专利名称：液滴涂敷装置、液滴涂敷方法、液晶显示面板的制造装置及液晶显示面板的制造方法
技术领域：
本发明涉及液滴涂敷装置、液滴涂敷方法、液晶显示面板的制造装置以及液晶显 示面板的制造方法，特别是涉及向涂敷对象物排出液滴并进行涂敷的液滴涂敷装置和液滴 涂敷方法、制造液晶显示面板的液晶显示面板的制造装置和液晶显示面板的制造方法。
背景技术：
在制造液晶显示面板等显示装置的情况等之下，在向作为涂敷对象物的基板上形 成例如取向膜等的涂敷膜时使用液滴涂敷装置(例如，参照专利文献1)。该液滴涂敷装置 具有从多个排出孔(喷嘴)分别向基板以液滴方式排出(喷射)涂敷液的涂敷头。液滴涂 敷装置在使平台上的基板与涂敷头相对移动的同时，利用该涂敷头向基板的涂敷面上依次 喷涂多个液滴，从而在基板的涂敷面上形成取向膜等的涂敷膜。在液晶显示面板的制造工序中，利用液滴涂敷装置在要粘合的两张基板的各自的 显示区域上形成取向膜。然后，在这些基板之中任意一个基板上以包围显示区域的方式涂 敷密封剂，在该已涂敷的密封剂的包围区域内滴落液晶。最后，在真空室等内的真空环境中 对滴落后的基板与另一个基板进行对位之后，将滴落后的基板与另一个基板加压而粘合， 从而生成液晶显示面板。专利文献1 特开平9-105937号公报然而，在上述的制造工序中，由于对粘合的两张基板向相同的纵向依次涂敷各液 滴，因此在由两张基板粘合的液晶显示面板中有条状(条纹状)的显示斑(肉眼可见斑) 变得明显的趋势，因而降低了液晶显示面板的质量。
发明内容
本发明是为解决上述课题而做出的，其目的在于，提供能够防止由条状的显示斑 引起的液晶显示面板的质量降低的液滴涂敷装置、液滴涂敷方法、液晶显示面板的制造装 置及液晶显示面板的制造方法。本发明的实施方式的第一特征在于，在液滴涂敷装置中，具有涂敷头，将涂敷液 作为多个液滴向涂敷对象物排出；移动机构，使涂敷对象物与涂敷头相对移动；以及旋转 机构，在与排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物旋转。本发明的实施方式的第二特征在于，在液滴涂敷方法中，具有旋转工序，在与利 用涂敷头排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物旋转，该涂敷头将涂敷液作 为多个液滴向涂敷对象物排出；以及涂敷工序，在使涂敷对象物与涂敷头相对移动的同时， 利用涂敷头对涂敷对象物涂敷涂敷液。本发明的实施方式的第三特征在于，在液晶显示面板的制造装置中，具有液滴涂 敷装置和粘合装置，该液滴涂敷装置具有将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂 敷头；使涂敷对象物与涂敷头相对移动的移动机构；以及在与排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物旋转的旋转机构，上述粘合装置根据粘合涂敷有涂敷液的作为涂 敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合第一涂敷对象物和第二 涂敷对象物。本发明的实施方式的第四特征在于，在液晶显示面板的制造方法中，具有旋转工 序，在与利用涂敷头排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物旋转，该涂敷头 将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出；涂敷工序，在使涂敷对象物与涂敷头相对移动 的同时，利用涂敷头对涂敷对象物涂敷涂敷液；以及粘合工序，根据粘合涂敷有涂敷液的作 为涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合第一涂敷对象物和 第二涂敷对象物。本发明的实施方式的第五特征在于，在液滴涂敷装置中，具有将涂敷液作为多个 液滴向涂敷对象物排出的涂敷头；以及使涂敷对象物与涂敷头向沿着涂敷对象物的表面的 方向相对移动的移动机构，移动机构使涂敷对象物与涂敷头相对移动，从而在根据粘合涂 敷有涂敷液的作为涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合第 一涂敷对象物和第二涂敷对象物时，使对第一涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向与 对第二涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向交叉。本发明的实施方式的第六特征在于，在液滴涂敷方法中，具有涂敷工序，该涂敷工 序在使将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷头与涂敷对象物相对移动的同时， 利用涂敷头对涂敷对象物涂敷涂敷液，在涂敷工序中，使涂敷对象物与涂敷头相对移动，从 而在根据粘合涂敷有涂敷液的作为涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的 粘合规定，粘合第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时，使对第一涂敷对象物依次喷涂多个 液滴的涂敷方向与对第二涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向交叉。