一种AlN‑SiC固溶体晶须及其制备方法与流程

文档序号:13641505阅读:318来源:国知局

本发明属于aln-sic固溶体材料领域。具体涉及一种aln-sic固溶体晶须及其制备方法。



背景技术:

aln材料具有较低的密度、较高的热导率、较高的电阻率、较大的机械强度、抗氧化性能优良和抗热震性能好等优点,广泛应用于电子衬底、切削工具、散热器和许多高温结构部件领域;但由于它的韧性较差,使它在承载轴承方面的应用受到限制。aln和sic具有相似的晶体结构和高温性能,已有许多报道用多种方法成功制备出aln-sic固溶体,从而提高了陶瓷材料的机械性能。

目前,chenkexin等人(chenk,jinh,zhouh,etal.combustionsynthesisofaln–sicsolidsolutionparticles[j].journaloftheeuropeanceramicsociety,2000,20(14–15)2601-2606.)用铝粉、硅粉和炭黑合成aln-sic固溶体粉末,公开了氮气压力、(si+c)/al原子的比例对反应产物aln-sic晶相和燃烧过程的影响,该法反应温度和速率很难控制,晶体生长不完整;r.roucka等人利用分子束外延法制备了aln-sic固溶体薄膜(rouckar,tollej,chizmeshyaav,etal.low-temperatureepitaxialgrowthofthequaternarywidebandgapsemiconductorsicaln.[j].physicalreviewletters,2002,88(20)206102.),该方法用h3sicn蒸汽和al原子制备aln-sic固溶体薄膜,虽所需的温度较低,但反应系统复杂、晶体的生长速度慢和生长面积也受到一定限制;i.jenkins等人用化学金属有机化学气相沉积法制备了aln-sic固溶体(jenkinsi,irvinekg,spencermg,etal.growthofsolidsolutionsofaluminumnitrideandsiliconcarbidebymetalorganicchemicalvapordeposition[j].journalofcrystalgrowth,1993,128(1–4):375-378.),该方法以硅烷、丙烷、氨气和三甲基铝作为反应气体,以氢气作为传输气体,虽在si和sic基体上生长出aln-sic固溶体,但原料处理工艺复杂,合成率低。



技术实现要素:

本发明旨在克服现有技术缺陷,目的在于提供一种工艺简单、晶须尺寸可控、收得率高和化学成分分布均匀的aln-sic固溶体晶须的制备方法,所制备的aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面,所述aln-sic固溶体晶须材料导热性高、电绝缘性能好和机械性能优越。

为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:

步骤一、按al4sic4粉料∶纳米镍粉的质量比为1∶(0.005~0.05),将所述al4sic4粉料和所述纳米镍粉混合,即得混合粉。

步骤二、将所述混合粉在5~50mpa条件下压制成型,再将成型后的坯体装入石墨坩埚内。

步骤三、将所述石墨坩埚置于管式刚玉炉中,在氮气气氛和1300~1900℃条件下保温60~600min,再以5~10℃/min的速率冷却至800~1000℃,然后自然冷却至室温,制得aln-sic固溶体晶须。所述aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面。

所述al4sic4粉料的al4sic4含量≥98.0wt%,粒度≤150μm。

所述氮气的纯度≥98vol%。

由于采用上述技术方案,本发明与现有技术相比具有以下优点:

本发明使用al4sic4坯体制备aln-sic固溶体晶须,aln-sic固溶体晶须在生长过程中不需要模板和载体,所述aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面。所述aln-sic固溶体晶须能在较低温度和较短时间下生成,工艺简单。本发明采用单相al4sic4原料制备aln-sic固溶体晶须,使产物化学成分分布更加均匀,收得率高,有利于aln-sic固溶体晶须工业化生产及推广应用。

本发明制备的aln-sic固溶体为晶须状,是目前本领域研究结果未有的,aln-sic固溶体晶须继承了aln晶须和sic晶须特有的性质,具有较高的导热率、电阻率和韧性。

本发明在al4sic4坯体表面制得aln-sic固溶体晶须:直径为0.1~4μm;长度为5μm~2mm;随着温度提高,aln-sic固溶体晶须产率和尺寸则逐步提高。

因此,本发明具有工艺简单、晶须尺寸可控、收得率高和化学成分分布均匀的特点,所制备的aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面,所述aln-sic固溶体晶须材料导热性高、电绝缘性能好和机械性能优越,适合工业化生产及推广应用。

附图说明

图1是本发明制备的一种aln-sic固溶体晶须的扫描电子显微镜照片。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的描述,并非对其保护范围的限制。

本具体实施方式中:

所述氮气的纯度≥98vol%;

