离线欧洲灰低辐射镀膜玻璃的制作方法

文档序号:12520791阅读:来源:国知局

技术特征:

1.离线欧洲灰低辐射镀膜玻璃,其特征在于,该玻璃膜层结构依次为:玻璃基片、第一层打底层氮化硅层、第二层保护层镍铬层、第三层介质层氧化锌锡层、第四层种子层氧化锌层、第五层功能层铜层、第六层保护层镍铬层、第七层介质层氮化硅层、第八层介质层氧化锌锡层、第九层种子层氧化锌层、第十层功能层银层、第十一层保护层镍铬层、第十二层介质保护层氮化硅层。

2.根据权利要求1所述低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述低辐射镀膜玻璃采用离线磁控溅射或原子沉积技术镀膜制成。

3.根据权利要求1所述低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第一层打底层氮化硅层的厚度在25nm到35nm之间,第七层介质层氮化硅层厚度在20nm到30nm之间,第十二层介质保护层氮化硅层厚度在30nm到48nm之间。

4.根据权利要求1所述低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第二层保护层镍铬层的厚度在7.5nm到8.5nm之间,第六层保护层镍铬层厚度在2.5nm到4nm之间,第十一层保护层镍铬层厚度在1.5nm到3.5nm之间。

5.根据权利要求1所述低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第三层介质层氧化锌锡层的厚度在25nm到35nm之间,第八层介质层氧化锌锡层的厚度在15nm到34nm之间。

6.根据权利要求1所述低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第四层种子层氧化锌层的厚度在4nm到10nm之间,第九层种子层氧化锌层的厚度在4nm到10nm之间。

7.根据权利要求1所述低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第五层功能层铜层的厚度范围在4.9nm到6.1nm之间。

8.根据权利要求1所述低辐射镀膜玻璃,其特征在于,所述第十层功能层银层的厚度范围在8nm到13nm之间。

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