本发明的实施方式的第七特征在于，在液晶显示面板的制造装置中，具有液滴涂 敷装置和粘合装置，液滴涂敷装置具有将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷 头；以及使涂敷对象物与涂敷头向沿着涂敷对象物的表面的方向相对移动的移动机构，粘 合装置根据粘合涂敷有涂敷液的作为涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时 的粘合规定，粘合第一涂敷对象物和第二涂敷对象物，移动机构使涂敷对象物与涂敷头相 对移动，从而在根据粘合规定粘合第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时，使对第一涂敷对 象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向与对第二涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向交 叉。本发明的实施方式的第八特征在于，在液晶显示面板的制造方法中，具有涂敷 工序，在使将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷头与涂敷对象物相对移动的同 时，利用涂敷头对涂敷对象物涂敷涂敷液；以及粘合工序，根据粘合涂敷有涂敷液的作为涂 敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合第一涂敷对象物和第二 涂敷对象物，在涂敷工序中，使涂敷对象物与涂敷头相对移动，从而在根据粘合规定粘合第 一涂敷对象物和第二涂敷对象物时，使对第一涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向与 对第二涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向交叉。
图1是表示本发明的一个实施方式的液晶显示面板的制造装置的概略结构的框图。图2是表示图1所示的液晶显示面板的制造装置所具有的液滴涂敷装置的概略结 构的外观立体图。图3是概略地表示图2所示的液滴涂敷装置在进行涂敷动作时的各涂敷头与基板 的位置关系的俯视图。图4是表示图1所示的液晶显示面板的制造装置所具有的研磨装置的概略结构的 示意图。图5是表示图1所示的液晶显示面板的制造装置所具有的密封剂涂敷装置的概略 结构的示意图。图6是表示图1所示的液晶显示面板的制造装置所具有的液晶滴落装置的概略结 构的示意图。图7是表示图1所示的液晶显示面板的制造装置所具有的粘合装置的概略结构的 示意图。图8是表示图1所示的液晶显示面板的制造装置进行制造动作的流程的流程图。图9是用于说明根据图8所示的液晶显示面板的制造装置进行的制造动作来进行 的液滴涂敷和粘合的说明图。图10是概略地表示作为图2所示的液滴涂敷装置的变形例的液滴涂敷装置在进 行涂敷动作时的各涂敷头与基板的位置关系的俯视图。
具体实施例方式参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。如图1所示，液晶显示面板的制造装置1具有对作为涂敷对象物的第一基板K1 和第二基板K2(以下，简称为基板K1、K2)涂敷液滴的液滴涂敷装置2 ；对已涂敷液滴的基 板Kl、K2进行烘培处理的烘培装置3 ；对已进行烘培处理的基板K1、基板K2进行研磨处理 的研磨装置4 ；对已进行研磨处理的基板K1涂敷密封剂的密封剂涂敷装置5 ；对已涂敷密 封剂的基板K1滴落液晶的液晶滴落装置6 ；对已滴落液晶的基板K1与已进行研磨处理的 基板K2进行粘合的粘合装置7 ；对已粘合的基板K1和基板K2即液晶显示面板P进行密封 剂固化的密封剂固化装置8 ；以及控制各部分的控制装置9。如图2所示，液滴涂敷装置2具有以水平状态(在图2中沿X轴方向和与其正交 的Y轴方向的状态)放置基板K1、K2的平台2a;使该平台2a向0方向(在图2中，在沿 X轴方向和Y轴方向的平面内的旋转方向)旋转的旋转机构2b ；通过该旋转机构2b使平台 2a在Y轴方向上移动的Y轴移动机构2c ；将涂敷液作为多个液滴向平台2a上的基板K1、 K2分别排出的多个涂敷头2d ；支撑这些涂敷头2d的支撑部件2e ；控制各部分的控制部2f ； 以及支撑Y轴移动机构2c和支撑部件2e的架台2g。平台2a放置在旋转机构2b上，并设置为能够以其中心为旋转中心向0方向旋 转。该平台2a利用旋转机构2b向0方向转动。此外，虽然平台2a通过自重放置了基板 K1、K2，但并不局限于此，例如，为了保持该基板K1、K2，也可以设置静电卡盘或吸附卡盘等 机构，此外，也可以设置支撑基板K1、K2的可出没的多个支撑销等。