一种MPCVD法制备石墨烯包覆Co3O4粉体的方法与流程

文档序号:15219864发布日期:2018-08-21 17:19阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种MPCVD法制备石墨烯包覆Co3O4粉体的方法,属于微波等离子与复合材料技术领域。将Co3O4基底粉体平铺,抽真空至压强1mTorr以内,然后Ar、H2、CH4按照气体流量比为9:10:1~5通入,保持压强为1~90Torr,开启微波等离子体,在温度为300~500℃下沉积反应30~120min,反应结束后,切断CH4气体,保持通入非氧化气体冷却至室温后关闭非氧化气体,抽真空至压强为1mTorr,通入空气至常压得到石墨烯包覆Co3O4粉体。本发明制备过程中采用Co3O4粉体为镀覆基体,制备得到的石墨烯包覆Co3O4粉体,与常规石墨烯包覆复合粉体材料相比,本发明的石墨烯包覆Co3O4粉体中石墨烯为少层鳞片状石墨烯,包覆均匀性好。

技术研发人员:杨黎;段钰;郭胜惠;冯双龙;彭金辉;侯明;王梁;刘花
受保护的技术使用者:昆明理工大学
技术研发日:2018.03.13
技术公布日:2018.08.17
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