一种全自动还原炉硅芯安装装置的制作方法

文档序号:14344615阅读:561来源:国知局

本实用新型涉及太阳能光伏生产装置技术领域,具体涉及一种还原炉硅芯安装装置。



背景技术:

目前主流的多晶硅生产方式为改良西门子法。改良西门子法是将一定比例高纯的三氯氢硅及氢气物料气通入化学气相沉积(CVD)还原炉内,通过一定的温度和压力,使物料气在还原炉内的硅芯表面发生气相沉积反应,制取多晶硅棒。在将还原炉所使用的硅芯安装于还原炉地盘的工序,大部分多晶硅企业都是通过人工安装的方式来进行硅芯安装。但是人工安装效率低、安装质量不一致、容易对硅芯产生二次污染。

因此,一种能够自动化安装硅芯的装置对于硅芯安装效率的提升、安装质量一致性的提高以及安装过程中二次污染的杜绝是十分必要的。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是提供一种可实现硅芯安装的自动化、并能提高安装效率和质量一致性、还能避免二次污染的全自动还原炉硅芯安装装置。

为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种全自动还原炉硅芯安装装置,其特征在于:包括有控制机构、供电机构、石墨卡件抓取机构、硅芯抓取机构和用于储放石墨卡件及硅芯的储料箱,石墨卡件抓取机构、硅芯抓取机构和储料箱均安装于支架上,其中硅芯抓取机构设置于石墨卡件抓取机构的上方;控制机构连接石墨卡件抓取机构和硅芯抓取机构,供电机构连接控制机构;

所述石墨卡件抓取机构包括有石墨卡件夹持装置、下横移滑座、下横移轨道、下进退滑座及下进退轨道,下进退轨道固定在支架上,下横移轨道安装在两下进退滑座上,两下进退滑座安装在下进退轨道上形成可进退移动结构;下横移滑座安装在下横移轨道上形成可横向移动结构,石墨卡件夹持装置安装在下横移滑座上;

所述硅芯抓取机构包括有硅芯夹持装置、上横移滑座、上横移轨道、上进退滑座及上进退轨道,上进退轨道固定在支架上,上横移轨道安装在两上进退滑座上,两上进退滑座安装在上进退轨道上形成可进退移动结构;上横移滑座安装在上横移轨道上形成可横向移动结构,硅芯夹持装置安装在上横移滑座上;

石墨卡件放置于储料箱的下部,石墨卡件夹持装置所在的下进退轨道与放置石墨卡件的位置对接;硅芯从储料箱中朝上伸出,硅芯夹持装置所在的上进退轨道则与储料箱的上部对接。

进一步地,所述石墨卡件夹持装置通过一L型支架安装在其对应的下横移滑座上,该L型支架为倒立安装结构,其竖直部分安装于下横移滑座上形成可升降结构,而其水平部分从上方朝前伸出,石墨卡件夹持装置固定在该L型支架的水平部分前端,通过该L型支架的升降实现石墨卡件夹持装置的高度调整。

进一步地,所述硅芯夹持装置亦通过一L型支架安装在其对应的上横移滑座上,该L型支架为倒立安装结构,其竖直部分安装于上横移滑座上形成可升降结构,而其水平部分从上方朝前伸出,硅芯夹持装置固定在该L型支架的水平部分前端,通过该L型支架的升降实现硅芯夹持装置的高度调整。

进一步地,所述下横移轨道与上横移轨道平行,而下进退轨道与上进退轨道平行。

进一步地,所述下横移轨道和上横移轨道为直线导轨、丝杠或光杆,所述下进退轨道和上进退轨道为直线导轨、丝杠或光杆。

进一步地,所述石墨卡件夹持装置连接有电机形成可旋转结构,所述硅芯夹持装置连接有电机形成可旋转结构,这样可以通过旋转石墨卡件与硅芯固定。

进一步地,在支架的底部安装有脚轮,能够通过电控、磁条引导、激光引导或RFID引导方式与脚轮配合形成运动控制结构,以实现对设备位置的调整。

工作原理:待安装的硅芯和石墨卡件预先放置于放置于储料箱中。当需要将硅芯安装于指定还原炉的指定位置时,硅芯抓取机构的硅芯夹持装置通过控制机构的控制,在上横移滑座、上横移轨道、上进退滑座及上进退轨道的配合下运动至储料箱的上面夹持硅芯,再由前述运动部分配合将硅芯运送至指定安装位置处。同样,石墨卡件抓取机构的石墨卡件夹持装置通过控制机构的控制,在下横移滑座、下横移轨道、下进退滑座及下进退轨道的配合下运动至储料箱的下部夹持石墨卡件,再由前述运动部分配合将石墨卡件运送至指定安装位置,硅芯夹持装置与石墨卡件夹持装置共同配合,将硅芯安装于指定位置并锁紧。通过硅芯抓取机构和石墨抓取机构的相互配合以及安装装置整体支架的移动,将还原炉内的硅芯完成安装。

