一种单晶炉及其使用方法与流程

文档序号:25025823发布日期:2021-05-11 16:52阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶炉,包括支撑架(1)、炉体(3)和固定块(16),其特征在于:所述支撑架(1)上端位置固定设置有支撑板(2),所述支撑板(2)上端位置固定安装设置有炉体(3),所述支撑板(2)上端右侧位置垂直固定设置有第一支撑杆(23),所述支撑板(2)上端左侧位置垂直固定设置有第二支撑杆(24),所述炉体(3)内侧壁位置固定安装设置有保温筒(13),所述保温筒(13)内侧壁位置固定安装设置有加热器(12),所述加热器(12)两侧下端位置均固定安装设置有电极片(17),所述炉体(3)内部位置固定安装设置有炉底护盘(4),所述炉体(3)内部下端中心位置垂直固定安装设置有坩埚轴(15),所述坩埚轴(15)上端位置活动穿过炉底护盘(4)中心位置,所述坩埚轴(15)上端位置固定安装设置有石英坩埚(14),所述石英坩埚(14)内部中心位置垂直设置有单晶棒(9),所述炉体(3)上端中心位置垂直固定安装设置有副室筒(5),所述副室筒(5)内部位置固定安装设置有夹持器(8),所述单晶棒(9)上端位置固定设置有籽晶(7),所述籽晶(7)活动穿过夹持器(8)中心位置,所述炉体(3)内部上端位置固定设置有固定环(10),所述固定环(10)外侧端位置均匀活动套接设置有若干个挡板(11),所述炉体(3)内侧壁位置固定设置有固定块(16),所述固定块(16)内部位置设置有挤压机构(6),所述加热器(12)外侧端位置环绕固定设置有冷却管(22),所述冷却管(22)左侧端位置固定连接设置有第一连接管(19),所述第一连接管(19)中心位置固定安装设置有壳体(21),所述第一连接管(19)左侧端位置固定安装设置有电磁阀(20),所述第一连接管(19)与主水管连接,所述冷却管(22)右侧端位置固定连接设置有第二连接管(18),所述第一支撑杆(23)上端位置固定安装设置在第二连接管(18)下端位置,所述炉体(3)外侧端位置设置有辅助降温机构(57),所述壳体(21)内部中心位置垂直活动穿插设置有第一转轴(27),所述第一转轴(27)上端位置固定设置有第一锥齿轮(29),所述第一转轴(27)外侧端位置环绕固定设置有叶轮(28),所述加热器(12)内侧端位置固定安装设置有第一空心块(25),所述第一空心块(25)内部下端位置设置有水银(49),所述第一空心块(25)内部下端位置水平开设有第二空腔(50),所述第二空腔(50)内部位置水平固定设置有橡胶环(51),所述支撑架(1)左侧端位置水平固定设置有水平杆(26),所述水平杆(26)上端内部位置活动卡接设置有滑块(56),所述滑块(56)上端位置固定设置有操作环(44),所述支撑板(2)下端位置固定设置有第二空心块(48),所述第二空心块(48)右侧端位置设置有温度刻度线,所述第二空心块(48)中心位置垂直活动穿插设置有竖直杆(46),所述竖直杆(46)下端外侧位置环绕设置有螺纹(45),所述操作环(44)中心位置通过螺纹(45)穿插设置有竖直杆(46),所述竖直杆(46)外侧端位置环绕固定设置有标记块(47),所述标记块(47)位于第二空心块(48)内部位置,所述竖直杆(46)上端位置活动穿过橡胶环(51)中心位置,然后延伸至第一空心块(25)内部位置,所述竖直杆(46)上端位置固定设置有活塞块(52),所述活塞块(52)下端位置固定设置有第一触点(53),所述第一空心块(25)左侧下端位置固定设置有第二触点(55),所述第一触点(53)上端位置固定连接设置有电源线(54),所述电源线(54)上端位置与电磁阀(20)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于:所述辅助降温机构(57)包括第二转轴(38)、第二锥齿轮(39)、第三支撑杆(36)、定滑轮(37)、钢丝绳(35)、半圆环(33)、储存盒(30)、海绵垫(32)、活动环(31)和限位块(34),所述壳体(21)前端中心位置活动穿插设置有第二转轴(38),所述第二转轴(38)前端位置固定安装设置有第二锥齿轮(39),所述第二锥齿轮(39)上端位置与第一锥齿轮(29)啮合,所述炉体(3)两侧端位置均固定设置有第三支撑杆(36),所述第三支撑杆(36)外侧端位置固定安装设置有定滑轮(37),所述炉体(3)外侧下端位置环绕固定安装设置有储存盒(30),所述储存盒(30)内部位置设置有限位块(34),所述储存盒(30)上端位置活动卡接设置有活动环(31),所述活动环(31)上端位置固定设置有半圆环(33),所述活动环(31)内侧端位置固定设置有海绵垫(32),所述半圆环(33)上端位置绕接固定设置有钢丝绳(35),所述钢丝绳(35)上端位置穿过定滑轮(37),然后绕接固定设置在第二转轴(38)外侧端位置。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于:所述挤压机构(6)包括第一空腔(40)、蒸发液(41)、槽体(42)和波纹软管(43),所述固定块(16)内部位置开设有第一空腔(40),所述第一空腔(40)内部位置设置有蒸发液(41),所述固定块(16)右侧端位置开设有槽体(42),所述槽体(42)内部位置水平固定安装设置有波纹软管(43),所述波纹软管(43)左侧端与第一空腔(40)连通,所述波纹软管(43)右侧端位置固定连接设置在挡板(11)外侧。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于:所述挡板(11)下端位置延伸至石英坩埚(14)上端位置。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于:所述固定块(16)数量与挡板(11)数量相同,并且位于挡板(11)左侧端位置。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于:所述第二支撑杆(24)上端位置固定安装设置在壳体(21)下端中心位置。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于:所述第二空心块(48)为透明的。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于:所述第二触点(55)与外接电源电性连接。

