专利名称：浮起运送装置以及浮起单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及在使玻璃基板等基板浮起的状态下向运送方向进行运送 的浮起运送装置、以及利用空气等气体压力使基板浮起的浮起单元。
背景技术：
近年，在无尘运送的领域中，关于浮起运送装置进行了各种开发，作 为浮起运送装置的现有技术具有在下述专利文献1中公开的发明。
现有技术的浮起运送装置具备支承框，在该支承框上设置有将基板向 运送方向运送的运送单元。另外，在支承框上，利用空气的压力使基板浮 起的多个浮起单元沿着运送方向以及与该运送方向正交的运送宽度方向 设置。在各浮起单元的上表面，形成有喷出空气的喷嘴。在此，各浮起单 元与风扇等的空气供给源连通。
因此，通过空气供给源将空气供给到各浮起单元内部并从各浮起单元 的喷嘴喷出空气，并且适当地使运送单元工作。由此，在通过浮起运送装 置使基板浮起的状态下，能够将基板向运送方向运送。
专利文献1:日本国特开2006 - 182563号公才艮
一般地，为了充分地确保多个浮起单元的浮起性能即浮起运送装置整 体的浮起性能，必须使邻接(adjacent)的浮起单元的间隙的上侧部分(上 部间隙)狭窄。
今后，作为运送对象的基板有日益大型化的倾向。在运送大型化的基 板的情况下，使邻接的浮起单元的上部间隙狭窄时，在邻接的浮起单元之 间形成的通路的截面积变小，从浮起单元的喷嘴喷出的空气难以逃逸到基 板的外侧。由此，从下方向基板的中央部作用的空气的压力变高，基板发 生中央部(基板的中央部)隆起的变形。随之，基板的端部下沉，基板的 端部和浮起单元等发生干涉，并且容易发生基板的损伤。也就是，在充分地确保浮起运送装置整体的浮起性能的同时运送大型 化的基板的情况下，存在如下问题避免基板的端部和浮起单元等之间的 干涉来抑制基板的损伤是困难的。
发明内容
本发明的目的是为解决前述问题提供一种新结构的浮起运送装置以 及浮起单元。
本发明的第l发明一种浮起运送装置，在使基板浮起的状态下向运送
方向进行运送，具有支承框；运送单元，其设置在所述支承框上且将基 板向运送方向运送；多个浮起单元，沿着所述运送方向以及与所述运送方 向正交的运送宽度方向设置在所述支承框上，并利用气体的压力使基板浮 起。所述浮起单元分别具有在上表面形成有喷出气体的喷嘴的浮起单元 主体；设置在该浮起单元主体的下表面的、内部与所述浮起单元主体的内 部连通的浮起单元脚。所述浮起单元脚的所述运送方向的最大外形尺寸比 所述浮起单元主体的所述运送方向的最大外形尺寸小。各浮起单元脚与供 给气体的气体供给源连通。
此外，在本申请的权利要求书以及说明书中，所谓"设置，，不仅限于 直接地设置的情况，也包含通过支架等其他部件间接地设置的情况。另夕卜， 所谓"气体"包含空气、氩气气体、窒素气体等。
根据第l发明，通过所述气体供给源分别将气体供给到各浮起单元脚 的内部，并从各浮起单元主体的所述喷嘴分别喷出空气，并且适当地使所 述运送单元适当工作。由此，在使基板浮起的状态下，能够将基板向运送 方向运送(所述浮起运送装置的一般作用)。 '
各浮起单元具有所述浮起单元主体；设置在所述浮起单元主体的下 表面的、所述运送方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主体的所述运送方 向的最大外形尺寸小的所述浮起单元脚。由此，即使在所述运送方向上邻 接的所述浮起单元主体的间隔[即，在所述运送方向上邻接的所述浮起单 元的间隙的上侧部分(上部间隙)]狭窄，在所述运送方向上邻接的所述 浮起单元脚的间隔也能够扩大。因此，能够较大地确保在所述运送方向上
