一种压电晶体的制造方法与流程

文档序号:12858596阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种压电晶体的制造方法,使用泡生法来生长压电晶体,晶锭可掏出2~6英寸任意轴向的晶棒,所述泡生法是在长晶过程进入等径段时,采用停止向上提拉或微提拉的方式让晶体自然生长,所述提拉速度<0.1mm/h,同时晶体不旋转,所述长晶过程中,晶体顶端位置不高于坩埚口。本发明晶锭可掏出2~6英寸任意轴向的晶棒,来满足声表面波滤波器(SAW)设计时各种晶体轴向的要求,特别是解决一些传统提拉法(CZ)无法生长的晶体轴向。

技术研发人员:徐秋峰;张寒贫;张忠伟;张鸿;张坚;陈晓强;沈礼东;陈铖;沈晓燕
受保护的技术使用者:天通控股股份有限公司
技术研发日:2017.06.16
技术公布日:2017.11.03
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