1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯及其制备方法
【专利摘要】本发明提供了的化合物为1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯，其特征在于，由如下结构式所示：其制备方法为通过环戊酮与格式试剂反应生成1-甲基环戊醇；后与丙烯酰氯反应生成1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯。本发明通过提供一种化合物及其合成路线，并对合成方法进行了优化筛选，克服产率低、反应复杂、纯化难度高等问题，获得一种产率高，处理工艺简单，纯度高的产品。
【专利说明】1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯及其制备方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种有机化合物的合成方法，特别是1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯及其 制备方法。
【背景技术】
[0002] 光刻胶，又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐 射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料。经曝光和显影而使溶解度增加的是正型光刻胶， 溶解度减小的是负型光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶（包括紫外 正、负型光刻胶）、深紫外光刻胶、电子束胶、X-射线胶、离子束胶等。
[0003] 光刻胶是集成电路制作所需的关键性材料，它随集成电路的发展而发展，不断更 新换代。根据摩尔定律：集成电路的集成度每18个月翻一番。这使集成电路的加工线宽不 断缩小，对光刻胶分辨率的要求不断提高。因为光刻胶的成像分辨率与曝光波长、曝光机透 镜开口数成反比，所以缩短曝光波长是提高分辨率的主要途径。
[0004] 到目前为止光学光刻在超大规模集成电路的生产中依旧占据着主导地位。随着IC 向亚微米、深亚微米方向的快速发展，在光刻工序中原有的光刻机及相配套的光刻胶已经 无法满足新工艺的要求。因此，必须对光刻胶成膜材料、感光剂、添加剂需进行深入的研究， 以适应光刻工序新的要求。
[0005] 本发明研究发现，1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯是一种优良的电子材料，能用于制造 光刻胶材料。
[0006] 但是，在现有技术公开的用于制造光刻胶的物质比较单一有限，且合成工艺中，往 往存在提纯困难、副反应多、反应产率低、产品纯度低、不适用于大规模的工业化生产等问 题。
【发明内容】
[0007] 本发明旨在克服上述缺陷，提供一种新化合物及其合成路线，并对合成方法进行 了优化筛选，获得一种产率高，处理工艺简单，纯度高的产品。
[0008] 本发明提供了的1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯，其特征在于，由如下结构式所示：
[0009] 〇
【权利要求】
1. 1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯，其特征在于，由如下结构式所示：
〇
2. 如权利要求1所述的1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在于： 通过环戊酮与格式试剂反应生成1-甲基环戊醇；后与丙烯酰氯反应生成1-甲基-环 戊醇-丙烯酸酯。
3. 如权利要求2所述的一种1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在于，具 体工艺步骤如下所示： 步骤一、在保护气的环境下，于金属镁的溶剂溶液中，滴加溴甲烷； 步骤二、反应1-3小时； 步骤三、将反应降温至20°C以下，滴加环戊酮； 步骤四、在自然降温的过程中，反应2-5小时； 步骤五、将反应液倒入冰中，加入酸液至pH〈2 ; 步骤六、经后处理获得1-甲基环戊醇； 步骤七、加入丙烯酰氯和聚阻剂，将体系降温至KTC以下，滴加有机碱； 步骤八、将反应控制在5-15°C，反应1-2. 5小时； 步骤九、经后处理获得1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯。
4. 如权利要求3所述的一种1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在于： 所述环戊酮：金属镁：溴甲烷的摩尔比为1:1-2:1. 2-2. 2。
5. 如权利要求3所述的一种1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在于： 所述1-甲基环戊醇：丙烯酰氯：有机碱的摩尔比为1 :2-3:2-3。
6. 如权利要求3所述的一种1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在于： 在步骤一中，采用5-10%的溴甲烷引发反应，当反应引发后，将温度控制在20-40°C状 态下，滴加剩余的溴甲烷； 在步骤三中，滴加环戊酮的过程应当控制反应体系处于缓慢回流的状态； 在步骤七中，滴加有机碱的过程应当控制反应体系的温度在KTC以内。
7. 如权利要求3-6任一所述的一种1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在 于： 所述有机碱选自胺类化合物、醇的碱金属盐类、烷基金属锂化合物、胺基锂化合物中的 一种。
8. 如权利要求3所述的一种1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在于： 所述步骤六的后处理为反应液经分液、至少一次的萃取、至少一次的饱和NaCl溶液洗 涤、干燥、浓缩有机相去除溶剂获得粗产品、减压蒸馏获得纯产品。
9. 如权利要求3所述的一种1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在于： 所述步骤九中的后处理具体为：于反应液中加入饱和NaCl溶液，分液，经至少一次的 萃取、至少一次的饱和NaCl溶液洗涤、干燥、浓缩有机相去除溶剂获得粗产品。
10.如权利要求9所述的一种1-甲基-环戊醇-丙烯酸酯的制备方法，其特征在于： 于经步骤九获得的粗产品中加入聚阻剂进行减压精馏获得纯产物。
【文档编号】C07C69/54GK104447311SQ201410605577
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年10月31日 优先权日:2014年10月31日
【发明者】贺宝元, 傅志伟, 潘新刚 申请人:上海博康精细化工有限公司