专利名称：工件传送和运输设备以及工件传送和运输方法
技术领域：
本发明涉及一种用于将工件如芯片型电子元件从一个运输台传送到另一运输台和运输它们同时进行各种处理如它们的电性能、种类等的测量的设备和方法，特别涉及一种工件传送和运输设备以及工件传送和运输方法，本发明能适应朝向在多个运输台之间进行的更高速度运输发展的趋势和适于检测工件的外观。
背景技术：
用于传送和运输芯片型电子元件等的设备例如在日本特开平10-74673号公报中有介绍。这个现有技术的设备按照图5中所示的方式构成。这种工件传送和运输设备20包括第一运输台21和第二运输台22，它们具有互相成直角延伸的旋转轴。多个工件存储槽23和24形成在运输台21和22的各个外周边部分中，以便在圆周方向按照规则间距排列。
分开的工件供给装置25位于第一运输台21附近。从供给装置25供应的工件W一个接一个地被收集在间歇旋转的第一运输台21的工件存储槽23中。在借助于间歇旋转的运输台21运输工件时，在第一处理器26中对工件W进行外部检测或电性能的测量。在第一处理器26中将之后被推断是有缺陷的或非标准的那些工件W卸下。
在第一处理器26中被认为是无缺陷的那些工件借助工件传送装置27被传送到第二运输台22的工件存储槽24。第一和第二运输台21和22以分离方式间歇地旋转并在它们各自的工件存储槽23和24互相相对时暂停。在借助间歇旋转的第二运输台22运输工件时，在第二处理器28中对工件W进行检测等。
在第二处理器28中进行工件W表面的外部检测，用于补偿在第一处理器26中的检测。在第二处理器28中被检测到具有缺陷的那些工件W借助第二运输台22被传送到卸载部件29。被推断是无缺陷的那些工件被运输到下一处理站，而被推断有缺陷或非标准的那些工件在卸载部件29被卸下。
在按照这种方式构成的传送和运输设备20中，运输台21和22按照上述方式间歇地旋转以运输工件W。因此，在有些情况下，在运输台21和22间歇旋转时，可能由于震动产生故障。此外，由于工件传送装置27中的挤压导致可能不会适当地传送工件W，或者由于工件传送装置27的受限的传送速度或间歇旋转的受限的旋转速度而使设备不适应朝着更高速度处理发展的趋势。
因此，为了解决间歇旋转的这个问题，在日本特开平11-268824号公报中描述一种连续旋转运输台的芯片元件传送设备。这个现有技术设备按照如图6和7中所示的方式构成。图6是该传送设备的平面图。在这个传送设备中，馈送盘30和运输盘32并排设置。在馈送盘30中形成空腔31。运输盘32的周边部分形成有空腔33，该空腔33储存芯片元件和其它工件W。
工件W如芯片元件被单独地传送到馈送盘30的空腔31中。在馈送盘30旋转的同时运输工件，并将它们单独地传送到与馈送盘30邻接的运输盘32的空腔33中。然后，在运输盘32旋转时再次运输工件W，并单独地传送到载带35的空腔36。
图7A、7B和7C连续示出了工件W从图6的馈送盘30传送到运输盘32的路径。如图7A所示，通过空气虹吸将工件W保持在馈送盘30的外周边中的空腔31之一中。工件W从馈送盘30的外周边突出。当工件W与运输盘32的空腔33之一相对时停止馈送盘30的空气虹吸。同时，在对运输盘32的空腔33进行空气虹吸时，将工件W传送到运输盘32。
根据现有技术，盘30和32互相同步地连续旋转，以便馈送盘30的空腔31依次面对运输盘32的空腔33。但是，这个现有技术具有以下问题。
(1)馈送盘30和运输盘32需要高精度的同步旋转。如果进行的同步旋转具有最轻微的偏差，从空腔31突出的工件W可能相对于运输盘32的外周边运行并破裂。例如，在有些情况下，在空腔31和33与工件W之间可能收集灰尘，或者可能不能适当地开关空气虹吸，因此不能平滑地传送工件W。
例如，如图7B所示，工件W有时可能在馈送盘30和运输盘32之间的中间位置停止。如果在这个状态中盘30和32在图7B中的箭头的方向继续旋转，则工件W将受到空腔31和33之间的弯曲力。在这种情况下，工件W或空腔31和33可能破裂。
