一种高耐蚀性硅烷精制设备的制作方法

本实用新型涉及一种硅烷精制设备，特别涉及一种高耐蚀性硅烷精制设备。

背景技术：

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物，因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体，硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。

在实际使用过程中，传统的硅烷设备在硅烷提纯方面提纯精制不够，纯度欠佳，影响产品质量。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种高耐蚀性硅烷精制设备，通过设置的搅拌叶表面的通孔使材料便于混合，加快反应速度，并反应均匀，通过设置的加热管加热生成含中间产物的硅烷气体，通过设置的热交换装置防止生成的高纯硅烷液化，通过设置的冷凝器冷凝温度进一步分离出重杂质气体，提纯硅烷，通过设置的加压装置增加硅烷输送压力，避免停留时间过久而造成的液化现象，该设备结构简单，提取的硅烷纯度高。

为连接决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型涉及一种高耐蚀性硅烷精制设备，包括反应罐，所述反应罐的顶部一端设置有进料口，所述进料口上设置有进料电磁阀，所述反应罐的顶部中央安装有电机，所述电机的底部安装有搅拌轴，且搅拌轴贯穿反应罐，延伸至反应罐的内部，所述搅拌轴的外表面套接有搅拌叶，所述反应罐的底部一端连接有出料管，所述出料管上安装有出料电磁阀，所述出料电磁阀的一侧安装有输送泵，所述出料管的一端安装有精制塔，所述精制塔的内部底端安装有加热管，所述加热管的顶部设置有蒸馏舱，所述蒸馏舱的顶部设置有催化层，所述催化层的顶部设置有精制层，所述精制层的两端均安装有防腐层，且防腐层紧贴于精制塔的内壁，所述精制层的顶部设置有气液分离层，所述精制塔的顶部安装有排气管，所述排气管上设置有热交换装置，所述排气管的一端安装有收集箱，所述收集箱的顶部设置有废气出口，所述收集箱的底部连接有回收管。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述搅拌叶的表面设置有若干排列均匀的通孔。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述精制塔的一端安装有加压装置。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电机通过搅拌轴与搅拌叶连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述反应罐通过出料管与精制塔连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述收集箱的内部设置有冷凝器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述精制塔通过排气管与收集箱连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述收集箱通过回收管与精制塔连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型是一种高耐蚀性硅烷精制设备，通过设置的搅拌叶表面的通孔使材料便于混合，加快反应速度，并反应均匀，通过设置的加热管加热生成含中间产物的硅烷气体，通过设置的热交换装置防止生成的高纯硅烷液化，通过设置的冷凝器冷凝温度进一步分离出重杂质气体，提纯硅烷，通过设置的加压装置增加硅烷输送压力，避免停留时间过久而造成的液化现象，该设备结构简单，提取的硅烷纯度高。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体结构图；

图中：1、反应罐；2、电机；3、搅拌轴；4、搅拌叶；5、通孔；6、精制塔；7、进料口；8、进料电磁阀；9、出料管；10、出料电磁阀；11、输送泵；12、回收管；13、加热管；14、蒸馏舱；15、催化层；16、防腐层；17、精制层；18、冷凝器；19、加压装置；20、气液分离层；21、排气管；22、热交换装置；23、收集箱；24、废气出口。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。其中附图中相同的标号全部指的是相同的部件。

此外，如果已知技术的详细描述对于示出本实用新型的特征是不必要的，则将其省略。需要说明的是，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例1

如图1所示，本实用新型提供一种高耐蚀性硅烷精制设备，包括反应罐1，反应罐1的顶部一端设置有进料口7，进料口7上设置有进料电磁阀8，反应罐1的顶部中央安装有电机2，电机2的底部安装有搅拌轴3，且搅拌轴3贯穿反应罐1，延伸至反应罐1的内部，搅拌轴3的外表面套接有搅拌叶4，反应罐1的底部一端连接有出料管9，出料管9上安装有出料电磁阀10，出料电磁阀10的一侧安装有输送泵11，出料管9的一端安装有精制塔6，精制塔6的内部底端安装有加热管13，加热管13的顶部设置有蒸馏舱14，蒸馏舱14的顶部设置有催化层15，催化层15的顶部设置有精制层17，精制层17的两端均安装有防腐层16，且防腐层16紧贴于精制塔6的内壁，精制层17的顶部设置有气液分离层20，精制塔6的顶部安装有排气管21，排气管21上设置有热交换装置22，排气管21的一端安装有收集箱23，收集箱23的顶部设置有废气出口24，收集箱23的底部连接有回收管12。

进一步的，搅拌叶4的表面设置有若干排列均匀的通孔5，通过设置的通孔5便于物料混合，使搅拌更充分，混合更均匀。

精制塔6的一端安装有加压装置19，通过设置的加压装置19增加硅烷输送压力，避免停留时间过久而造成的液化现象。

电机2通过搅拌轴3与搅拌叶4连接，通过设置的电机2输送动力，带动搅拌轴3旋转，从而使搅拌叶4运转，进行搅拌作业。

反应罐1通过出料管9与精制塔6连接，通过设置的反应罐1混合物料，生成化合物后通过出料管9进入精制塔6进行蒸馏提纯。

收集箱23的内部设置有冷凝器18，通过设置的冷凝器18冷凝温度进一步分离出重杂质气体，提纯硅烷，通过设置的收集箱23收集生成的硅烷。

精制塔6通过排气管21与收集箱23连接，通过设置的排气管21将精制塔6内生成的硅烷输送至收集箱23内。

收集箱23通过回收管12与精制塔6连接，通过设置的回收管12回收收集箱23内的中间液体，使之返回精制塔6底部的蒸馏舱14重新蒸馏，防止浪费。

具体的，在使用本设备时，将进料电磁阀8打开，将生产材料通过进料口7加入，打开电机2，电机2带动搅拌轴3两侧的搅拌叶4转动，搅拌叶4的表面设置有若干排列均匀的通孔5，使材料便于混合，加快反应速度，并反应均匀，反应完成后的中间液体通过出料管9输送到精制塔6内部底端的蒸馏舱14，通过加热管13的加热生成含中间产物的硅烷气体，含中间产物的硅烷气体经过催化层15加速混合，再经过精制层17提纯，然后到达气液分离层20，含有液体的硅烷成分向下降，硅烷气体有效成分向上提高，硅烷气体通过排气管21经过热交换装置22，通过设置的热交换装置22防止生成的高纯硅烷液化，最后输送到收集箱23内，收集箱23内的冷凝器18冷凝温度进一步分离出重杂质气体，提纯硅烷，通过设置的回收管12回收收集箱23内的中间液体，使之返回精制塔6底部的蒸馏舱14重新蒸馏，防止浪费，通过设置的加压装置19增加硅烷输送压力，避免停留时间过久而造成的液化现象，通过设置的输送泵11控制输送速度，通过设置的防腐层6保护内部结构，防止腐蚀而导致内部损坏。

综上所述，该设备通过设置的搅拌叶4表面的通孔5使材料便于混合，加快反应速度，并反应均匀，通过设置的加热管13加热生成含中间产物的硅烷气体，通过设置的热交换装置22防止生成的高纯硅烷液化，通过设置的冷凝器18冷凝温度进一步分离出重杂质气体，提纯硅烷，通过设置的加压装置19增加硅烷输送压力，避免停留时间过久而造成的液化现象，该设备结构简单，提取的硅烷纯度高。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。