旋转机构2b放置在Y轴移动机构2c上，并设置为能够在Y轴方向上移动。该旋转机构2b与平台2a —起利用Y轴移动机构2c在Y轴方向上移动。旋转机构2b与控制部 2f电连接，其驱动由控制部2f控制。此外，作为旋转机构2b使用例如以马达为驱动源的旋 转机构等。Y轴移动机构2c放置在架台2g上，是在Y轴方向上引导旋转机构2b使其与平台 2a 一起移动的移动机构。该Y轴移动机构2c与控制部2f电连接，其驱动由控制部2f控 制。此外，作为Y轴移动机构2c使用例如以线性电动机为驱动源的线性电动机移动机构或 以马达为驱动源的进给丝杠移动机构等。各涂敷头2d在支撑部件2e上配设为例如直线状或者锯齿状。这些涂敷头2d分别 内置有与排出液滴的多个排出孔分别连通的多个液室以及改变这些液室的容积的多个压 电元件(均未图示)。各排出孔以规定的间距(间隔)排列成直线状并形成于涂敷头2d的 排出面上。例如，排出孔的数量为数十个至数百个左右，排出孔的直径为数Pm至数十ym 左右，另外，排出孔的间距为数十Pm至数百ym左右。各涂敷头2d分别与控制部2f电连 接，其驱动由控制部2f控制。涂敷头2d按照对各压电元件施加的驱动电压，利用各压电元件使各液室的容积 发生变化，从而将各液室内的涂敷液从分别与这些液室连通的排出孔作为液滴排出。用于 形成取向膜的涂敷液从存积该涂敷液的液体箱经由管等由液体箱提供至各液室内。由此， 各液室由涂敷液充满。在该状态下，若驱动压电元件，则与已驱动的压电元件对应的液室内 的涂敷液从与该液室连通的排出孔被推出，并作为液滴而排出。此外，作为用于形成取向膜 的涂敷液使用例如聚酰亚胺(PI)溶液。支撑部件2e是支撑各涂敷头2d的门型的支柱。该支撑部件2e定位成使其延伸 部沿着X轴方向，其脚部固定在架台2g的上表面而设置在架台2g上。此外，各涂敷头2d 设置在延伸部的前表面上(图2中的近前侧的面)。控制部2f具有集中地控制各部分的微机；以及存储与涂敷相关的涂敷信息和各 种程序等的存储部(均未图示)。该控制部2f设置在架台2g内。涂敷信息包括与点图形 等规定的涂敷图形、涂敷头2d的排出频率以及基板K1、K2的移动速度相关的信息等。在进 行涂敷动作的情况下，这种控制部2f根据涂敷信息控制旋转机构2b、Y轴移动机构2c以及 各涂敷头2d。在涂敷动作中，控制部2f控制旋转机构2b，如图3所示，在与从各涂敷头2d排出 多个液滴的排出方向交叉的平面内，例如在与排出方向正交的平面内(在图3中，沿X轴方 向和Y轴方向的平面内)，使平台2a上的基板Kl、K2相对于各涂敷头2d与基板Kl、K2的 相对移动方向(图3中的箭头主扫描方向)倾斜。即，控制部2f利用旋转机构2b向e 方向使平台2a上的基板Kl、K2仅旋转规定角度。在该状态下，控制部2f控制Y轴移动机 构2c和各涂敷头2d，在利用Y轴移动机构2c使各涂敷头2d与平台2a上的基板K1、K2相 对移动的同时，利用各涂敷头2d向平台2a上的基板K1、K2涂敷各液滴，从而在基板K1、K2 上形成多个取向膜M。这些取向膜M分别形成于以多面操作为目的而设在基板K1、K2上的 多个显示区域上。返回图1，烘培装置3具有加热板或烘培炉等。该烘培装置3对涂敷有各取向膜M 的基板Kl、K2进行烘培处理，使该基板Kl、K2上的各取向膜M干燥。如图4所示，研磨装置4具有放置基板Kl、K2的平台4a ；以及利用研磨布4b对该平台4a上的基板K1、K2的各取向膜M进行研磨的研磨辊4c。平台4a和研磨辊4c形成 为能够在基板K1、K2的平面方向上相对移动。研磨布4b卷绕在研磨辊4c上进行设置。该 研磨装置4使平台4a与研磨辊4c相对移动，并对相对移动的平台4a上的基板K1、K2进行 研磨处理。由此，在基板K1、K2的各取向膜M的表面上，形成多个向规定方向延伸的微少的 伤痕(槽状的伤痕)。其结果，基板K1、K2的各取向膜M能够在多个伤痕的延伸方向上使 液晶分子取向。如图5所示，密封剂涂敷装置5具有放置已进行研磨处理的基板K1的平台5a ； 以及在该平台5a上的基板K1的各取向膜M的周围涂敷密封剂B的密封剂涂敷头5b。平台 5a和密封剂涂敷头5b形成为能够在基板K1的平面方向上相对移动。密封剂涂敷头5b具 有用于排出密封剂B的喷嘴N1，对相对移动的平台5a上的基板K1涂敷密封剂B。该密封 剂涂敷装置5根据密封剂的涂敷图案使平台5a与密封剂涂敷头5b相对移动，对相对移动 的平台5a上的基板K1利用密封剂涂敷头5b涂敷密封剂B。此时，密封剂涂敷头5b在基板 K1的各取向膜M的周围，即以包围各显示区域的方式涂敷密封剂B。由此，在基板K1的各 取向膜M的周围形成包围显示区域的矩形的密封剂B的图案。如图6所示，液晶滴落装置6具有放置已涂敷密封剂B的基板K1的平台6a ；以 及在该平台6a上的基板K1的各显示区域(被密封剂B包围的各区域)上滴落液晶的液晶 滴落头6b。平台6a和液晶滴落头6b形成为能够在基板K1的平面方向上相对移动。