(2)如果为了解决在(1)项中所述的问题而扩大空腔31和33与工件W之间的间隙，不能稳定地传送工件W。这样，运输盘32的空气虹吸将经受增加的泄漏，因此用于工件W的虹吸力降低了。
(3)在运输工件W的同时进行工件W的性能测量或外部检测。如果工件W与空腔31和33之间的间隙太宽，工件W的位置改变，因此测量或检测容易失败。
(4)由于在馈送盘30和运输盘32连续旋转的同时在盘30和32之间传送工件W，因此难以使用传感器。而且，由于盘30和32连续旋转，在出现故障的情况下它们不容易立即停止。另一方面，图5中所示的运输台21和22间歇地旋转。因此，可以借助传感器检测工件W中的故障，或者运输台21和22可以立即停止。
根据常规间歇旋转系统(图5)，如上所述，尽管操作高度可靠，但是处理速度很低。另一方面，尽管连续旋转系统(图6和7)具有高处理速度，但是它们的可靠性不够。
发明内容
因而，本发明的目的是提供一种工件传送和运输设备以及工件传送和运输方法，能够可靠地传送和运输工件并确保提高的处理速度。
根据本发明的方案，提供一种工件传送和运输设备，它包括第一和第二运输台，第一和第二运输台具有用于在其周边部分固定工件的多个工件固定器，并且这些工件固定器互相相邻和基本上齐平地排列，该设备将工件从第一运输台传送到第二运输台并借助第二运输台运输工件。该工件传送和运输设备包括位于第一和第二运输台之间的工件传送部分，第一和第二运输台互相同步地连续旋转，并且在将固定在第一运输台的工件固定器之一中的工件在工件传送部分中传送到第二运输台的工件固定器之一之后，借助第二运输台传送每个工件。
根据这种结构，第一和第二运输台连续旋转，并在被固定在第一运输台的工件固定器中的工件到达工件传送部分时，将工件传送到第二运输台的工件固定器。例如，在工件运输期间进行工件的外观的检测或其电性能的测量。
由于第一运输台连续旋转，因此在与第一运输台的旋转方向相同的方向(例如，逆时针方向)上的力矩(moment)以及作用在工件上的离心力作用在工件传送部分中。因此，当工件离开第一运输台时，随着它被弹性地传送到第二运输台的工件固定器，它在上述力矩的方向旋转。这样，可以牢固地传送工件以适应朝着更高速处理发展的趋势。
优选地，第一和第二运输台将工件从位于相对于工件传送方向的上游一侧的第一运输台的工件固定器传送到处于下游一侧的第二运输台的工件固定器。
优选地，第一和第二运输台在相反方向围绕其旋转中心旋转，因此运输台的各个工件固定器在工件传送部分中在相同方向运动。
优选地，第一运输台的每个工件固定器是具有能够按照以下方式固定每个工件的表面的L形凹槽形式的，使得工件固定器在运输台内部，以大于0°和小于45°的角度，向相对于旋转方向在前端的运输台的轨迹的切线倾斜。
优选地，第二运输台的每个工件固定器是具有能够按照以下方式固定每个工件的表面的L形凹槽形式的，使得工件固定器在运输台内部以大于0°和小于45°的角度向相对于旋转方向在后端的运输台的轨迹的切线倾斜。
优选地，第一和第二运输台的各个工件固定器相对于工件传送部分中的点而对称地设置。
优选地，在第一运输台的每个工件固定器的L形凹槽的角部形成连接到负压力源的虹吸端口。
优选地，在第二运输台的每个工件固定器的L形凹槽的角部形成连接到负压力源的虹吸端口。
优选地，连接第一运输台的旋转中心和第一运输台的工件固定器的L形凹槽的角部的线与连接第二运输台的旋转中心和第二运输台的工件固定器的L形凹槽的角部的线隔开并在工件传送部分中互相平行延伸。
优选地，第一和第二运输台的各个工件固定器单独地形成有虹吸端口，虹吸端口与负压力源连接，并通过开关装置能够开关压力，其中负压力源产生低于大气压力的负压力。
开关装置的例子是改变大气压力和低于大气压力的负压力之间的压力的选择阀。开关装置的另一例子是改变低于大气压力的负压力和高于大气压力的正压力之间的压力的选择阀。