5邻接的所述浮起单元之间形成的通路的截面积，并能够容易使从多个所述 浮起单元主体(浮起单元)的所述喷嘴喷出的气体逃逸到基板的外侧(所 述浮起运送装置的特有作用)。本发明的第2发明是一种浮起单元，利用气体的压力使基板浮起，具有在上表面形成有喷出气体的喷嘴的浮起单元主体；设置在所述浮起单所述浮起单元脚的单元长度方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主体的 所述单元长度方向的最大外形尺寸小。根据第2发明，准备多个所述浮起单元，作为结构要素使用第l发明 的所述浮起运送装置的情况下，也能够发挥与所述浮起运送装置的特有作 用同样的作用。发明的效果狭窄，也能够较大地确保所述通路的截面积，并能够容易地使从多个所述 浮起单元的所述喷嘴喷出的气体逃逸到基板的外侧。由此，在能够充分地 确保所述浮起运送装置的浮起性能且运送大型化的基板的情况下，能够高 效地确保基板的平坦度，能够避免基板的端部和所述浮起单元等的干涉， 能够充分地抑制基板的损伤。
图1是沿图2中的I-I线的图。图2是本发明的第1实施方式的浮起运送装置的局部俯视图。 图3是沿图2中的Ill-Ill线的图。 图4是表示图2中的箭头部IV的图。图5 (a)是本发明的第1实施方式的浮起单元的俯视图，图5 (b) 是本发明的第1实施方式的浮起单元的主视图。图6是本发明的第2实施方式的浮起运送装置的局部俯视图。 图7是沿图6中的VII-VII线的图。图8 (a)是图7中的箭头部VIII的放大图。图8 (b)是图8 (a)的侧视图。附图标记的说明p通路w基板1浮起运送装置3支承框5支承台11运送单元25腔室27取入口29贯通孔31风扇37浮起单元39浮起单元主体41喷嘴43浮起单元脚45浮起运送装置47遮蔽板具体实施方式
(第1实施方式)参照图1至图5说明本发明的第1实施方式。图1是沿图2中的I-I 线的图。图2是第1实施方式的浮起运送装置的局部俯视图。图3是沿图 2中的III-III线的图。图4表示图2中的箭头部IV的图。图5 (a)是第1 实施方式的浮起单元的俯视图。图5(b)是第1实施方式的浮起单元的主 视图。此外，附图中，"FF，，表示前方向，"FR"表示后方向，"L"表 示左方向，"R"表示右方向。如图2至图4所示，第1实施方式的浮起运送装置l是在例如使玻璃 基板等基板W浮起的状态下将基板W向运送方向(前后方向)运送的装置，并具备在前后方向上延伸的支承框3。支承框3具有在前后方向上延伸 的支承台5;在该支承台5的下侧一体地设置的多个支柱7;连结多个支 柱7的多个加强部件9。在支承台5上设置有将基板W向运送方向运送的运送单元11 (参照 图4)。并说明该运送单元11的具体结构。如图2所示，在支承台5的左端缘附近以及右端缘附近，支承基板W 的端缘部的多个能够旋转的运送辊(靠左的运送辊13和靠右的运送辊13 ) 通过支架15在前后方向上隔开间隔地设置(参照图2以及4)。在各运送 辊13的旋转轴上， 一体地设置有蜗轮17。另外，在支承台5的左右端缘， 分别通过轴承以能够旋转的方式设置有在前后方向上延伸的驱动轴19。各 驱动轴19具有处于对应关系的与蜗轮17啮合的多个蜗杆21。在支承台5 的左右前端，分别设置有使各驱动轴19旋转的运送电机23。各运送电机 23的输出轴通过联轴器等与具有对应关系的驱动轴19的前端一体地连 结。此外，代替使用两个运送电机23使两#^区动轴19旋转的情况，也可 以使用一个运送电机使其旋转。另外，代替具有多个运送辊13以及运送 电机23等的运送单元11,也可以使用运送单元，其具有把持基板W的端 部并在前后方向上移动的夹持器。如图1至图3所示，在支承台5上，设置有在左右方向(与运送方向 正交的运送宽度方向)上延伸的、收容空气的多个腔室25。多个腔室25 是隔开间隔在前后方向(运送方向)并列设置。各腔室25中，在下侧具 有能够取入空气的多个取入口 27 (参照图1)。在各腔室25的上表面， 形成有多个贯通孔29 (参照图1)。在各取入口 27上，通过支架33安装 有将空气供给到腔室25的内部的风扇(空气供给源的一例)31。此外， 在前后方向上邻接的腔室25之间，形成有在左右方向上延伸的、向地板B 侧开口的开口部35。在各贯通孔29上，设置有利用空气的压力使基板W浮起的浮起单元 37。即，在支承台5上，多个浮起单元37通过多个腔室25沿着前后方向 以及左右方向设置。