液晶 滴落头6b具有用于滴落液晶的喷嘴N2，对平台6a上的基板K1滴落液晶。该液晶滴落装 置6使平台6a与液晶滴落头6b相对移动，从而使液晶滴落头6b定位于规定的滴落位置， 并利用液晶滴落头6b对平台6a上的基板K1滴落液晶。此时，液晶滴落头6b按照必要的 液晶量，在基板K1的各显示区域上，即被密封剂B包围的各区域上滴落液晶数次。由此，在 基板K1的各显示区域上滴落必要量的液晶。如图7所示，粘合装置7具有作为真空容器的真空室7a ；设在该真空室7a内并 以水平状态(在图7中，沿X轴方向和与其正交的Y轴方向的状态)保持基板K1的作为第 一基板保持部的第一平台7b ；设在真空室7a内并以水平状态保持基板K2的作为第二基板 保持部的第二平台7c ；使第一平台7b向XY 0方向移动的第一平台移动机构7d ；使第二平 台7c相对于第一平台7b向接近分离方向即Z轴方向移动的第二平台移动机构7e ；以及对 真空室7a内进行减压的减压部7f。真空室7a具有以可开闭的方式形成的开闭门D。从该开闭门D将基板K1和基板 K2搬入真空室7a内，并分别提供给第一平台7b和第二平台7c。在该开闭门D被关闭的 状态下，真空室7a的内部利用减压部7f进行减压而成为真空状态(压力低于大气压的状 态)。在该真空室7a的下方设置有用于基板对位的多个摄像部C1、C2。作为这些摄像部 CI、C2使用例如(XD摄像机等。此外，在真空室7a上设置有具有透光性的多个透光部T1、 T2，在第一平台7b上设置有与这些透光部T1、T2分别对置的多个贯通孔A1、A2。各透光部 Tl、T2以及各贯通孔Al、A2定位并设置如下，使各摄像部CI、C2能够拍摄分别附加在基板 K1的端部以及基板K2的端部的多个对准标记(对位用标记)。第一平台7b是利用吸引吸附或静电吸附等的保持机构保持基板K1的下平台。基 板K1放置在第一平台7b的保持面上，并由保持机构保持。此外，在基板K1的粘合面(与
9第二平台7c对置的面)上涂敷有各取向膜M和框状的密封剂B，而且，还滴有液晶。第二平台7c是利用吸引吸附或静电吸附等的保持机构保持与基板K1对置的基板 K2的上平台。基板K2放置在第二平台7c的保持面上，并由保持机构保持。此外，在基板 K2的粘合面(与第一平台7b对置的面)上涂敷有各取向膜M。第一平台移动机构7d是使第一平台7b向X轴方向、Y轴方向以及0方向(在图 7中，在沿X轴方向和Y轴方向的平面内的旋转方向)移动的机构。该第一平台移动机构7d 使第一平台7b向XY0方向移动，从而使分离状态的基板K1和基板K2进行对位。此外，通 过各摄像部CI、C2拍摄位于基板K1的端部的对准标记和位于基板K2的端部的对准标记， 并根据这些图像来进行对位。第二平台移动机构7e是使第二平台7c在Z轴方向上移动的机构。在真空室7a 处于真空状态时，该第二平台移动机构7e使第二平台7c在Z轴方向上移动，从而使第一平 台7b与第二平台7c接近，并通过密封剂B粘合基板K1和基板K2。减压部7f是通过用于排出真空室7a内的环境气体(气体)的作为排气配管的排 气管H与真空室7a连接。作为该减压部7f 使用了例如真空泵等。减压部7f 经由排气管 H吸取真空室7a内的环境气体并进行排气，从而使真空室7a内进行减压而变为真空状态。返回图1，密封剂固化装置8是对已进行粘合的基板K1和基板K2即液晶显示面板 P进行紫外线照射的紫外线照射装置。该紫外线照射装置用于将紫外线固化型的密封剂作 为密封剂B来使用的情况，而在使用其它的密封剂的情况下使用其它的密封剂固化装置。 利用该密封剂固化装置8对液晶显示面板P照射紫外线，从而使液晶显示面板P中的密封 剂B固化。控制装置9具有集中地控制各部分的微机；以及存储与液晶显示面板制造相关 的制造信息和各种程序等的存储部(均未图示)。该控制装置9根据制造信息和各种程序， 控制液滴涂敷装置2、烘焙装置3、研磨装置4、密封剂涂敷装置5、液晶滴落装置6、粘合装 置7以及密封剂固化装置8等。此外，利用机器人或传送带等的搬运装置(未图示)进行 这些装置之间的基板K1、K2的搬运。该搬运装置也是由控制装置9控制。接下来，对上述的液晶显示面板P的制造装置1所进行的制造动作进行说明。此 外，制造装置1的控制装置9根据各种程序执行制造处理。如图8所示，控制装置9利用液滴涂敷装置2对基板Kl、K2进行液滴涂敷(步骤 S1)。例如，控制装置9对液滴涂敷装置2发送执行液滴涂敷动作的命令信号。液滴涂敷装 置2的控制部2f根据由控制装置9进行的控制(接收命令信号)执行液滴涂敷处理。若在平台2a上放置基板K1、K2，则液滴涂敷装置2的控制部根据涂敷信息来控制 旋转机构2b，使平台2a上的基板K1、K2向0方向旋转规定角度并停止(参照图3)。接下 来，控制部2f根据涂敷信息来控制Y轴移动机构2c，使平台2a上的基板Kl、K2移动至规 定的涂敷开始位置。然后，控制部2f根据涂敷信息来控制Y轴移动机构2c以及各涂敷头 2d，从而在使平台2a在Y轴方向上移动的同时，使各涂敷头2d将涂敷液作为多个液滴而排 出，并对平台2a上的基板Kl、K2的涂敷面(涂敷面上的各显示区域)涂敷各液滴。