一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具的制作方法

文档序号:11366582阅读:276来源:国知局

本实用新型涉及单晶炉技术领域,特别地,涉及一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具。



背景技术:

单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生长无错位单晶的设备。在直拉法制备单晶硅工艺中,有时需取出热系统的中保温筒后对热场进行冷却和清理。

但中保温筒尺寸大、本身石墨材质加上外边的碳毡使得整体重量较大,加之提取时内部还有处于高温、固定状态的石墨加热器,可抓取的空间比较小。在实际生产中,需要4个身高力大的员工穿戴高温保护手套小心提取,否则就需要长时间冷却,耽误生产运行。即使如此,依然有烫伤员工或中保温筒掉落损坏的事件发生,给生产带来极大不便。



技术实现要素:

针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,解决了生产中无专用夹具取出热系统的中保温筒的问题。

为了达到上述目的,本实用新型采用以下技术方案予以实现。

一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,其特征在于,包括:刚性外壳、软性内衬、吊杆和吊钩;所述刚性外壳的截面为凹槽形,所述软性内衬设置于所述刚性外壳的凹槽内部;所述吊杆的上端为安装端,所述吊杆通过所述安装端固定安装在所述刚性外壳的外侧,所述吊杆的下端连接所述吊钩。

作为优选地,所述软性内衬通过沉头螺丝固定连接所述刚性外壳。

作为优选地,所述软性内衬的内侧为弧形凹槽状。

作为优选地,所述安装端通过沉头螺丝将所述吊杆固定安装在所述刚性外壳的外侧,且所述外侧为所述软性内衬的内侧为内弧的一侧。

作为优选地,所述吊钩焊接于所述吊杆的下端。

作为优选地,所述吊杆为弧形,使得所述吊杆下端的吊钩与所述刚性外壳的水平距离为5-10厘米。

作为优选地,所述软性内衬的材质为聚四氟乙烯。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:

本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具结构简单、使用方便,在用于提取单晶炉热系统的中保温筒时,将刚性外壳卡入炉筒上沿,将吊钩钩住中保温筒,提升炉筒,即可将中保温桶提取出,避免了人工提取时烫伤员工或者中保温筒掉落损坏的事件发生,也不需要长时间冷却,提高了生产效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

图1为本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具的结构示意图;

图中:1、沉头螺丝;2、刚性外壳;3、软性内衬;4、安装端;5、吊杆;6、吊钩。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型的实施方案进行详细描述,但是本领域的技术人员将会理解,下列实施例仅用于说明本实用新型,而不应视为限制本实用新型的范围。

根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,包括:刚性外壳2、软性内衬3、吊杆5和吊钩6;所述刚性外壳2的截面为凹槽形,所述软性内衬3设置于所述刚性外壳2的凹槽内部;所述吊杆5的上端为安装端4,所述吊杆5通过所述安装端4固定安装在所述刚性外壳2的外侧,所述吊杆5的下端连接所述吊钩6。

以上实施例中,刚性外壳2作为主要承力体,为截面为凹槽形的形状,凹槽内部设置有软性内衬3,刚性外壳2的凹槽状形状可以使得刚性外壳2卡在炉筒的上沿,吊钩6钩住中保温筒,进而提取出热系统的中保温筒。

根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,所述软性内衬3通过沉头螺丝1固定连接所述刚性外壳2。

根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,所述软性内衬3的内侧为弧形凹槽状。

以上实施例中,软性内衬3设置为弧形凹槽状,可以使得刚性外壳2卡在炉筒上沿时,软性内衬3与炉筒的外壁紧密贴合,提取中保温筒时,中保温筒受力均匀,不易发生提取时掉落的现象。

根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,所述安装端4通过沉头螺丝1将所述吊杆5固定安装在所述刚性外壳2的外侧,且所述吊杆5固定安装在所述刚性外壳2的外侧为所述软性内衬3的内侧为内弧的一侧。

根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,所述吊钩6焊接于所述吊杆6的下端。

根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,所述吊杆5为弧形,使得所述吊杆5下端的吊钩6与所述刚性外壳2的水平距离为5-10厘米。

根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用提取热系统的夹具,所述软性内衬3的材质为聚四氟乙烯。

以上实施例中,吊杆5固定安装在刚性外壳2的外侧为软性内衬3的内侧为内弧的一侧,使得吊杆5下端的吊钩6钩住中保温筒的外壁,吊杆5为弧形,使得吊钩6与刚性外壳2的水平距离为5-10厘米,这样,吊钩6在钩住中保温筒向上提取时,吊钩6可以更稳定的钩住中保温筒,而使其不容易滑落。

使用本实用新型的直拉法单晶炉用提取热系统的夹具提取中保温筒时,至少需要3个本实用新型的直拉法单晶炉用提起热系统的夹具,且3个夹具的刚性外壳2均匀卡入炉筒上沿,呈120°夹角,吊钩6钩住中保温筒,可以保证中保温筒的受力均匀,同时也可以利用炉筒原有的定位块来保证中保温筒的受力均匀;当吊钩6钩住中保温筒时,控制炉筒内液压,提升炉筒,在炉筒的提升过程中,夹具就可利用炉筒升力水平提升中保温桶,最终将中保温桶提取出,避免了人工提取时烫伤员工或者中保温筒掉落损坏的事件发生,也不需要长时间冷却,提高了生产效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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