根据本发明的另一方案，提供一种工件传送和运输方法，包括在低于大气压力的负压力下将工件吸引到第一旋转运输台周边部分的工件固定器上和运输工件的步骤，以及将工件从第一运输台的工件固定器传送到第二运输台的工件固定器的步骤。该工件传送和运输方法包括以下步骤取消第一运输台的工件固定器中的负压力，由此在位于第一和第二运输台之间的工件传送部分中，从第一运输台的工件固定器卸下工件；和在低于大气压力的负压力下，将从第一运输台卸下的工件吸引到第二运输台的工件固定器，由此将工件传送到第二运输台，并借助第二运输台运输工件。
优选地，取消第一运输台的工件固定器中的负压力，以便借助离心力将从工件固定器上卸下的工件传送到第二运输台的工件固定器，其中离心力是随着第一运输台旋转产生的。
优选地，在从工件固定器卸下工件时，将高于大气压力的正压力施加于第一运输台的工件固定器。
图1是根据本发明实施例的工件传送和运输设备；图2是表示图1中的部分A的工件传送和运输设备的一部分的放大平面图；图3是表示固定在图1中所示的工件传送和运输设备的第一运输台的工件固定器中的工件的平面图；图4A-4C是表示借助该设备传送工件的路径的图1的工件传送和运输设备的部分平面图；
图5是表示常规传送和运输设备的外形的透视图；图6是表示另一常规传送和运输设备的平面图；和图7A-7C是分别表示图6中所示的传送和运输设备的操作的工艺的平面图。
具体实施例方式
下面参照图1-4C介绍本发明的实施例。
如图1所示，工件传送和运输设备1包括第一和第二运输台2和3，它们分别位于相对于工件W运输方向的运输的上游侧和下游侧。运输台2和3基本上在同一平面上水平排列。除了第一和第二运输台2和3之外，工件传送和运输设备1可包括另一运输台(例如第三或第四运输台)。
第一运输台2是盘形的，它可以围绕旋转中心C1在箭头R1所示方向连续旋转。多个工件固定器4以规则间距设置在第一运输台2的外周边上的圆周方向。第二运输台3是盘形的并与第一运输台2共享外部直径，并且可以围绕旋转中心C2在由箭头R2所示方向，即在与第一运输台2的旋转方向相反的方向连续旋转。多个工件固定器5也以规则间距设置在第二运输台3的外周边上的圆周方向上。
借助运输台2和3的各个工件固定器4和5固定立方体或长方体形式的工件W，即电子元件芯片。工件传送部分6设置在运输台2和3互相最靠近的它们之间的位置上。在工件传送部分6中，运输台2和3在同一平面上互相邻接，以便它们可以将工件W从工件固定器4之一传送到工件固定器5之一。引导部件(未示出)位于工件传送部分6之下，以便工件W可以在水平方向滑动。
如图2所示，一个工件固定器4是L形的，其具有互相垂直延伸的短边4a和长边4b。长边4b在第一运输台2内部以角度θ倾斜于相对于旋转方向在前端上的运输台2的轨迹的切线T1。另一工件固定器5也为L形的其具有互相垂直延伸的短边5a和长边5b。长边5b在第二运输台3内部以角度θ向相对于旋转方向在后端上的运输台3的轨迹的切线T1倾斜。角度θ大于0°且小于45°(0°＜θ＜45°)。
在工件传送部分6中，工件固定器4和5的各个短边4a和5a互相平行延伸。长边4b和5b也互相平行延伸。虹吸端口7和8分别在凹槽中单独打开，其中凹槽形成在工件固定器4和5的角部4c和5c中。端口7和8分别借助虹吸孔9和10与负压力源P相通(如图3示意示出的)。用做开关装置的螺线选择阀V位于负压力源P与孔9和10之间。阀V用于在负压力源P、大气压力和(如果需要的话)高于大气压力的压力之间转换孔9和10中的压力。
如图2所示，连接运输台2的旋转中心C1和工件传送部分6中的虹吸端口7的第一运输台2的中心线由φ1表示。此外，连接运输台3的旋转中心C2和虹吸端口8的第二运输台3的中心线由φ2表示。第二运输台3的中心线φ2相对于第一运输台2的中心线φ1在运输台3的旋转的后端上偏移，偏移的距离由图2中的y表示。这些中心线φ1和φ2互相平行延伸。
因此，在工件传送部分6中，工件固定器4和5的各个位置互相偏移，偏移量为y，并且不互相相对。这样，工件固定器4和5相对于工件传送部分6中的点对称地设置。
优选地，偏移量y应该至少等于图3中所示的尺寸Z。在从以角度θ倾向于垂直线H的工件W的长边的角部在水平方向独立延伸的四个段L1、L2、L3和L4当中，尺寸Z是两个内部段L1和L2之间的距离。