此时， 各涂敷头2d向在Y轴方向上移动的平台2a上的基板Kl、K2的涂敷面排出液滴，并将在X 轴方向上排列的点列在Y轴方向上依次涂敷。由此，在基板Kl、K2的涂敷面上形成多个取 向膜M。此外，由于各涂敷头2d是在正交于基板K1、K2的移动方向的X轴方向上以包含基板K1、K2的整个宽度的方式并列设置，因此能够在基板K1、K2的涂敷面的各显示区域上一 次形成各取向膜M。这样，如图9所示，在基板K1、K2上形成各取向膜M。由于基板K1、K2相对于平台 2a上的基板K1、K2的移动方向向0方向倾斜(参照图3)，因此各取向膜M的涂敷方向变 得倾斜(参照图9中的斜线)。在此，基板K1是在每个显示区域具有电路的阵列基板，该电路包括例如多个 TFT(薄膜晶体管)和多个像素电极等。此外，基板K2是在每个显示区域具有例如对置电极 和滤色器等的对置基板。由于基板K1上的各TFT和各像素电极与基板K2上的滤色器的各 着色层以及黑矩阵的位置关系已由设计来决定，因此基板K1与基板K2的组合也是预先决 定的。由此，根据规定该组合的粘合规定进行基板K1与基板K2的粘合。即，粘合规定是粘 合涂敷后的基板K1和基板K2的情况的组合规定，规定了两张基板K1、K2以何种朝向，并使 哪个面对置并粘合的内容。例如，在图9中，涂敷后的基板K2被翻过来，并使该基板K2上的各取向膜M与基 板K1上的各取向膜M对置后与基板K1粘合。即，基板K1和基板K2如下进行粘合，使基板 K1的左上的取向膜M与基板K2的右上的取向膜M对置，基板K1的中央之上的取向膜M与 基板K2的中央之上的取向膜M对置，基板K1的右上的取向膜M与基板K2的左上的取向膜 M对置，基板K1的左下的取向膜M与基板K2的右下的取向膜M对置，基板K1的中央之下的 取向膜M与基板K2的中央之下的取向膜M对置，基板K1的右下的取向膜M与基板K2的左 下的取向膜M对置。这种粘合根据粘合规定进行。由此，旋转机构2b进行使基板Kl、K2相对于各涂敷头2d与基板Kl、K2的相对移 动方向(主扫描方向)倾斜的旋转动作，从而在根据规定基板K1与基板K2的组合的粘合 规定，粘合涂敷后的基板K1和基板K2的情况下，使对基板K1依次喷涂各液滴的涂敷方向 (取向膜M的涂敷方向)与对基板K2依次喷涂各液滴的涂敷方向(取向膜M的涂敷方向) 交叉。此外，旋转机构2b并不一定使平台2a上的基板K1、K2旋转一周以上，而是构成为以 至少能够使基板K1与基板K2的涂敷方向交叉的程度调整平台2a上的基板K1、K2即可。接下来，控制装置9利用烘培装置3对形成取向膜后的基板Kl、K2进行烘培处理 (步骤S2)。烘培装置3根据由控制装置9进行的控制，对形成有各取向膜M的基板K1、K2 进行烘培处理。由此，使基板Kl、K2上的各取向膜M干燥。而且，控制装置9利用研磨装置4对烘培处理后的基板Kl、K2进行研磨处理(步 骤S3)。若在平台4a上放置基板K1、K2，则研磨装置4根据由控制装置9进行的控制，使平 台4a与研磨辊4c相对移动，并对相对移动的平台4a上的基板K1、K2进行研磨处理(参照 图4)。由此，在基板K1、K2的各取向膜M的表面上，形成多个向规定方向延伸的微小的伤 痕(槽状的伤痕)。然后，控制装置9利用密封剂涂敷装置5对研磨处理后的基板K1进行密封剂涂敷 (步骤S4)。若在平台5a上放置基板K1，则该密封剂涂敷装置5根据由控制装置9进行的 控制，根据密封剂B的涂敷图案使平台5a与密封剂涂敷头5b相对移动，并对相对移动的平 台5a上的基板K1利用密封剂涂敷头5b涂敷密封剂B(参照图5)。此时，密封剂涂敷装置 5在基板K1的各取向膜M的周围，即以包围规定的各显示区域的方式涂敷密封剂B。由此， 在基板K1的各取向膜M的周围，以包围显示区域的方式涂敷密封剂B。
而且，控制装置9利用液晶滴落装置6对密封剂涂敷后的基板K1进行液晶滴落 (步骤S5)。若在平台6a上放置基板K1，则该液晶滴落装置6根据由控制装置9进行的控 制，使平台6a与液晶滴落头6b相对移动而将液晶滴落头6b定位于规定的滴落位置，并利 用液晶滴落头6b对平台6a上的基板K1滴落液晶。此时，液晶滴落装置6按照必要的液晶 量，在基板K1的各显示区域上、即由密封剂B包围的各区域上滴落液晶数次。由此，在由密 封剂B包围的各区域内滴落必要量的液晶。然后，控制装置9利用粘合装置7进行液晶滴落后的基板K1与研磨处理后的基板 K2的粘合(步骤S6)。若基板K1和基板K2分别保持在第一平台7b和第二平台7c上，则 粘合装置7根据由控制装置9进行的控制，利用减压部7f经由排气管H吸引真空室7a内 的环境气体并且排气，从而使真空室7a内进行减压而变为真空状态(参照图7)。在该状 态下，粘合装置7使第二平台7c在Z轴方向上移动，从而使第一平台7b与第二平台7c接 近，并通过密封剂B粘合基板K1和基板K2，从而形成液晶显示面板P。此外，粘合前的基板 K1和基板K2从真空室7a的开闭门D被分别提供给第一平台7b和第二平台7c，粘合后的 液晶显示面板P从真空室7a的开闭门D取出。