专利名称：用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置。
背景技术：
太阳能铸锭坩埚装料前需喷涂氮化硅以隔离石英坩埚与硅液。在喷涂过程中需加热石英坩埚，使氮化硅液均勻的吸附在坩埚表面，形成粉状涂层。现有的坩埚加热旋转台的每块侧板都是由两块不锈钢板构成，两块不锈钢板把加热板夹在中间。加热板的结构是 用石棉包裹着加热元件如加热丝，加热丝两侧再由钢板压紧，整个结构没有弹性。现有的侧板的问题是因为坩埚的形状不规则，加热板没有弹性，导致各个加热板接触紧固程度不一样，缝隙过大的部位温度就低，容易造成局部温度过低，不利于喷涂质量的提高。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，克服现有设备加热不均勻的问题，改善喷涂质量。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，在侧板上装有若干弹簧，弹簧上再装加热板，加热板为柔性加热板。柔性加热板由多层不同材料组成，最外侧为载体，然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板，护板为铝板，加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本实用新型的有益效果是该侧板能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度， 提高喷涂质量，减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现，提高多晶硅锭的收益率。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
图1是本实用新型的侧板的结构示意图；图2是本实用新型的加热板的结构示意图；图中，2.加热板，3.侧板，5.弹簧，6.不锈钢板，7.硅胶发泡板，8.镍铬丝加热元件，9.导热硅胶布，10.铝板，11.导热硅胶板。
具体实施方式
如
图1所示，一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，在侧板3上装有若干弹簧 5，弹簧5上再装加热板2，加热板2为柔性加热板。如图2所示，柔性加热板由多层不同材料组成，最外侧不锈钢板6做载体，然后依次是弹性很强的硅胶发泡板7，既可以增加加热板的弹性，又可以把热量阻隔在侧板3的内侧；硅胶发泡板7后是镍铬丝加热元件8 ；镍铬丝加热元件8后是导热硅胶布9，导热硅胶布9主要是用来作绝缘用的；再之后加入一层铝板10来保护加热板2的内侧；最内侧是导热硅胶板11，直接接触坩埚，保护坩埚不被刮坏。铝板10与不锈钢板7会影响加热板的弹性，所以在铝板10和不锈钢板7上切割间距Imm厚的缝。
权利要求1.一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，其特征是在侧板C3)上装有若干弹簧 (5)，弹簧(5)上再装加热板(2)，加热板(2)为柔性加热板。
2.根据权利要求1所述的用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，其特征是所述的柔性加热板由多层不同材料组成，最外侧为载体，然后依次是硅胶发泡板(7)、加热元件、导热硅胶布(9)、护板和导热硅胶板(11)。
3.根据权利要求2所述的用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，其特征是所述载体为不锈钢板(6)，护板为铝板(10)，加热元件为镍铬丝加热元件(8)。
4.根据权利要求3所述的用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，其特征是在铝板 (10)和不锈钢板(6)上切割出多道增加铝板(10)和不锈钢板(6)弹性的缝。
专利摘要本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，在侧板上装有若干弹簧，弹簧上再装加热板，加热板为柔性加热板。柔性加热板由多层不同材料组成，最外侧为载体，然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板，护板为铝板，加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本实用新型的有益效果是该侧板能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度，提高喷涂质量，减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现，提高多晶硅锭的收益率。
文档编号B05C9/14GK202180030SQ20112023257
公开日2012年4月4日 申请日期2011年7月4日 优先权日2011年7月4日
发明者应建平, 朱正春, 李洪洪 申请人:常州天合光能有限公司