一种MBE分子束外延束源炉的制作方法

文档序号:11719886阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种MBE分子束外延束源炉,其特征在于,包括热解氮化硼坩埚、加热片电极、绝缘陶封电极、水冷管、水冷VCR接头和安装法兰,所述热解氮化硼坩埚的下端连接有安装法兰,所述热解氮化硼坩埚上设置有加热片电极和水冷管,所述加热片电极包括分别设置在左右两端的第一加热片电极和第二加热片电极,所述水冷管包括分别设置在左右两端的第一水冷管和第二水冷管,所述绝缘陶封电极包括分别设置在所述安装法兰左右两端的第一绝缘陶封电极和第二绝缘陶封电极,所述第一绝缘陶封电极与所述第一加热片电极连接,所述第二绝缘陶封电极与所述第二加热片电极连接,所述水冷管通过所述水冷VCR接头与所述安装法兰上的冷却水管相连接。

2.如权利要求1所述的MBE分子束外延束源炉,其特征在于,所述热解氮化硼坩埚的上端左右两侧分别设置有第一坩埚沿口加热片和第二坩埚沿口加热片,所述热解氮化硼坩埚的四周在竖直方向按蛇形方式盘有坩埚加热丝。

3.如权利要求2所述的MBE分子束外延束源炉,其特征在于,所述热解氮化硼坩埚的底端设置有束源炉支撑座,所述束源炉支撑座的中心处设置有绝缘座,所述绝缘座通过炉体支撑杆与所述安装法兰连接。

4.如权利要求3所述的MBE分子束外延束源炉,其特征在于,所述安装法兰上设置有测温电极,所述测温电极通过设置在所述炉体支撑杆之中的连接线与所述绝缘座连接。

5.如权利要求4所述的MBE分子束外延束源炉,其特征在于,所述绝缘座上设置有保护罩,所述保护罩通过螺钉固定到所述绝缘座上。

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