在该粘合工序中，如上所述，如图9所示的基板K2被翻过来，并且使基板K2上的 各取向膜M与基板K1上的各取向膜M对置并与基板K1粘合。这种粘合根据粘合规定来进 行。由此，如图9所示，对基板K1的涂敷方向与对基板K2的涂敷方向交叉成菱形的格子状。最后，控制装置9利用密封剂固化装置8进行在液晶显示面板P中的密封剂固化 (步骤S7)。密封剂固化装置8根据由控制装置9进行的控制，对粘合后的基板K1和基板 K2即液晶显示面板P进行紫外线照射。由此，紫外线照射在液晶显示面板P上，从而液晶显 示面板P中的密封剂B固化。在这种制造动作中，在涂敷工序中，使基板Kl、K2相对于基板Kl、K2与各涂敷头 2d的相对移动方向(主扫描方向)倾斜，从而在根据基板K1和基板K2的粘合规定粘合涂 敷后的基板K1和基板K2的情况下，使基板K1的涂敷方向与基板K2的涂敷方向交叉。艮口， 平台2a利用旋转机构2b向0方向仅倾斜规定的角度，平台2a上的基板K1、K2向0方向 旋转后停止。在该状态下，平台2a利用Y轴移动机构2c在Y轴方向上移动，同时利用各涂 敷头2d对平台2a上的基板Kl、K2依次涂敷各液滴。然后，在粘合工序中，如图9所示，涂敷后的基板K2被翻过来，并且使基板K2上的 各取向膜M与基板K1上的各取向膜M对置并与基板K1粘合。该粘合根据粘合规定来进行。 由此，对基板K1的涂敷方向与对基板K2的涂敷方向交叉成菱形的格子状。从而，即使在各 基板Kl、K2的取向膜M上产生沿涂敷方向的条状的涂敷斑，也防止了这些条状的涂敷斑因 两张基板Kl、K2的粘合而重叠增强并作为显示斑显现的情况，与以往的条状(纵条纹状) 的显示斑相比变得不明显，从而能够防止液晶显示面板P的质量降低。如以上说明，根据本发明的实施方式，通过设置在与排出各液滴的排出方向交叉 的平面内旋转基板Kl、K2的旋转机构2b，在粘合涂敷后的基板K1和基板K2的情况下，能 够以使对基板K1的涂敷方向与对基板K2的涂敷方向交叉的方式对基板K1、K2依次涂敷各 液滴。由此，在粘合形成有各取向膜M的基板K1和基板K2时，对基板K1的涂敷方向与对 基板K2的涂敷方向交叉，所以即使在各基板K1、K2的取向膜M上产生沿涂敷方向的条状的 涂敷斑，也防止了这些条状的涂敷斑因两张基板Kl、K2的粘合而重叠增强并作为显示斑显现的情况，与以往的条状(纵条纹状)的显示斑相比变得不明显。其结果，能够防止由条状 的显示斑而引起的液晶显示面板P的质量降低。特别是，旋转机构2b使基板Kl、K2旋转， 从而在根据粘合涂敷后的基板K1和基板K2时的粘合规定粘合涂敷后的基板K1和基板K2 时，使对基板K1的涂敷方向与对基板K2的涂敷方向交叉。此外，通过旋转机构2b在与排出各液滴的排出方向交叉的平面内使基板K1、K2相 对于基板Kl、K2与各涂敷头2d的相对移动方向倾斜，从而各取向膜M的涂敷方向变得倾 斜，在粘合形成有各取向膜M的基板K1和基板K2时，对基板K1的涂敷方向与对基板K2的 涂敷方向交叉成菱形或正方形等的格子状，所以即使在取向膜M上产生沿涂敷方向的条状 的涂敷斑，也能够防止这些涂敷斑因两张基板Kl、K2的粘合而增强并作为显示斑显现的情 况，从而使液晶显示面板P的显示斑不明显。其它实施方式此外，本发明并不局限于上述实施方式，能够在不脱离其要点的范围内进行各种变更。例如，在本发明的实施方式中，虽然是对基板K1和基板K2以倾斜的方式依次涂敷 液滴，并将这些基板K1和基板K2粘合，但并不局限于此。例如，也可以对基板K1按纵列状 依次涂敷液滴，对基板K2按横列状依次涂敷液滴，并将这些基板K1和基板K2粘合。在这 种情况下，也能够得到与上述实施方式相同的作用效果。另外，也可以对基板K1按格子状 依次涂敷液滴，对基板K2按Z字形(例如，三角波状等)依次涂敷液滴，并将这些基板K1 和基板K2粘合，进而，也可以对基板K1按菱形的格子状依次涂敷液滴，对基板K2按Z字形 依次涂敷液滴，并将这些基板K1和基板K2粘合。在这些情况下，由控制部2f根据格子状 或Z字形的涂敷图案控制旋转机构2b。此外，在上述实施方式中，虽然是相对涂敷头2d移动基板K1、K2，但并不局限于 此，也可以相对于基板K1、K2移动涂敷头2d，使基板K1、K2与涂敷头2d相对移动即可。另外，在上述实施方式中，虽然是在与基板K1、K2的移动方向正交的X轴方向上以 包含基板K1、K2的整个宽度的方式并排使用多个涂敷头2d，但并不局限于此，也可以使用 一个涂敷头2d，或者在X轴方向上以比基板K1、K2的整个宽度短的方式并排使用多个涂敷 头2d。在这些情况下，进行对基板K1、K2的整个涂敷面分多次涂敷涂敷液的控制。此外，虽然在上述实施方式中举出了各种数值，但这些数值仅是示例，并不受其限 制。最后，在上述实施方式中，虽然是通过作为涂敷对象物的基板Kl、K2的旋转来进 行涂敷方向的变更，但并不局限于此，例如，也可以通过变更基板K1、K2与涂敷头2d的相对 移动方向来进行涂敷方向的变更。此时，例如，如图10所示，在支撑部件2e上设置使各涂 敷头2d在X轴方向上移动的X轴移动机构11，在由Y轴移动机构2c进行的基板K1、K2的 Y轴方向移动中驱动该X轴移动机构11，从而使各涂敷头2d在X轴方向上以规定的移动速 度移动。这样，通过使涂敷头2d和基板Kl、K2的其中一方在X轴方向上，另一方在Y轴方 向上同时移动，并且进行涂敷，由此，涂敷方向变得倾斜。例如，若将X轴方向与Y轴方向的 移动速度设为相同的速度，并使涂敷头2d与基板Kl、K2相对移动，则对基板Kl、K2的涂敷 方向变为45°。此外，若X轴方向与Y轴方向的移动速度设为1 4之比，则涂敷方向变为 约 14°。
