技术总结
本发明公开了一种退火设备及其退火工艺，包括加热保护元件、内部开有凹槽的上保温腔体和下保温腔体以及升降移动机构；升降移动机构包括竖直升降杆、水平移动带和底座，其中，竖直升降杆一侧连接上保温腔体和下保温腔体，上保温腔体和下保温腔体可沿竖直升降杆上下移动；水平移动带上配有基座，水平移动带通过支撑座固定设置在底座上，水平移动带带动固定加热保护元件的基座左右移动。采用本发明的退火设备操作方便、降温均匀；退火过程中，进行降温的加热保护元件通过吊装从基座上移走的同时，迅速装入下一个装有单晶棒的加热保护元件进行退火，实现连续快速生产，节省能耗和时间。
技术研发人员：杨翠柏;方聪;杨光辉;陈丙振
受保护的技术使用者：北京鼎泰芯源科技发展有限公司
文档号码：201610921638
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2017.02.22