并说明各浮起单元37的具体结构。 -8如图l及图5(a)、 (b)所示，各浮起单元37具有中空的矩形的 浮起单元主体39。在各浮起单元主体39的上表面，形成有喷出空气的狭 缝状的喷嘴41。另外，各喷嘴41与浮起单元主体39的内部连通，如曰本 国特开2006 - 182563号公报所示，相对于垂直方向，向单元中心侧(浮 起单元37的中心侧)倾斜(参照图5 (b))。此外，代替狭缝状的喷嘴 41，也可以形成孔状的多个喷嘴。在各浮起单元主体39的下表面中央， 一体地形成有中空的圆筒形的 浮起单元脚43。各浮起单元脚43的下端一体地与贯通孔29的周缘部连结。 另外，各浮起单元脚43的内部与腔室25的内部连通。各浮起单元脚43 通过腔室25与风扇31连通。各浮起单元脚43的前后方向(单元长度方向)的最大外形尺寸比浮 起单元主体39的前后方向的最大外形尺寸小。各浮起单元37构成为，其 侧视形状为由浮起单元主体39和浮起单元脚43形成的T字形状(参照图 3)。另外，各浮起单元脚43的左右方向(单元宽度方向)的最大外形尺 寸也比浮起单元主体39的左右方向的最大外形尺寸小。各浮起单元37构 成为，其主视形状为由浮起单元主体39和浮起单元脚43形成的T字形状 (参照图4以及图5(b))。接着，对本发明的第1实施方式的作用以及效果进行说明。通过多个风扇31向各腔室25的内部供给空气，由此空气被供给到各 浮起单元脚43的内部，并从各浮起单元主体39的喷嘴41喷出。另外， 根据两个运送电机23的驱动，两根驱动轴19同步旋转，通过蜗轮17和 蜗杆21的喷合，使多个左右的运送辊13向同一方向旋转。由此，在通过 浮起运送装置1使基板W浮起的状态下，能够将基板W向前后方向(前方 向或后方向)运送(浮起运送装置1的一般作用)。浮起运送装置1除了前述一般作用以外，还能发挥以下作用。各浮起 单元37具有浮起单元主体39;设置在浮起单元主体39的下面中央的、 最大外形尺寸(前后方向以及左右方向的最大外形尺寸)比浮起单元主体 39的最大外形尺寸小的浮起单元脚43。侧视形状以及主视形状为由浮起 单元主体39和浮起单元脚43形成的T字形状。由此，即使邻接的浮起单元主体39 (在前后方向上邻接的浮起单元主体39、在左右方向上邻^妻的浮起单元主体39 )的间隔[即，邻接的浮起单元37的间隙的上侧部分(上 部间隙)]狭窄，邻接的浮起单元脚43的间隔也能够扩大。因此，能够 较大地确保邻接的浮起单元37之间形成的通路P(参照图1、 3、 4、 5(b)) 的截面积，能够容易地使从多个浮起单元主体39 (浮起单元37)的喷嘴 41喷出的空气逃逸到基板W的外侧(浮起运送装置1的特有的作用)。因此，根据第1实施方式，即使邻接的浮起单元37的上部间隙狭窄， 也能够较大地确保通路P的截面积，能够容易地使从多个浮起单元37的 喷嘴41喷出的空气逃逸到基板W的外侧。由此，在能够充分地确保浮起 运送装置1的浮起性能的同时运送大型化的基板W的情况下，能够高效地 保持基板W的平坦度，并且能够避免基板W的端部(包含前端部)和浮起 单元37等之间的干涉，能够充分地抑制基板W的损伤。(第2实施方式)参照图6至图8说明本发明的第2实施方式。图6是第2实施方式的浮起运送装置的局部俯视图。图7是沿图6中 的VII-VII线的图。图8 (a)是图7中的箭头部VIII的放大图。图8(b) 是图8 (a)的侧视图。此外，附图中，"FF"表示前方向，"FR"表示 后方向，"L"表示左方向，"R"表示右方向。如图6以及图7所示，第2实施方式的浮起运送装置45是在使基板 W浮起的状态下将基板W向运送方向(前后方向)运送的装置，具有与第 1实施方式的浮起运送装置1大致相同的结构。以下，浮起运送装置45 的具体结构中，对与浮起运送装置1的结构不同的部分进行说明。此外， 浮起运送装置45中的多个结构要素中，关于与浮起运送装置1中的结构 要素对应的部分，在图中使用相同的附图标记并省略它们的说明。在前后方向上邻接的浮起单元37之间，设置有合成树脂制的截面-字状的遮蔽板47。