产业上的可利用性如下。以上虽然说明了本发明的实施方式，但不过是举出了具体例子而已，并不特别限 定本发明，各部分的具体结构等能够适当地变更。此外，在实施方式中记载的作用以及效果 不过是列举了由本发明产生的最好的作用以及效果，本发明的作用以及效果并不限定于本 发明的实施方式所记载的内容。本发明用于例如对涂敷对象物排出液滴并涂敷的涂敷装置 和涂敷方法、以及制造液晶显示面板的制造装置和制造方法等。
权利要求
一种液滴涂敷装置，其特征在于，具有涂敷头，将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出；移动机构，使上述涂敷对象物与上述涂敷头相对移动；以及旋转机构，在与排出上述多个液滴的排出方向交叉的平面内使上述涂敷对象物旋转。
2.如权利要求1所述的液滴涂敷装置，其特征在于，上述旋转机构使上述涂敷对象物旋转，从而在根据粘合涂敷有上述涂敷液的作为上述 涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合上述第一涂敷对象物 和上述第二涂敷对象物时，使对上述第一涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向与 对上述第二涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向交叉。
3.如权利要求1或2所述的液滴涂敷装置，其特征在于，上述旋转机构在上述平面内使上述涂敷对象物相对于上述涂敷对象物与上述涂敷头 的相对运动方向倾斜。
4.一种液滴涂敷方法，其特征在于，具有旋转工序，在与利用涂敷头排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使上述涂敷对象物 旋转，该涂敷头将涂敷液作为上述多个液滴向涂敷对象物排出；以及涂敷工序，在使上述涂敷对象物与上述涂敷头相对移动的同时，利用上述涂敷头对上 述涂敷对象物涂敷上述涂敷液。
5.如权利要求4所述的液滴涂敷方法，其特征在于，在上述旋转工序中，使上述涂敷对象物旋转，从而在根据粘合涂敷有上述涂敷液的作 为上述涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合上述第一涂敷 对象物和上述第二涂敷对象物时，使对上述第一涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷 方向与对上述第二涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向交叉。
6.如权利要求4或5所述的液滴涂敷方法，其特征在于，在上述旋转工序中，在上述平面内使上述涂敷对象物相对于上述涂敷对象物与上述涂 敷头的相对移动方向倾斜。
7.一种液晶显示面板的制造装置，其特征在于，具有液滴涂敷装置和粘合装置，上述液滴涂敷装置具有将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷头；使上述 涂敷对象物与上述涂敷头相对移动的移动机构；以及在与排出上述的多个液滴的排出方向 交叉的平面内使上述涂敷对象物旋转的旋转机构，上述粘合装置根据粘合涂敷有上述涂敷液的作为上述涂敷对象物的第一涂敷对象物 和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合上述第一涂敷对象物和上述第二涂敷对象物。
8.如权利要求7所述的液晶显示面板的制造装置，其特征在于，上述旋转机构使上述涂敷对象物旋转，从而在根据上述粘合规定粘合上述第一涂敷对 象物和上述第二涂敷对象物时，使对上述第一涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方 向与对上述第二涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向交叉。
9.如权利要求7或8所述的液晶显示面板的制造装置，其特征在于，上述旋转机构在上述平面内使上述涂敷对象物相对于上述涂敷对象物与上述涂敷头 的相对移动方向倾斜。
10.一种液晶显示面板的制造方法，其特征在于，具有旋转工序，在与利用涂敷头排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使上述涂敷对象物 旋转，该涂敷头将涂敷液作为上述多个液滴向涂敷对象物排出；涂敷工序，在使上述涂敷对象物与上述涂敷头相对移动的同时，利用上述涂敷头对上 述涂敷对象物涂敷上述涂敷液；以及粘合工序，根据粘合涂敷有上述涂敷液的作为上述涂敷对象物的第一涂敷对象物和第 二涂敷对象物时的粘合规定，粘合上述第一涂敷对象物和上述第二涂敷对象物。
