一种陶瓷封装体的制作方法

文档序号:16620003发布日期:2019-01-15 23:33阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种陶瓷封装体,其特征在于,包括陶瓷基座和盖板,所述陶瓷基座包括底部和侧壁,所述侧壁的上端面和盖板之间设有接合层;所述接合层包括:

第一金属层,所述第一金属层形成于侧壁的上端面;

钎焊材料层,所述钎焊材料层形成于第一金属层上;

所述钎焊材料层为铜层、银层、镍层、Ni-P层、银层和铜层的重叠层、银层和铜层的交替重叠层、Ni-P层和银层的重叠层、Ni-P层和银层的交替层叠层、镍层和银层的重叠层、镍层和银层的交替重叠层、镍层和铜层的重叠层、镍层和铜层的交替重叠层、Ni-P层和铜层的重叠层、Ni-P层和铜层的交替重叠层、镍层和Ni-P层的重叠层、镍层和Ni-P层的交替重叠层、镍层和Ni-P层和银层的重叠层或镍层和Ni-P层和银层的交替重叠层。

2.如权利要求1所述陶瓷封装体,其特征在于,所述接合层还包括保护层;所述保护层形成于钎焊材料层上。

3.如权利要求2所述陶瓷封装体,其特征在于,所述银层和铜层的重叠层和所述银层和铜层的交替重叠层中,与盖板或保护层接触的为银层;

所述Ni-P层和银层的重叠层和所述Ni-P层和银层的交替层叠层中,与盖板或保护层接触的为银层;

所述镍层和银层的重叠层和所述镍层和银层的交替重叠层中,与盖板或保护层接触的为银层;

所述镍层和铜层的重叠层和所述镍层和铜层的交替重叠层中,与盖板或保护层接触的为铜层;

所述Ni-P层和铜层的重叠层和所述Ni-P层和铜层的交替重叠层中,与盖板或保护层接触的为铜层;

所述镍层和Ni-P层的重叠层和所述镍层和Ni-P层的交替重叠层中,与盖板或保护层接触的为Ni-P层;

所述镍层和Ni-P层和银层的重叠层和所述镍层和Ni-P层和银层的交替重叠层中,与盖板或保护层接触的为银层。

4.如权利要求3所述陶瓷封装体,其特征在于,所述钎焊材料层为铜层、银层、银层和铜层的重叠层、Ni-P层和银层的重叠层、镍层和银层的重叠层、镍层和Ni-P层的重叠层或镍层和Ni-P层和银层的重叠层。

5.如权利要求3所述陶瓷封装体,其特征在于,所述钎焊材料层为银层和铜层的重叠层、Ni-P层和银层的重叠层、镍层和银层的重叠层、镍层和Ni-P层的重叠层或镍层和Ni-P层和银层的重叠层。

6.如权利要求3所述陶瓷封装体,其特征在于,所述钎焊材料层为银层和铜层的重叠层。

7.如权利要求1所述陶瓷封装体,其特征在于,所述第一金属层为钨层、银层、铜层、钼层或钼锰合金层。

8.如权利要求1所述陶瓷封装体,其特征在于,所述第一金属层为钨层。

9.如权利要求1所述陶瓷封装体,其特征在于,所述第一金属层的厚度为3~30μm。

10.如权利要求1所述陶瓷封装体,其特征在于,所述钎焊材料层的厚度为1~30μm。

11.如权利要求2所述陶瓷封装体,其特征在于,所述保护层为金层、银层、镍层和银层的重叠层或镍层和金层的重叠层;

所述镍层和银层的重叠层中,与钎焊材料层接触的为镍层;

所述镍层和金层的重叠层中,与钎焊材料层接触的为镍层。

12.如权利要求2所述陶瓷封装体,其特征在于,所述保护层的厚度为0.1~10um。

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