一种改进的单晶炉结构及其应用的制作方法

文档序号:11647812阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种改进的单晶炉结构及其应用,包括一种改进的单晶炉结构,其包含一底座,该底座上设置有主炉室,所述主炉室的下方设置有下传动机构;炉盖,设置在主炉室的上方,炉盖上方设置有第一隔离阀以及炉盖处设置有炉盖提升机构;所述炉盖提升机构由液压油缸驱动,一立柱,该立柱设置在底座上,所述立柱的顶部设置有维修平台,其中间部分通过机架固定有副炉室,所述副炉室的底部设置有第二隔离阀,所述副炉室的上部设置有上传动机构。以及本发明还提供了一种应用,包含用于缩短晶棒生产周期的方法,通过对第一隔离阀和第二隔离阀的控制,配合移动加料器的应用,可以在冷却晶棒的同时实现二次加料和熔化,有效利用冷却晶棒的时间,从而提高生产效率。

技术研发人员:时刚;武海军
受保护的技术使用者:西安创联新能源设备有限公司
技术研发日:2017.04.28
技术公布日:2017.07.28
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