将如上所述的 样品之一进行10分钟的第一蚀刻，得到的样品表面的Rq是232nm，偏度是-0.5,峰度是 3。这表明蚀刻之后，进行第一蚀刻的样品表面由随机间隔的谷制成。另一方面，使用具 有GAA中的4% NH4F的NH4F混合物，将如上所述的样品之一进行10分钟的第二蚀刻，得到 的样品表面的Rq是4nm，偏度是-0.3,峰度是4。这表明，在蚀刻之后，虽然进行第二蚀刻 的样品表面仍然由随机间隔的谷制成，但第二蚀刻产生的随机间隔的谷的幅值比第一蚀 刻产生的幅值更低。
[0065] 图6是流程图，其显示使用玻璃载体10来加工薄的柔性玻璃基材20的方法（500) 的第一方面的第二实施例。参考图6所示的实施例，可提供（501)包含释放区域50和安 装区域40的玻璃载体10。
[0066] 在提供（501)玻璃载体10之后，可通过使包含氟化铵混合物的蚀刻剂与释放区 域50相接触一定时间段，为玻璃载体10的释放区域50提供（502)纹理化表面。释放区域 50与包含氟化铵混合物的蚀刻剂相接触的时间段可为约1分钟-约10分钟。可使纹理化 表面的Rq大于约2nm且等于或小于约6nm。
[0067] 蚀刻剂可由可溶的化学物质组成。可将蚀刻剂印刷在玻璃载体10的释放区域50 上。蚀刻剂的印刷可包括但不限于在玻璃载体10的释放区域50上丝网印刷或镂空版印刷 (stencil printing)蚀刻剂。蚀刻剂可以凝胶蚀刻剂的形式来施加。凝胶蚀刻剂可由下 述物质组成：氟化铵混合物和增稠剂。氟化铵混合物可由下述物质组成：在冰醋酸中的氟 化铵溶液。氟化铵溶液的浓度可为约13%-约20%。氟化铵溶液可为40%的氟化铵水溶 液。
[0068] 在提供（502)玻璃载体10的释放区域50之后，可从玻璃载体10去除（503)蚀 刻剂。去除（503)蚀刻剂可包含淋洗（505)蚀刻剂和随后后续地干燥（506)玻璃载体10。
[0069] 在去除（503)蚀刻剂之后，可将薄的柔性玻璃基材20的安装区域结合（504)到 玻璃载体10的安装区域40。这样，在（502)为玻璃载体10的释放区域50提供的纹理化 表面可防止薄的柔性玻璃基材20目标区域结合到玻璃载体10的释放区域50。
[0070] 在将薄的柔性玻璃基材20的安装区域结合（504)到玻璃载体10的安装区域40之 后，可将薄的柔性玻璃基材20的安装区域从薄的柔性玻璃基材20的目标区域去除（507)， 从而从玻璃载体10释放薄的柔性玻璃基材20的目标区域。
[0071] 在将薄的柔性玻璃基材20的安装区域结合（504)到玻璃载体10的安装区域40 之后，可为薄的柔性玻璃基材20的目标区域提供（508)功能特征。在为薄的柔性玻璃基 材20的目标区域提供（508)功能特征之后，可进行从薄的柔性玻璃基材20的目标区域去 除（507)薄的柔性玻璃基材20的安装区域，从而从玻璃载体10释放薄的柔性玻璃基材20 的目标区域。
[0072] 类似于图3的方法（300)，图6的方法（500)可表示用于纹理化玻璃的湿化学蚀 刻方法，其将使得玻璃载体10的释放区域50的表面进行纹理化。可进行释放区域50表面 的纹理化，以使得在用于包括但不限于手机、平板电脑和电视的显示器装置的液晶显示器 (LCD)或有机发光二极管（OLED)加工过程中，玻璃载体10能用作刚性基材来支撑薄的柔性 玻璃基材20。
[0073] 图6的方法（500)的湿化学蚀刻方法的化学蚀刻可包含将玻璃载体10暴露于蚀 刻剂，该蚀刻剂由氟化铵的40%水性混合物与冰醋酸的混合物组成。可将化学蚀刻选择性 地施加到玻璃载体10来在玻璃载体10的一个表面上产生一个或多个释放区域50,该释放 区域50通过化学蚀刻进行纹理化。通过控制蚀刻剂的组成、浓度和温度以及将玻璃载体10 暴露于蚀刻剂的持续时间，来决定释放区域50的纹理。
[0074] 与图3的方法（300)相反，图6的方法（500)将玻璃载体10暴露于蚀刻剂可将 蚀刻剂丝网印刷或镂空版印刷到玻璃载体10上来进行。例如，图3的方法（300)中当清 洁的玻璃载体10的一侧上使用粘附性膜进行层压时，而在图6的方法（500)中，可根据 待通过施加蚀刻剂进行图案化的释放区域50的所需的尺寸，将蚀刻剂选择性地丝网印刷 或镂空版印刷在玻璃载体10上。