11.如权利要求10所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，在上述旋转工序中，使上述涂敷对象物旋转，从而在根据上述粘合规定粘合上述第一 涂敷对象物和上述第二涂敷对象物时，使对上述第一涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的 涂敷方向与对上述第二涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向交叉。
12.如权利要求10或11所述的液晶显示面板的制造方法，其特征在于，在上述旋转工序中，在上述平面内使上述涂敷对象物相对于上述涂敷对象物与上述涂 敷头的相对移动方向倾斜。
13.一种液滴涂敷装置，其特征在于，具有涂敷头，将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出；以及移动机构，使上述涂敷 对象物与上述涂敷头向沿着上述涂敷对象物的表面的方向相对移动，上述移动机构使上述涂敷对象物与上述涂敷头相对移动，从而在根据粘合涂敷有上述 涂敷液的作为上述涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合上 述第一涂敷对象物和上述第二涂敷对象物时，使对上述第一涂敷对象物依次喷涂上述多个 液滴的涂敷方向与对上述第二涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向交叉。
14.一种液滴涂敷方法，其特征在于，具有涂敷工序，该涂敷工序在使将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷头与 上述涂敷对象物相对移动的同时，利用上述涂敷头对上述涂敷对象物涂敷上述涂敷液，在上述涂敷工序中，使上述涂敷对象物与上述涂敷头相对移动，从而在根据粘合涂敷 有上述涂敷液的作为上述涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定， 粘合上述第一涂敷对象物和上述第二涂敷对象物时，使对上述第一涂敷对象物依次喷涂上 述多个液滴的涂敷方向与对上述第二涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向交叉。
15.一种液晶显示面板的制造装置，其特征在于， 具有涂敷装置和粘合装置，上述涂敷装置具有将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷头；以及使上述 涂敷对象物与上述涂敷头向沿着上述涂敷对象物的表面的方向相对移动的移动机构，上述粘合装置根据粘合涂敷有上述涂敷液的作为上述涂敷对象物的第一涂敷对象物 和第二涂敷对象物时的粘合规定，粘合上述第一涂敷对象物和上述第二涂敷对象物，上述移动机构使上述涂敷对象物与上述涂敷头相对移动，从而在根据上述粘合规定粘 合上述第一涂敷对象物和上述第二涂敷对象物时，使对上述第一涂敷对象物依次喷涂上述 多个液滴的涂敷方向与对上述第二涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向交叉。
16.一种液晶显示面板的制造装置，其特征在于， 具有涂敷工序，在使将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷头与上述涂敷对象物 相对移动的同时，利用上述涂敷头对上述涂敷对象物涂敷上述涂敷液；以及 粘合工序，根据粘合涂敷有上述涂敷液的作为上述涂敷对象物的第一涂敷对象物和第 二涂敷对象物时的粘合规定，粘合上述第一涂敷对象物和上述第二涂敷对象物，在上述涂敷工序中，使上述涂敷对象物与上述涂敷头相对移动，从而在根据上述粘合 规定粘合上述第一涂敷对象物和上述第二涂敷对象物时，使对上述第一涂敷对象物依次喷 涂上述多个液滴的涂敷方向与对上述第二涂敷对象物依次喷涂上述多个液滴的涂敷方向 交叉。
全文摘要
在液滴涂敷装置(2)中，具有涂敷头(2d)，将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物(K1、K2)排出；移动机构(2c)，使涂敷对象物(K1、K2)与涂敷头(2d)相对移动；以及旋转机构(2b)，在与排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物(K1、K2)旋转。
文档编号B05C13/02GK101855593SQ20088011518
公开日2010年10月6日 申请日期2008年11月6日 优先权日2007年11月8日
发明者原晓, 山崎贵弘, 盐崎唯史, 神户诚, 重山昭宏, 铃木英幸 申请人:芝浦机械电子装置股份有限公司;夏普株式会社