用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置的制作方法

本实用新型涉及碳纳米管技术领域，具体为用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置。

背景技术：

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控。

目前的卷对卷化学气相沉积装置在调节张力时，都是通过调节活动辊的位置进行张力的调节，而目前对活动辊的位置进行调节较为麻烦，为此本实用新型提供用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置，解决了对调节活动辊较为麻烦的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置，包括真空箱，所述真空箱内腔底部的两侧活动连接有卷出辊，所述真空箱内腔的顶部和底部之间活动连接有张力调节组件，所述张力调节组件包括两个活动辊，两个所述活动辊的顶部和底部均固定连接有固定板，所述真空箱的顶部固定连接有密封件，所述密封件的底部贯穿真空箱并延伸至真空箱的内部，所述密封件内部的两侧固定连接有转动套，所述转动套的底端贯穿密封件并延伸至密封件的外部，所述转动套的内表面转动连接有转动杆，所述转动杆的底端与位于上方固定板的顶部固定连接，所述转动杆的顶端固定连接有调节杆，位于下方所述固定板的底部通过转动块与真空箱内腔的底部转动连接。

优选的，所述卷出辊的顶部与底部均固定连接有顶板，两个所述顶板相对远离的一侧均固定连接有连接杆，所述连接杆的一端贯穿真空箱并延伸至真空箱的外部。

优选的，所述连接杆的外表面固定连接有安装机构，所述安装机构包括固定套，所述连接杆的内部开设有置物腔，所述固定套的两侧均转动连接有固定螺栓，两个所述固定螺栓相对的一端均依次贯穿固定套、连接杆和置物腔并延伸至置物腔的内部，所述固定螺栓的一端固定连接有限位杆，卷出辊的顶部与底部均开设有限位槽，所述限位槽的内表面与限位杆的外表面相适配。

优选的，所述置物腔内壁的两侧之间固定连接有孔板，所述限位条的外表面固定连接有滑动套，所述滑动套的底部与孔板的顶部滑动连接。

优选的，所述固定套的内表面与连接杆的外表面固定连接，所述限位杆位于置物腔的内部，所述限位条的外表面与孔板的内表面滑动连接。

优选的，所述真空箱的顶部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有双槽轮，位于上方所述连接杆的外表面固定连接有单槽轮，所述双槽轮的内表面通过皮带与单槽轮的内表面传动连接。

有益效果

本实用新型提供了用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置。与现有技术相比具备以下有益效果：

(1)、该用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置，通过在真空箱内腔的顶部和底部之间活动连接有张力调节组件，张力调节组件包括两个活动辊，两个活动辊的顶部和底部均固定连接有固定板，真空箱的顶部固定连接有密封件，密封件的底部贯穿真空箱并延伸至真空箱的内部，密封件内部的两侧固定连接有转动套，转动套的底端贯穿密封件并延伸至密封件的外部，转动套的内表面转动连接有转动杆，转动杆的底端与位于上方固定板的顶部固定连接，转动杆的顶端固定连接有调节杆，位于下方固定板的底部通过转动块与真空箱内腔的底部转动连接，通过在活动辊的顶部和底部设置固定板，配合转动套内的转动杆和调节杆，再利用固定板的转动关系，能够对活动辊的位置进行调节，从而能够对张力的控制，此结构较为简单，操作方便，易于推广。

(2)、该用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置，通过在卷出辊的顶部与底部均固定连接有顶板，两个顶板相对远离的一侧均固定连接有连接杆，连接杆的一端贯穿真空箱并延伸至真空箱的外部，连接杆的外表面固定连接有安装机构，安装机构包括固定套，连接杆的内部开设有置物腔，固定套的两侧均转动连接有固定螺栓，两个固定螺栓相对的一端均依次贯穿固定套、连接杆和置物腔并延伸至置物腔的内部，固定螺栓的一端固定连接有限位杆，卷出辊的顶部与底部均开设有限位槽，限位槽的内表面与限位杆的外表面相适配，通过在顶板的一侧设置连接杆，配合固定套内的置物腔和限位杆，再利用限位槽和固定螺栓，再将连接杆抽出一定的距离从而能够将卷出辊快速的拆下，此结构易于推广。

