一种单晶炉加压装置的制作方法

文档序号:13708487阅读:113来源:国知局
技术领域本发明专利涉及单晶炉技术领域,特别是一种单晶炉加压装置。

背景技术:
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中需要在高压的环境下进行,但是随着压力的不断增大单晶炉也会产生安全隐患,所以设计一种单晶炉加压装置就显得尤为重要,防止其受到过大的压力而造成自身结构的损坏。

技术实现要素:
本发明的目的是通过设置溢流通道和压力阀来起到自我保护的作用,防止其受到过大的压力而造成自身结构的损坏,减少了不必要的损失;而发明了一种单晶炉加压装置。为解决上述的技术问题,本发明提供了一种单晶炉加压装置,包括加压缸体,所述的加压缸体为半封闭式的筒体,活塞,所述的活塞活动连接在加压缸内,所述的活塞的顶部与气缸的出轴端相连,所述的气缸安装在上支架的底部,充气管,所述的充气管连接在加压缸体的底部,所述的充气管与加压缸体之间设置有单向阀,出气管,所述的出气管连接在加压缸体的底部,所述的出气管与加压缸体之间设置有电磁阀,压力阀,所述的活塞上开设有溢流通道,所述的压力阀安装在溢流通道内。进一步:所述的充气管上安装有空气过滤器。又进一步:所述的单向阀包括第一阀筒、第一阀芯、第一弹簧和第一阀盖,所述的第一阀筒的一端开设有进气孔,所述的第一阀盖安装在第一阀筒的另一端内,所述的第一阀芯活动连接在第一阀筒内,所述的第一阀芯通过第一弹簧与第一阀盖相连,所述的第一阀芯在第一弹簧的作用下堵塞在进气孔处。又进一步:所述的第一阀盖上开设有导向孔,所述的导向孔内活动连接有导向杆,所述的导向杆的一端连接在第一阀芯上。又进一步:所述的电磁阀包括第二阀筒、第二阀芯、第二弹簧、传动杆、上楔形块、下楔形块和电动缸,所述的第二阀筒的顶部开设有出气孔,所述的第二阀芯活动连接在出气孔的外侧,所述的第二阀芯的底部连接有传动杆所述的传动杆穿过出气孔与上楔形块相连,所述的上楔形块通过滑动机构连接在第二阀筒内的一侧壁上,所述的第二阀筒内的另一侧壁上安装有电动缸,所述的电动缸与下楔形块相连,所述的下楔形块活动连接在上楔形块的楔形面上。又进一步:所述的滑动机构包括竖直设置在第二阀筒侧壁上的导轨和滑块,所述的上楔形块通过滑块活动连接在轨道上。又进一步:所述的压力阀包括第三阀筒、第三阀盖、第三阀芯和第三弹簧,所述的第三阀筒安装在溢流通道内,所述的第三阀芯活动连接在第三阀筒的一端内,所述的第三阀盖安装在第三阀筒的另一端上,所述的第三阀芯通过第三弹簧与第三阀盖相连,所述的第三弹簧与第三阀盖之间还设置有挡板,所述的挡板与第三阀盖活动连接,所述的第三阀筒的侧壁上开设有泄流孔,所述的泄流孔通过溢流通道与外界大气相连通。再进一步:所述的第三阀盖一端的外侧设置有外接螺纹,所述的与第三阀盖相连的第三阀筒的一端内设置有内接螺纹,所述的外接螺纹与内接螺纹相匹配。采用上述结构后本发明通过设置溢流通道和压力阀来起到自我保护的作用,防止其受到过大的压力而造成自身结构的损坏,减少了不必要的损失;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。图1为本发明的结构示意图。图2为压力阀的结构示意图。图3为单向阀的结构示意图。图4为电磁阀的结构示意图。具体实施方式如图1所示的一种单晶炉加压装置,包括加压缸体1、活塞4、充气管10、出气管11和压力阀6,所述的加压缸体1为半封闭式的筒体,所述的活塞4活动连接在加压缸体1内,所述的活塞4的顶部与气缸3的出轴端相连,所述的气缸3安装在上支架2的底部,所述的充气管10连接在加压缸体1的底部,所述的充气管10与加压缸体1之间设置有单向阀8,所述的出气管11连接在加压缸体1的底部,所述的出气管11与加压缸体1之间设置有电磁阀11,所述的活塞4上开设有溢流通道5,所述的压力阀6安装在溢流通道5内,所述的充气管10上安装有空气过滤器12。