一种石英坩埚及其石英坩埚多次涂层的工艺方法与流程

文档序号:16746899发布日期:2019-01-28 13:44阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种石英坩埚及其石英坩埚多次涂层的工艺方法,包括气泡复合层、透明层和涂层,涂层包括第一涂层和第二涂层,气泡复合层、透明层、第一涂层与第二涂层从外至内依次设置,在石英坩埚透明层表面涂覆一层钡溶液;在直拉单晶取段复投阶段加入碳酸钡,碳酸钡进入坩埚后位于石英坩埚的R角处。本发明的有益效果是使得石英坩埚结构简单,使用方便,便于直拉单晶时使用,具有碳酸钡涂层,减少硅溶液对石英坩埚的内壁的腐蚀,提高石英坩埚的使用寿命。

技术研发人员:陈培杰;马国瑞;霍志强;王凯;许建;郭谦;刘有益;高树良;谷守伟;高润飞
受保护的技术使用者:内蒙古中环光伏材料有限公司
技术研发日:2018.11.29
技术公布日:2019.01.25
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