本实用新型通过自动化的夹持运输装置能够提高硅芯和石墨运输安装的效率,并避免由人工安装而造成的汗渍等不确定的污染因素影响,同时,运动装置较高的重复定位精度也保证了硅芯安装质量的一致性;而自动将石墨卡件夹持并运送至空间一定范围内的指定位置处并将石墨卡件中的螺纹锁紧,能够提高硅芯的安装效率,节省大量的人工工时,降低人工成本,且由于对于石墨卡件的锁紧力矩是固定的,因而能够保证硅芯安装锁紧的质量。从而,在各个部分的共同配合下,能够实现车间内所有还原炉硅芯的自动化安装,极大地提高了多晶硅生产的自动化程度,保证了全车间硅芯安装质量的一致性,降低了由人为因素对硅芯产生的影响。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图中,11为石墨卡件夹持装置,12为下横移滑座,13为L型支架,14为下横移轨道,15为下进退滑座,16为进下退轨道,21为硅芯夹持装置,22为上横移滑座,23为L型支架,24为上横移轨道,25为上进退滑座,26为上进退轨道,3为支架,4为储料箱,5为脚轮,6为石墨卡件,7为硅芯。

具体实施方式

本实施例中,参照图1,所述全自动还原炉硅芯安装装置,包括有控制机构、供电机构、石墨卡件抓取机构、硅芯抓取机构和用于储放石墨卡件及硅芯的储料箱4,石墨卡件抓取机构、硅芯抓取机构和储料箱4均安装于支架3上,其中硅芯抓取机构设置于石墨卡件抓取机构的上方;控制机构连接石墨卡件抓取机构和硅芯抓取机构,供电机构连接控制机构;

所述石墨卡件抓取机构包括有石墨卡件夹持装置11、下横移滑座12、下横移轨道14、下进退滑座15及下进退轨道16,下进退轨道16固定在支架3上,下横移轨道14安装在两下进退滑座12上,两下进退滑座12安装在下进退轨道16上形成可进退移动结构;下横移滑座12安装在下横移轨道14上形成可横向移动结构,石墨卡件夹持装置11安装在下横移滑座12上;

所述硅芯抓取机构包括有硅芯夹持装置21、上横移滑座22、上横移轨道24、上进退滑座25及上进退轨道26,上进退轨道26固定在支架3上,上横移轨道24安装在两上进退滑座25上,两上进退滑座25安装在上进退轨道26上形成可进退移动结构;上横移滑座22安装在上横移轨道24上形成可横向移动结构,硅芯夹持装置21安装在上横移滑座22上;

石墨卡件6放置于储料箱4的下部,石墨卡件夹持装置11所在的下进退轨道16与放置石墨卡件6的位置对接;硅芯7从储料箱4中朝上伸出,硅芯夹持装置21所在的上进退轨道26则与储料箱4的上部对接。

所述石墨卡件夹持装置11通过一L型支架13安装在其对应的下横移滑座12上,该L型支架13为倒立安装结构,其竖直部分安装于下横移滑座12上形成可升降结构,而其水平部分从上方朝前伸出,石墨卡件夹持装置11固定在该L型支架13的水平部分前端,通过该L型支架13的升降实现石墨卡件夹持装置11的高度调整。

硅芯夹持装置21亦通过一L型支架23安装在其对应的上横移滑座22上,该L型支架23为倒立安装结构,其竖直部分安装于上横移滑座22上形成可升降结构,而其水平部分从上方朝前伸出,硅芯夹持装置21固定在该L型支架23的水平部分前端,通过该L型支架23的升降实现硅芯夹持装置21的高度调整。

所述下横移轨道14与上横移轨道24平行,而下进退轨道16与上进退轨道26平行。

所述下横移轨道14和上横移轨道24为直线导轨、丝杠或光杆,所述下进退轨道16和上进退轨道26为直线导轨、丝杠或光杆。

所述石墨卡件夹持装置11连接有电机形成可旋转结构,所述硅芯夹持装置21连接有电机形成可旋转结构,这样可以通过旋转石墨卡件6与硅芯7固定。

在支架3的底部安装有脚轮5,能够通过电控、磁条引导、激光引导或RFID引导方式与脚轮5配合形成运动控制结构,以实现对设备位置的调整。

工作原理:待安装的硅芯7和石墨卡件6预先放置于放置于储料箱4中。当需要将硅芯安装于指定还原炉的指定位置时,硅芯夹持装置21通过控制机构的控制,在上横移滑座22、上横移轨道24、上进退滑座25及上进退轨道26的配合下运动至储料箱4的上面夹持硅芯7,再由前述运动部分配合将硅芯7运送至指定安装位置处。同样,石墨卡件抓取机构的石墨卡件夹持装置11通过控制机构的控制,在下横移滑座12、下横移轨道14、下进退滑座15及下进退轨道16的配合下运动至储料箱4的下部夹持石墨卡件6,再由前述运动部分配合将石墨卡件6运送至指定安装位置,硅芯夹持装置21与石墨卡件夹持装置11共同配合,将硅芯7安装于指定位置并锁紧。通过硅芯抓取机构和石墨抓取机构的相互配合以及安装装置整体支架3的移动,将还原炉内的硅芯完成安装。

以上已将本实用新型做一详细说明,以上所述,仅为本实用新型之较佳实施例而已,当不能限定本实用新型实施范围,即凡依本申请范围所作均等变化与修饰,皆应仍属本实用新型涵盖范围内。

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