聚合物及正型抗蚀剂组合物的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明的目的在于提供可良好地用作灵敏度高的正型抗蚀剂的聚合物、以及可良好地形成灵敏度优异的抗蚀剂膜的正型抗蚀剂组合物。本发明的聚合物含有α‑甲基苯乙烯单元和α‑氯丙烯酸甲酯单元，分子量超过80000的成分的比例为6.0％以下。此外，本发明的正型抗蚀剂组合物包含该聚合物和溶剂。

技术研发人员：星野学
受保护的技术使用者：日本瑞翁株式会社
技术研发日：2016.02.15
技术公布日：2017.09.26