工作时通过启动气缸3使其带着活塞4向下运动调整加压的空间,然后向充气管10内充入气体,此时单向阀8会自行启动,使气体不断向加压缸体1内充入,当气压满足要求后打开电磁阀11通过出气管11向单晶炉内加压。本设计通过设置溢流通道和压力阀来起到自我保护的作用,防止其受到过大的压力而造成自身结构的损坏,减少了不必要的损失。如图2所示的压力阀6包括第三阀筒13、第三阀盖16、第三阀芯14和第三弹簧15,所述的第三阀筒13安装在溢流通道5内,所述的第三阀芯14活动连接在第三阀筒13的一端内,所述的第三阀盖16安装在第三阀筒13的另一端上,所述的第三阀芯14通过第三弹簧15与第三阀盖16相连,所述的第三弹簧15与第三阀盖16之间还设置有挡板24,所述的挡板24与第三阀盖16活动连接,所述的第三阀筒13的侧壁上开设有泄流孔17,所述的泄流孔17通过溢流通道与外界大气相连通。所述的第三阀盖16一端的外侧设置有外接螺纹,所述的与第三阀盖16相连的第三阀筒13的一端内设置有内接螺纹,所述的外接螺纹与内接螺纹相匹配。当加压缸体1内的压力过大时,高压气体会推动第三阀芯14挤压弹簧,当泄流孔17与加压缸体1相连通时,高压气体会沿着泄流孔17溢流通道跑出,从而降低加压缸体1内的气压,对加压缸体1起到保护的作用。并且本设计可以通过旋转第三阀盖16来调节第三弹簧15初始的压缩量,从而对压力保护进行控制,增加了其的实用性能。如图3所示的单向阀8包括第一阀筒20、第一阀芯22、第一弹簧26和第一阀盖21,所述的第一阀筒20的一端开设有进气孔23,所述的第一阀盖21安装在第一阀筒20的另一端内,所述的第一阀芯22活动连接在第一阀筒20内,所述的第一阀芯22通过第一弹簧26与第一阀盖21相连,所述的第一阀芯22在第一弹簧26的作用下堵塞在进气孔23处。所述的第一阀盖21上开设有导向孔,所述的导向孔内活动连接有导向杆25,所述的导向杆25的一端连接在第一阀芯22上。充气时,气体会推动第一阀芯22挤压第一弹簧26,使气体从第一阀芯22与第一阀盖21之间的间隙进入加压缸体1内,从而对加压缸体1进行加压。本发明通过采用上述设计起到了单向通气的作用,防止气体反向从充气管10跑出。如图4所示的电磁阀11包括第二阀筒28、第二阀芯29、第二弹簧31、传动杆30、上楔形块34、下楔形块33和电动缸32,所述的第二阀筒28的顶部开设有出气孔,所述的第二阀芯29活动连接在出气孔的外侧,所述的第二阀芯29的底部连接有传动杆30所述的传动杆30穿过出气孔与上楔形块34相连,所述的上楔形块34通过滑动机构连接在第二阀筒28内的一侧壁上,所述的第二阀筒28内的另一侧壁上安装有电动缸32,所述的电动缸32与下楔形块33相连,所述的下楔形块33活动连接在上楔形块34的楔形面上。所述的滑动机构包括竖直设置在第二阀筒28侧壁上的导轨35和滑块36,所述的上楔形块34通过滑块36活动连接在轨道35上。当需要向单晶炉内进行加压时,启动电动缸32使其推着下楔形块33做水平运动,上楔形块34在下楔形块33的作用下会通过滑块36沿着导轨35向上运动,从而顶出第二阀芯29,此时加压缸体1内的高压气体会沿着第二阀芯29与第二阀筒28之间的间隙跑入单晶炉内,从而完成对单晶炉内的加压作业。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
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