如图2所示，在工件传送部分6中第一和第二运输台2和3之间的间隔X优选等于或稍小于工件W的每个短边(在宽度方向的尺寸h)的余弦(hcosθ)。
在工件传送部分6中第一和第二运输台2和3之间的间隔X还取决于工件固定器4和5的深度。简言之，只需要在工件固定在一个固定器中时防止工件W干扰工件固定器4和5中的另一个。
在工件传送部分6中，第一和第二运输台2和3的各个工件固定器4和5在相同方向移动。更具体地说，围绕中心C1旋转的第一运输台2的旋转方向R1和围绕中心C2旋转的第二运输台3的旋转方向R2互相相反。例如，第一运输台2的每个工件固定器4的短边4a位于相对于旋转方向R1的前端上，第二运输台3的每个工件固定器5的短边5a位于后端上。
分离工件供给装置11设置在第一运输台2的一部分外周边上，以便沿着运输台2的切线延伸。第一处理器12位于相对于运输台2的旋转方向的分离工件供给装置11的前端上。它用于检测工件W的外观或测量其电性能。如图3所示，第一处理器12设有多个照相机13，用于外部检测工件W的两个或四个表面。
第二处理器14设置在第二运输台3的一部分外周边上。用于输送工件W的工件输送部件15位于相对于运输台3的旋转方向的第二处理器14的前端。与第一处理器12一样，第二处理器14设有多个照相机，用于工件W的四个(或两个)其它表面的外部检测。在第二处理器14中进行工件W的表面的外观检测，该检测是对在第一处理器12中进行的检测的补偿。
下面介绍工件传送和运输设备1的操作。
第一和第二运输台2和3分别在图1中的箭头R1和R2所示的方向连续旋转。在工件固定器4和5的各个虹吸端口7和8中，在由负压力源P产生的负压力下，通过虹吸孔9和10吸入大气。在没有工件W固定在工件固定器4和5中的区域中，如工件输送部件15，通过开关机构(未示出)防止了虹吸端口7和8中的大气虹吸作用。
当从分离工件供给装置11向一个第一运输台2的工件固定器4馈送工件W时，通过工件固定器4的虹吸端口7将其虹吸进来。工件W的短边由工件固定器4的短边4a固定，工件W的长边由长边4b固定。
随着第一运输台2在箭头R1的方向旋转，当工件W到达第一处理器12时，借助照相机13进行其外观检测或其电性能的测量。被第一处理器12断定为有缺陷或非标准的那些工件W借助处理器12卸下。只有被第一处理器12断定为没有缺陷的那些工件W被运输到工件传送部分6，同时第一运输台2旋转。
现在参见图4A-4C，将介绍从第一运输台2的工件固定器4之一向第二运输台3的工件固定器5之一传送工件W的路径。图4A表示在工件W刚要到达传送部分6之前时的状态。在这个状态中，虹吸孔9与负压力源P(如图3所示)连通，以便虹吸端口7附近的区域保持在负压力下。这个工件W借助工件固定器4固定。
当再选择阀V转换时，工件固定器4的虹吸孔9与负压力源P断开并暴露于工件传送部分6中的气氛。这样，虹吸端口7中的负压力突然接近大气压力，因此取消了工件固定器4的工件保持力。然而，如果第一运输台2的旋转速度相对较低，只将虹吸孔9暴露于大气压力有时会导致取消工件保持力的失败。在这种情况下，通过给虹吸孔9施加稍高于大气压力的正压力而正向地取消工件保持力。
如果取消了工件固定器4的工件保持力，作用在工件W上并伴随着第一运输台2的旋转的如图4B所示的离心力F使工件W离开固定器4。离心力F由F＝mrω2给出，其中m是工件W的质量，r是从运输台2的中心到工件W的距离，ω是运输台2的旋转角速度。
已经离开第一运输台2的工件固定器4的工件W被传送到与运输台2同步旋转的第二运输台3的工件固定器5，如图4C所示。
由于第一运输台2在箭头R1的方向连续旋转，除了已经作用在工件W上的离心力F之外，逆时针力矩Wm也作用在工件W上，如图4B所示。这是因为工件W围绕其本身的轴和围绕第一运输台2旋转。因此，当工件W离开运输台2时，它被传送到第二运输台3的工件固定器5，同时在逆时针方向(力矩Wm的方向)旋转。