所述al4sic4粉体的al4sic4含量≥98.0wt%,粒度≤150μm。

实施例中不再赘述。

实施例1

一种aln-sic固溶体晶须及其制备方法。本实施例所述制备方法是:

步骤一、按al4sic4粉料∶纳米镍粉的质量比为1∶(0.005~0.01),将所述al4sic4粉料和所述纳米镍粉混合,即得混合粉。

步骤二、将所述混合粉在5~20mpa条件下压制成型,再将成型后的坯体装入石墨坩埚内。

步骤三、将所述石墨坩埚置于管式刚玉炉中,在氮气气氛和1300~1650℃条件下保温60~240min,再以5~7℃/min的速率冷却至800~850℃,然后自然冷却至室温,制得aln-sic固溶体晶须。

本实施例所述aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面;所述aln-sic固溶体晶须:直径为0.1~2μm,长度为5~500μm。

实施例2

一种aln-sic固溶体晶须及其制备方法。本实施例所述制备方法是:

步骤一、按al4sic4粉料∶纳米镍粉的质量比为1∶(0.01~0.03),将所述al4sic4粉料和所述纳米镍粉混合,即得混合粉。

步骤二、将所述混合粉在15~30mpa条件下压制成型,再将成型后的坯体装入石墨坩埚内。

步骤三、将所述石墨坩埚置于管式刚玉炉中,在氮气气氛和1400~1750℃条件下保温180~360min,再以6~8℃/min的速率冷却至850~900℃,然后自然冷却至室温,制得aln-sic固溶体晶须。

本实施例所述aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面;所述aln-sic固溶体晶须:直径为0.5~2μm,长度为0.25~1mm。

实施例3

一种aln-sic固溶体晶须及其制备方法。本实施例所述制备方法是:

步骤一、按al4sic4粉料∶纳米镍粉的质量比为1∶(0.02~0.04),将所述al4sic4粉料和所述纳米镍粉混合,即得混合粉。

步骤二、将所述混合粉在25~40mpa条件下压制成型,再将成型后的坯体装入石墨坩埚内。

步骤三、将所述石墨坩埚置于管式刚玉炉中,在氮气气氛和1500~1850℃条件下保温300~480min,再以7~9℃/min的速率冷却至900~950℃,然后自然冷却至室温,制得aln-sic固溶体晶须。

本实施例所述aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面;所述aln-sic固溶体晶须:直径为1.5~3μm,长度为0.5~1.5mm。

实施例4

一种aln-sic固溶体晶须及其制备方法。本实施例所述制备方法是:

步骤一、按al4sic4粉料∶纳米镍粉的质量比为1∶(0.03~0.05),将所述al4sic4粉料和所述纳米镍粉混合,即得混合粉。

步骤二、将所述混合粉在35~50mpa条件下压制成型,再将成型后的坯体装入石墨坩埚内。

步骤三、将所述石墨坩埚置于管式刚玉炉中,在氮气气氛和1600~1900℃条件下保温420~600min,再以8~10℃/min的速率冷却至950~1000℃,然后自然冷却至室温,制得aln-sic固溶体晶须。

本实施例所述aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面;所述aln-sic固溶体晶须:直径为2.5~4μm,长度为1~2mm。

本具体实施方式与现有技术相比具有以下优点:

本具体实施方式使用al4sic4坯体制备aln-sic固溶体晶须,aln-sic固溶体晶须在生长过程中不需要模板和载体,所述aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面。所述aln-sic固溶体晶须能在较低温度和较短时间下生成,工艺简单。本具体实施方式采用单相al4sic4原料制备aln-sic固溶体晶须,使产物化学成分分布更加均匀,收得率高,有利于aln-sic固溶体晶须工业化生产及推广应用。

本具体实施方式制备的aln-sic固溶体为晶须状,是目前本领域研究结果未有的,aln-sic固溶体晶须继承了aln晶须和sic晶须特有的性质,具有较高的导热率、电阻率和韧性。

本具体实施方式制备的aln-sic固溶体晶须如图1所示,图1是实施例1在al4sic4坯体表面制备的一种aln-sic固溶体晶须的扫描电子显微镜照片。从照片可以看出:直径为0.4μm~2μm,长度为10~140μm。本具体实施方式在al4sic4坯体表面制得aln-sic固溶体晶须:直径为0.1μm~4μm,长度为5μm~2mm。随着温度提高,aln-sic固溶体晶须产率和尺寸则逐步提高。

因此,本具体实施方式具有工艺简单、晶须尺寸可控、收得率高和化学成分分布均匀的特点,所制备的aln-sic固溶体晶须生长在所述al4sic4坯体表面,制备的aln-sic固溶体晶须材料导热性高、电绝缘性能好和机械性能优越,适合工业化生产及推广应用。

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