一种多晶炉四抽气口管道系统的制作方法

本实用新型涉及多晶硅铸锭生产的技术领域，具体涉及一种多晶炉四抽气口管道系统。

背景技术：

多晶炉是生产太阳能光伏领域的重要生产设备，该设备将多晶硅碎块料、头尾料、埚底料、各种单晶废片等材料装入炉内化料的石英坩埚内，经熔化、重新定向结晶及退火等工艺，铸成生产太阳电池的原料——多晶硅硅锭。在工艺过程中，设备内长时间处于惰性气体(氩气)保护状态，与此同时在管道末端真空泵不断的抽气带走炉内挥发物和结晶潜热，维持炉压和温度平衡。

目前行业内的多晶炉抽气管道，大多采用一个或者两个抽气口，其位于上炉室的侧部，而随着行业水平的发展，炉室尺寸越来越大，一个或者两个抽气口结构使炉室内的气流分布和温度场分布不均匀，炉内的温度梯度也不完全对称，在远离抽气口的位置常常成为挥发物的聚集点，严重影响硅棒品质。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的主要目的是提供一种多晶炉四抽气口管道系统。

本实用新型采用的技术方案是：

一种多晶炉四抽气口管道系统，包括炉室，在炉室上均匀设置有第一抽气口、第二抽气口、第三抽气口以及第四抽气口，所述第一抽气口、第二抽气口、第三抽气口以及第四抽气口分别对应设置有第一抽气支管道、第二抽气支管道、第三抽气支管道、第四抽气支管道，所述第一抽气支管道和第四抽气支管道通过第一支路三通连接至第一支路弯管，所述第二抽气支管道和第三抽气支管道通过第二支路三通连接至第二支路弯管，所述第一支路弯管和第二支路弯管通过主三通连接至真空阀，所述真空阀与真空泵连接。

进一步地，所述第一抽气口、第二抽气口、第三抽气口以及第四抽气口位于上炉室侧壁，且对称分布，以达到炉内气流和温度成分布的均匀对称。

本实用新型提供了一种多晶炉四抽气口管道系统，其四个抽气口位于上炉室侧壁，对称分布，旨在确保炉内气流和温度成分布的均匀对称，以改善工艺运行环境，提高晶棒品质。

附图说明

以上所述仅是本实用新型专利方案概述，为了更清楚说明本实用新型的技术手段，以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作详细说明。

图1为本实用新型的结构示意图。

其中，附图标记以及标记对应的名称如下：

炉室1；第一抽气口1-a；第二抽气口1-b；第三抽气口1-c；第四抽气口1-d；第一抽气支管道2-a；第二抽气支管道2-b；第三抽气支管道2-c；第四抽气支管道2-d；第一支路三通3-a；第二支路三通3-b；第一支路弯管4-a；第二支路弯管4-b；5主三通；6真空阀；7真空泵。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。

参照图1，本实用新型具体公开了一种多晶炉四抽气口管道系统，包括炉室1，在炉室上均匀设置有第一抽气口1-a、第二抽气口1-b、第三抽气口1-c以及第四抽气口1-d，第一抽气口1-a、第二抽气口1-b、第三抽气口1-c以及第四抽气口1-d分别对应设置有第一抽气支管道2-a、第二抽气支管道2-b、第三抽气支管道2-c、第四抽气支管道2-d，所述第一抽气支管道1-a和第四抽气支管道1-d通过第一支路三通3-a连接至第一支路弯管4-a，所述第二抽气支管道2-b和第三抽气支管道2-c通过第二支路三通3-b连接至第二支路弯管4-b，所述第一支路弯管4-a和第二支路弯管4-b通过主三通连接至真空阀，所述真空阀与真空泵连接。

第一抽气口1-a、第二抽气口1-b、第三抽气口1-c以及第四抽气口1-d位于上炉室1侧壁，且对称分布，以达到炉内气流和温度成分布的均匀对称。

以上对本实用新型实施例所公开的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体实施例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。