当这样做时，在第二运输台3的L形工件固定器5的角部附近形成的虹吸端口8的附近的区域保持在负压力下，这是由于虹吸孔10连接到负压力源P。因此，如图4C所示，已经被传送到工件固定器5的工件W借助于固定器5的虹吸被固定并在箭头R2的方向被运输。除此之外，按照其角部Wa插入虹吸端口8中的方式将工件W传送到工件固定器5，如图4A、4B和4C所示。这样，可以安全地传送工件W。
随着第二运输台3连续旋转，将被传送到运输台3的工件固定器5的工件W运输到第二处理器14。在第二处理器14中进行外观检测，例如，被工件固定器4的两个表面4a和4b遮蔽的工件W的表面的外观检测，其中这种外观检测是对在第一处理器12中进行的检测的补偿，。被第二处理器14断定是有缺陷或非标准的那些工件W借助于处理器14卸下。只有被断定是无缺陷的那些工件W被传送到工件传输部件15。
在工件传输部件15中，工件固定器5的虹吸孔10与负压力源P断开，并暴露于大气。这样，虹吸端口8中的压力突然等于大气压力，以至于取消了工件固定器5的工件保持力。如果需要的话，稍高于大气压力的正压力可以施加于虹吸孔10的内部。如果取消了工件固定器5的工件保持力，则从工件固定器5卸下工件W并将其传输到下一工作站。
随着第一和第二运输台2和3按照这种方式连续旋转，固定在第一运输台2的工件固定器4中的工件W到达工件传送部分6。当工件W到达传送部分6时，它被传送到第二运输台3的工件固定器5，并借助于运输台3进行传输。在按照这种方式运输工件W的同时，进行其外观检测或其性能的测量。
而且，由于第一运输台2连续旋转，力矩Wm以及离心力F作用在工件传送部分6中的工件W上。因此，在工件W的角部Wa离开运输台2时，它滑进第二运输台3的虹吸端口8中，同时在力矩Wm的方向旋转。这样，可以从第一运输台2向第二运输台3安全地传送工件W。
前面已经作为与前述实施例相结合的工件W的例子描述了具有矩形平面形状的电子元件芯片。但是，工件不限于电子元件，例如，还可以是具有正方形平面形状的树脂或金属元件。而且，代替在负压力下将工件吸引到工件固定器上，可以借助磁力或机械夹力将工件固定在工件固定器上。
权利要求
1.一种工件传送和运输设备(1)，包括第一和第二运输台(2，3)，第一和第二运输台具有用于在其周边部分固定工件(W)的多个工件固定器(4，5)，并且这些工件固定器互相相邻和基本上齐平地排列，该设备将工件(W)从第一运输台(2)传送到第二运输台(3)并借助第二运输台(3)运输工件(W)，其特征在于该工件传送和运输设备(1)包括位于第一和第二运输台(2、3)之间的工件传送部分(6)；第一和第二运输台(2，3)互相同步地连续旋转；和在将固定在第一运输台(2)的工件固定器(4)之一中的工件(W)在工件传送部分(6)中传送到第二运输台(3)的工件固定器(5)之一之后，借助第二运输台(3)运输每个工件(W)。
2.根据权利要求1所述的工件传送和运输设备，其特征在于，第一和第二运输台(2，3)将工件(W)从位于相对于工件运输方向的上游侧的第一运输台(2)的工件固定器(4)传送到位于下游侧的第二运输台(3)的工件固定器(5)。
3.根据权利要求1所述的工件传送和运输设备，其特征在于，第一和第二运输台(2，3)围绕其旋转中心(C1，C2)在相反方向(R1，R2)旋转，以便运输台(2，3)的各个工件固定器(4，5)在工件传送部分(6)中在相同方向运动。
4.根据权利要求1所述的工件传送和运输设备，其特征在于，第一运输台(2)的每个工件固定器(4)是L形凹槽形式，该L形凹槽具有能够按照以下方式固定每个工件(W)的表面(4a，4b)，即工件固定器(4)在运输台(2)的内部以大于0°且小于45°的角度(θ)向相对于旋转方向在前端的运输台(2)的轨迹的切线(T1)倾斜。
5.根据权利要求1所述的工件传送和运输设备，其特征在于，第二运输台(3)的每个工件固定器(5)是L形凹槽形式，该L形凹槽具有能够按照以下方式固定每个工件(W)的表面(5a，5b)，即工件固定器(5)在运输台(3)的内部以大于0°且小于45°的角度(θ)向相对于旋转方向在后端的运输台(3)的轨迹的切线(T2)倾斜。
6.根据权利要求1所述的工件传送和运输设备，其特征在于，第一和第二运输台(2，3)的各个工件固定器(4，5)相对于工件传送部分(6)中的点而对称地设置。
