框架；所述多个分离块对称分布在所述矩形框架的两边架上。
[0008]在一个实施例中，所述锁紧机构包括至少一个螺栓。
[0009]在一个实施例中，所述多个分离块自成一体，为一上框架的一部分。
[0010]上述掩膜板固定装置，包括配对使用的多个分离块、下框架，以及可以调整分离块与下框架接触松紧程度的锁紧机构，可以对OLED工序操作过程中的各掩膜板的松紧程度进行微调，从而降低掩膜板的报废率。
【附图说明】
[0011]图1为一个实施例中的掩膜板固定装置的俯视示意图；
[0012]图2为一个实施例中的掩膜板固定装置的侧面视图及局部放大图；
[0013]图3为一个实施例中的掩膜板固定装置中分离块与掩膜板的焊接结构示意图；
[0014]图4为一个实施例中的掩膜板固定装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0016]参见图1至图3，在一个实施例中，提供了一种掩膜板固定装置。该掩膜板固定装置包括:配对使用的焊接掩膜板10 —端的多个分离块101、下框架102，以及可调整分离块101与下框架102接触松紧程度的若干锁紧机构103。
[0017]具体的，下框架102为矩形框架，多个分离块101对称分布在矩形框架的两边架上。在使用本装置的过程中，如图3，掩膜板的两端分别焊接在左右对称的两个分离块上。每个分离块对应于一个锁紧机构，在本例中，锁紧机构包括至少一个螺栓，例如可以但不限于为均匀排列的两个螺栓，可以调整各个分离块与下框架接触的松紧程度。
[0018]参见图4，在另一个实施例中，提供了一种掩膜板固定装置，在本例中，多个分离块自成一体，为一上框架201的一部分。本实施例中，掩膜板固定装置的其它部件如下框架202、锁紧机构203与图1至图3中实施例相类似，在此不再赘述。
[0019]上述实施例中的掩膜板固定装置，包括配对使用的多个分离块、下框架，以及可以调整分离块与下框架接触松紧程度的锁紧机构，可以对OLED工序操作过程中的各掩膜板的松紧程度进行微调，从而降低掩膜板的报废率。
[0020]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种掩膜板固定装置，其特征在于，包括:配对使用的焊接掩膜板一端的多个分离块、下框架，以及可调整所述分离块与所述下框架接触松紧程度的若干锁紧机构。
2.根据权利要求1所述的掩膜板固定装置，其特征在于，所述下框架为矩形框架；所述多个分离块对称分布在所述矩形框架的两边架上。
3.根据权利要求1或2所述的掩膜板固定装置，其特征在于，所述锁紧机构包括至少一个螺栓。
4.根据权利要求3所述的掩膜板固定装置，其特征在于，所述多个分离块自成一体，为一上框架的一部分。
【专利摘要】本实用新型公开了一种掩膜板固定装置，包括：配对使用的焊接掩膜板一端的多个分离块、下框架，以及可调整所述分离块与所述下框架接触松紧程度的若干锁紧机构。应用本实用新型技术方案，能够对OLED工序使用过程中的各掩膜板的松紧程度进行微调，降低掩膜板的报废率。
【IPC分类】C23C14-24, C23C14-04
【公开号】CN204509446
【申请号】CN201420796779
【发明人】马得贵, 吴俊雄, 冉应刚, 柯贤军, 苏君海, 黄亚清, 李建华
【申请人】信利（惠州）智能显示有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2014年12月15日