9.根据权利要求1所述的一种单晶炉的使用方法,其特征在于:具体包括以下步骤:

第一步:在使用时使用者转动操作环(44),使得竖直杆(46)通过螺纹(45)上下移动,调节标记块(47)位置,使得到达合适刻度线位置,并且同时使得活塞块(52)沿着第一空心块(25)向下移动,使用者可根据具体需要进行调节工作,然后在使用时炉体(3)温度升高,使得水银(49)膨胀,当水银(49)上端位置触碰第一触点(53)时,说明炉体(3)内部温度过高,此时电磁阀(20)启动从而使得第一连接管(19)连通,冷却水通过第一连接管(19)进入冷却管(22)内部位置对炉体(3)内部进行降温,从而保证炉体(3)内部温度,防止温度过高影响成品质量,之后冷却水通过第二连接管(18)被排出;

第二步:在第一连接管(19)连通时水源通过第一连接管(19)进入壳体(21)内部位置冲击叶轮(28),使得第一转轴(27)转动,从而带动第一锥齿轮(29)转动,带动第二锥齿轮(39)转动,使得第二转轴(38)转动,钢丝绳(35)缠绕在第二转轴(38)外侧端位置,钢丝绳(35)向上拉动活动环(31)移动,带动海绵垫(32)移动,擦拭炉体(3)外侧端位置,将炉体(3)外侧端湿润进行辅助降温工作,并且同时利用海绵垫(32)进行炉体(3)外侧的清洁工作,防止炉体(3)外侧端位置被杂物附着腐蚀,在第一连接管(19)关闭时,活动环(31)在重力作用下复位,移动至储存盒(30)上端位置,此时海绵垫(32)移动至储存盒(30)内部位置被储存清洁液湿润,并且拉动钢丝绳(35)复位;

第三步:在单晶炉使用时温度升高会加热第一空腔(40)内部的蒸发液(41),使得第一空腔(40)内部的压强增大,从而使得波纹软管(43)被挤压伸长,挤压挡板(11)位置,使得挡板(11)向炉体(3)中心位置转动,从而进行遮挡工作,使得飞溅的原料飞溅在挡板(11)外侧位置,对炉体(3)内部设备进行保护,防止损坏。


技术总结
本发明公开了一种单晶炉及其使用方法,包括支撑架、炉体和固定块,所述支撑架上端位置固定设置有支撑板,所述支撑板上端位置固定安装设置有炉体,所述支撑板上端右侧位置垂直固定设置有第一支撑杆。本发明转动操作环,使竖直杆通过螺纹上下移动,调节标记块位置,使得到达合适刻度线位置,并且同时使得活塞块沿着第一空心块向下移动,使用者可根据具体需要进行调节工作,然后在使用时炉体温度升高,使得水银膨胀,当水银上端位置触碰第一触点时,说明炉体内部温度过高,此时电磁阀启动从而使得第一连接管连通,冷却水通过第一连接管进入冷却管内部位置对炉体内部进行降温,从而保证炉体内部温度,防止温度过高影响成品质量。

技术研发人员:程国峰
受保护的技术使用者:程国峰
技术研发日:2021.01.29
技术公布日:2021.05.11
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