7.根据权利要求4所述的工件传送和运输设备，其特征在于，在第一运输台(2)的每个工件固定器(4)的L形凹槽的角部(4c)中形成连接到负压力源(P)的虹吸端口(7)。
8.根据权利要求5所述的工件传送和运输设备，其特征在于，在第二运输台(3)的每个工件固定器(5)的L形凹槽的角部(5c)中形成连接到负压力源(P)的虹吸端口(8)。
9.根据权利要求1所述的工件传送和运输设备，其特征在于，第一运输台(2)的每个工件固定器(4)是L形凹槽形式，该L形凹槽具有能够按照以下方式固定每个工件(W)的表面(4a，4b)，即工件固定器(4)在运输台(2)的内部以大于0°且小于45°的角度(θ)向相对于旋转方向在前端的运输台(2)的轨迹的切线(T1)倾斜；第二运输台(3)的每个工件固定器(5)是L形凹槽形式，该L形凹槽具有能够按照以下方式固定每个工件(W)的表面(5a，5b)，即工件固定器(5)在运输台(3)的内部以大于0°且小于45°的角度(θ)向对于旋转方向在后端的运输台(3)的轨迹的切线(T2)倾斜；并且连接第一运输台(2)的旋转中心(C1)和第一运输台(2)的工件固定器(4)的L形凹槽的角部(4c)的线(φ1)与连接第二运输台(3)的旋转中心(C2)和第二运输台(3)的工件固定器(5)的L形凹槽的角部(5c)的线(φ2)在工件传送部分(6)中隔开和互相平行延伸。
10.根据权利要求1所述的工件传送和运输设备，其特征在于，第一和第二运输台(2，3)的各个工件固定器(4，5)独立地形成有虹吸端口(7，8)，虹吸端口(7，8)通过能够切换压力的开关装置(V)与负压力源(P)连接，该负压力源(P)产生低于大气压力的负压力。
11.根据权利要求10所述的工件传送和运输设备，其特征在于，开关装置(V)是在大气压力和低于大气压力的负压力之间改变压力的选择阀。
12.根据权利要求10所述的工件传送和运输设备，其特征在于，开关装置(V)是在低于大气压力的负压力和高于大气压力的正压力之间改变压力的选择阀。
13.一种工件传送和运输方法，包括在低于大气压力的负压力下将工件(W)吸引到旋转的第一运输台(2)的周边部分上的工件固定器(4)上和运输工件(W)的步骤以及将工件(W)从第一运输台(2)的工件固定器(4)传送到第二运输台(3)的工件固定器(5)的步骤，其特征在于，包括取消第一运输台(2)的工件固定器(4)中的负压力，由此在位于第一和第二运输台(2，3)之间的工件传送部分(6)中，从第一运输台(2)的工件固定器(4)卸下工件(W)；和在低于大气压力的负压力下，将从第一运输台(2)卸下的工件(W)吸引到第二运输台(3)的工件固定器(5)，由此将工件(W)传送到第二运输台(3)，并借助第二运输台(3)运输工件(W)。
14.根据权利要求13所述的工件传送和运输方法，其特征在于，取消第一运输台(2)的工件固定器(4)中的负压力，以便借助离心力将从工件固定器(4)上卸下的工件(W)传送到第二运输台(3)的工件固定器(5)，其中离心力是随着第一运输台(2)旋转产生的。
15.根据权利要求13所述的工件传送和运输方法，其特征在于，在从工件固定器(4)卸下工件(W)时，将高于大气压力的正压力施加于第一运输台(2)的工件固定器(4)。
全文摘要
一种工件传送和运输设备(1)具有多个运输台(2，3)。在运输台(2，3)的各个周边部分上形成用于固定工件(W)的多个工件固定器(4，5)。在每对相邻运输台(2，3)之间传送和运输每个工件(W)。在相邻运输台(2，3)之间设置工件传送部分(6)。相邻运输台(2，3)互相同步地连续旋转。在工件传送部分(6)中，将已经固定在一个运输台(2)的工件固定器(4)之一中的工件(W)传送到另一运输台(3)的工件固定器(5)之一。
文档编号B65G49/05GK1648021SQ20041003932
公开日2005年8月3日 申请日期2004年1月19日 优先权日2004年1月19日
发明者小笠原深志 申请人:东京威尔斯股份有限公司