一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑的制作方法

本实用新型涉及单晶炉技术领域，特别地，涉及一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑。

背景技术：

单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶的设备。直拉法制备单晶硅工艺中，热系统由多个部件组合而成，达到支撑空间、保持内部温度的目的。

其中导流筒支撑位于热系统的正上方，是支撑导流筒的关键部件，受上部低温氩气与下部高温熔硅的影响，在使用一定炉数后会发生崩边现象，崩边物质掉入熔硅会对生产带来极大影响。

在生产实践中发现，崩边经常发生在部件的上沿部位，而下沿部位完好，但因定位设计的问题导致导流筒支撑无法继续利用。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑，解决了原有导流筒支撑因单面崩边而导致完全无法使用的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案予以实现。

一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑，包括导流筒支撑本体，其特征在于，该导流筒支撑本体包括第一面和第二面，所述第一面由外向内依次设置有上保温筒定位槽、上导流筒定位环槽，所述上导流筒定位环槽处设置有上导流筒入口，所述第二面由外向内依次设置有下保温筒定位槽、下导流筒定位环槽，所述下导流筒定位环槽处设置有下导流筒入口。

根据本实用新型的直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑，导流筒支撑本体包括具有反向对称结构的第一面和第二面，第一面和第二面由外向内依次设置有上保温筒定位槽、上导流筒定位环槽，第二面由外向内依次设置有下保温筒定位槽、下导流筒定位环槽，上导流筒定位环槽处设置有上导流筒入口，下导流筒定位环槽处设置有下导流筒入口；在使用时，先按照第一面安装使用，当导流筒支撑在使用过程中发生崩边现象时，将导流筒支撑上下颠倒安装使用，即可避免由于边缘崩边而导致的崩边物质掉入熔硅而对生产带来的影响，同时解决了发生崩边现象后导流筒支撑无法继续使用的问题。

作为优选地，所述导流筒支撑本体的材质为等静压石墨。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

图1为本实用新型的一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑的俯视结构示意图；

图2为图1中A-B截面结构示意图；

图中：1上保温筒定位槽；2上导流筒定位环槽；3上导流筒入口。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型的实施方案进行详细描述，但是本领域的技术人员将会理解，下列实施例仅用于说明本实用新型，而不应视为限制本实用新型的范围。

参考图1，根据本实用新型提供的一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑，包括导流筒支撑本体，其特征在于，该导流筒支撑本体包括第一面和第二面，所述第一面由外向内依次设置有上保温筒定位槽1、上导流筒定位环槽2，所述上导流筒定位环槽2处设置有上导流筒入口3，所述第二面由外向内依次设置有下保温筒定位槽、下导流筒定位环槽，所述下导流筒定位环槽处设置有下导流筒入口。

在以上实施例中，导流筒支撑本体包括具有反向对称结构的第一面和第二面，第一面和第二面由外向内依次设置有上保温筒定位槽1、上导流筒定位环槽2，第二面由外向内依次设置有下保温筒定位槽、下导流筒定位环槽，上导流筒定位环槽2处设置有上导流筒入口3，下导流筒定位环槽处设置有下导流筒入口；在使用时，先按照第一面将导流筒支撑安装在导流筒上使用，当导流筒支撑在使用过程中发生崩边现象时，将导流筒支撑上下颠倒安装使用，即可避免由于边缘崩边而导致的崩边物质掉入熔硅而对生产带来的影响，同时解决了发生崩边现象后导流筒支撑无法继续使用的问题。

根据本实用新型提供的一种直拉法单晶炉用双面式导流筒支撑，所述导流筒支撑本体的材质为等静压石墨。

在以上实施例中，导流筒支撑本体采用等静压石墨的材质，等静压石墨具有细结构、大规格、各向同性的特点，机械强度如抗压强度、抗拉强度、硬度等性能高，将其作为导流筒支撑的材质，可使导流筒支撑具有良好的支撑作用。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。