[0075] 将蚀刻剂丝网印刷或镂空版印刷到玻璃载体10上可能需要添加增稠剂，这得到 触变性凝胶，其与丝网印刷或镂空版印刷工艺相兼容。例如，可添加来自聚环氧乙烷家族 的水-可溶的聚合物，其可从DowWolff Cellulosics?公司购买，商标是Polyox ?。所得凝 胶蚀刻剂可仍然在玻璃载体10上保持1-10分钟的时间段，然后可将玻璃载体10淋洗3次 并干燥。
[0076] 同样地，玻璃载体10可为不同类的玻璃，包括但不限于，Gorilla8i玻 璃，EagleXG^玻璃，Lotus?玻璃，和钠钙玻璃。玻璃载体10可用来支撑不同类型的薄 的柔性玻璃基材20,包括但不限于，Willow?玻璃。
[0077] 在一实施例中，使用两种不同蚀刻凝胶丝网印刷EagleXG#玻璃的2"的正方形料。 凝胶之一包含GAA中的20% NH4F溶液的NH4F混合物以及20% Polyox? N80。另一种凝胶 包含GAA中的16% NH4F溶液的NH4F混合物以及20% Polyox? N80。蚀刻剂暴露的持续时 间在1分钟到10分钟的时间段内变化。然后将样品在去离子水中进行淋洗并吹干。然后， 使用Zygo NewView?型号7300白光光学轮廓仪，来测量样品的表面纹理。显微镜装置是具 有2倍变焦的20倍透镜。所得表面纹理化参数总结于表2。
[0078] 表 2
[0080] PV表示"峰谷"，并表示最高的峰和最低的谷之间的距离。
[0081 ] 基于表2所示的纹理范围，使用通过Polyox? N80增稠的16% NH4F/GAA混合物， 并使用310mmX410mm丝网印刷蚀刻剂凝胶图案将Eagle XC玻璃载体蚀刻3分钟。图7 表示由如上所述的蚀刻条件得到的载体表面的纹理参数。
[0082] 在这之后，将图案化的载体预结合到360mmX460mmX0. 13mm Willow?玻璃，并在 400 °C下热结合10分钟。然后，划割和打碎图案化的Eag I e XG'e玻璃载体和Wi I low?玻璃 的结合的组件。玻璃载体的安装区域和Willow?玻璃结合的区域以整体件的形式进行打 碎。玻璃载体的释放区域和Willow?玻璃的相应区域发生破碎，并且玻璃载体和Willow ? 玻璃清楚地分离。
[0083] 虽然方法（500)提供一种在宽范围上改变玻璃载体10的释放区域50的Rq以将 Wi I low?玻璃结合到玻璃载体且后续地使得能从玻璃载体释放Wi I low ?玻璃的一部分的方 法，但所需的Rq的一个示例是约2nm。虽然可通过蚀刻时间和蚀刻剂浓度的各种组合来产 生所需的Rq，但所需的氟化铵溶液浓度的示例是约13%且所需的蚀刻时间是约3分钟。
[0084] 图8是流程图，其显示使用玻璃载体10来加工薄的柔性玻璃基材20的方法（700) 的第二方面的实施例。该方法（700)涉及使用蚀刻乳霜来对玻璃表面进行粗糙化，该蚀刻 乳霜包含氟盐、不可溶的盐、可溶的盐和无机酸的混合物，当待粗糙化的玻璃（柔性玻璃基 材20或玻璃载体10)是低尚子钠|丐玻璃时，该方法尤其有用，但也可在EagleXG^类玻璃 上使用该方法。
[0085] 参考图8所示的示例，可清洁（701)玻璃载体10来去除污染物。然后，可将玻璃 载体10设置（702)进入具有去离子水的超声浴，用于进一步清洁。在干燥（703)之后，可 使用抗酸聚乙烯层压（704)玻璃载体10,以保护玻璃载体10的安装区域40。然后，可将玻 璃载体10在稀释的氢氟酸和盐酸溶液中浸没（705)较短的时间段，以去除玻璃载体10的 非常薄的表面层并清洁和活化表面。该时间段可为5秒-10秒。
[0086] 在淋洗（706)例如在去离子水中淋洗10秒之后，使玻璃载体10暴露于（707)蚀 刻乳霜并保持30-120秒，同时使其稍微上下移动。对于这种施加，用于蚀刻乳霜的蚀刻粉 末可由下述物质组成：10-40重量％ KF作为氟源、10-40重量％ KCl或謂03作为额外的盐、 5-20重量％ BaSO4作为填料、1-10重量％淀粉，和1-10重量％聚丙烯酰胺。可将该粉末 溶解于20-50重量％浓HCl或者HCl和