附图说明

图1为本实用新型真空箱的内部结构主视图；

图2为本实用新型安装机构的内部结构主视图；

图3为本实用新型固定套的内部结构俯视图。

图中：1-真空箱、2-卷出辊、3-张力调节组件、31-活动辊、32-固定板、33-密封件、34-转动套、35-转动杆、36-调节杆、4-顶板、5-连接杆、6-安装机构、61-固定套、62-置物腔、63-固定螺栓、64-限位杆、65-限位槽、7-孔板、8-限位条、9-滑动套、10-伺服电机、11-双槽轮、12-单槽轮、13-皮带。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：用于连续生长碳纳米管阵列的卷对卷化学气相沉积装置，包括真空箱1，真空箱1内腔底部的两侧活动连接有卷出辊2，真空箱1内腔的顶部和底部之间活动连接有张力调节组件3，张力调节组件3包括两个活动辊31，两个活动辊31的顶部和底部均固定连接有固定板32，活动辊31并不位于固定板32的中心位置，而是位于其偏心位置，转动固定板32能够改变活动辊31的位置，真空箱1的顶部固定连接有密封件33，密封件33防止真空箱1的内部进入空气，同时连接杆5和真空箱1的连接处同样设有密封组件，密封件33的底部贯穿真空箱1并延伸至真空箱1的内部，密封件33内部的两侧固定连接有转动套34，转动套34的底端贯穿密封件33并延伸至密封件33的外部，转动套34的内表面转动连接有转动杆35，转动杆35的底端与位于上方固定板32的顶部固定连接，转动杆35的顶端固定连接有调节杆36，位于下方固定板32的底部通过转动块与真空箱1内腔的底部转动连接，卷出辊2的顶部与底部均固定连接有顶板4，两个顶板4相对远离的一侧均固定连接有连接杆5，连接杆5的一端贯穿真空箱1并延伸至真空箱1的外部，连接杆5的外表面固定连接有安装机构6，安装机构6包括固定套61，连接杆5的内部开设有置物腔62，固定套61的两侧均转动连接有固定螺栓63，两个固定螺栓63相对的一端均依次贯穿固定套61、连接杆5和置物腔62并延伸至置物腔62的内部，固定螺栓63的一端固定连接有限位杆64，通过限位杆64与限位槽65的配合能够将卷出辊2进行限位，卷出辊2的顶部与底部均开设有限位槽65，限位槽65的内表面与限位杆64的外表面相适配，置物腔62内壁的两侧之间固定连接有孔板7，孔板7防止较长的限位杆64偏离位置，限位条8的外表面固定连接有滑动套9，滑动套9的底部与孔板7的顶部滑动连接，固定套61的内表面与连接杆5的外表面固定连接，限位杆64位于置物腔62的内部，限位条8的外表面与孔板7的内表面滑动连接，真空箱1的顶部固定连接有伺服电机10，伺服电机10与外部电源电性连接，伺服电机10的输出端固定连接有双槽轮11，位于上方连接杆5的外表面固定连接有单槽轮12，通过双槽轮11带动卷出辊2进行转动，双槽轮11的内表面通过皮带13与单槽轮12的内表面传动连接，同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

使用时，首先将转动调节杆36，带动转动套34内的转动杆35进行转动，从而带动固定板32进行转动，进而带动活动辊31以固定板32的中心位置进行转动，从而将使得活动辊31的位置进行改变，然后启动伺服电机10，伺服电机10的转动带动双槽轮11的转动，进而通过皮带13带动两个连接杆5上的单槽轮12进行转动，进而带动卷出辊2进行转动，当需要更换或取出卷出辊2时，首先转动安装机构6中的固定螺栓63，使得两个限位杆64在孔板7的内表面向相对远离的一侧进行运动，同时滑动套9在孔板7的顶部进行滑动，使得两个限位杆64不与限位槽65内壁的两侧相接触，然后将位于下方的连接杆5向远离卷出辊2的一侧抽出一定距离即可。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。