一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺的制作方法

文档序号:11507501阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺,设有炉体和加热电源,在炉膛内设有石英管,石英管内设有坩锅,坩锅内下部设有籽晶腔,在石英管下方设有支撑架,炉膛的上下两端设有密封堵头,所述炉体的炉膛内从下到上依次设有九个加热区;每个加热区设有与电源柜连通的电极和电缆、自控开关,还设有温控系统。本发明适用于碲锌镉单晶的生长,省去了机械运动,形成无震动生长环境,分区灵活地控制生长温度,大大缩短了升温化料和接籽晶的时间,提高了单晶的质量和生产效率。而且整机结构紧凑,占地面积小,减少设备成本,安装简单,并且程序化控制,运行精确,重复性稳定。利用该设备可较快生成大直径碲锌镉单晶体。

技术研发人员:魏守冲;张明文
受保护的技术使用者:磐石创新(北京)电子装备有限公司
技术研发日:2017.03.29
技术公布日:2017.08.18
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