遮蔽板47是通过注射成型制作的。另外，遮蔽板47 的上表面具有与浮起单元主体39的上表面大致相同的高度，而且，位于 比浮起单元主体39的上表面稍低的高度。遮蔽板47的厚度为浮起单元主 体39的高度的1 / 10以下(具体地，在第2实施方式中为3.0mm以下)。 在此，遮蔽板47的厚度超过浮起单元主体39的高度的1 / 10时，要较大地确保在前后方向上邻接的浮起单元37之间形成的通5各P的截面积变得 困难。在遮蔽板47的两缘部(前后缘部)分别形成有卡合爪47s。卡合爪 47s能够与形成在浮起单元主体39上的卡合槽39g卡合。即，遮蔽板47 通过卡合爪47s和卡合槽39g的卡合，或通过解除卡合爪47s和卡合槽39g 的卡合状态，能够相对于浮起单元37进行拆装。此外，在左右方向(运送宽度方向)上邻接的浮起单元37之间也可 以设置遮蔽板。而且，根据第2实施方式，在第1实施方式的作用以及效果的基础上， 还能够发挥以下作用以及效果。在前后方向上邻接的浮起单元37之间设置有遮蔽—反47,由于遮蔽4反 47的厚度为浮起单元主体39的高度的1/10以下，所以能够较大地确保 在前后方向上邻接的浮起单元37之间形成的通^各P的截面积，并且在前 后方向上邻接的浮起单元37之间，能够充分地发挥基板W的浮起力。详 细地，基板W的前端部在运送方向上从上流侧的浮起单元37向下一个下 流侧浮起单元37移动时，能够抑制基板W的前端侧的挠曲。此外，所谓 基板W的前端部从上流侧的浮起单元37向下 一个下流侧浮起单元37移动 的情况，可以说是基板W的前端部从上流侧的浮起单元37的上方区域向 下一个下流侧浮起单元37的上方区域移动的情况。另外，由于遮蔽板47相对于浮起单元37能够拆装，所以要预先准备 长度(左右方向的长度)不同的多种遮蔽板47,由此能够与基板W的大小 等对应地调节在前后方向上邻接的浮起单元37之间的基板W的浮起力。因此，基板W的前端部从运送方向上流侧的浮起单元37向下一个下 流侧浮起单元37移动时，基板W的前端侧的挠曲被抑制，从而与基板W 的大小无关地，避免基板W的前端部和浮起单元37等的干涉，能够进一 步充分地抑制基板W的损伤。尤其，由于能够与基板W的大小等对应地调 节在前后方向上邻接的浮起单元37之间的基板W的浮起力，所以能够进 一步提高前述效果。此外，本发明不限于前述实施方式，除此以外，能够以各种方式实施。 另外，本发明的权利范围不限于这些实施方式。
权利要求
1.一种浮起运送装置，在使基板浮起的状态下向运送方向进行运送，其特征在于，具有支承框；运送单元，其设置在所述支承框上，并将基板向运送方向运送；多个浮起单元，沿着所述运送方向以及与所述运送方向正交的运送宽度方向设置在所述支承框上，并利用气体的压力使基板浮起，所述浮起单元分别具有在上表面形成有喷出气体的喷嘴的浮起单元主体；设置在该浮起单元主体的下表面且内部与所述浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚，所述浮起单元脚的所述运送方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主体的所述运送方向的最大外形尺寸小，各浮起单元脚与供给气体的气体供给源连通。
2. 如权利要求1所述的浮起运送装置，其特征在于，各浮起单元构 成为侧视形状为由所述浮起单元主体和所述浮起单元脚形成的T字形 状。
3. 如权利要求1所述的浮起运送装置，其特征在于，各浮起单元构 成为所述浮起单元脚的所述运送宽度方向的最大外形尺寸比所述浮起单 元主体的所述运送宽度方向的最大外形尺寸小，且主视形状为由所述浮起 单元主体和所述浮起单元脚形成的T字形状。
4. 如权利要求1所述的浮起运送装置，其特征在于，在所述运送方 向上邻接的所述浮起单元之间，还具有遮蔽板。
5. 如权利要求4所述的浮起运送装置，其特征在于，所述遮蔽板相 对于所述浮起单元能够拆装。
6. 如权利要求1所述的浮起运送装置，其特征在于，还具有设置 在所述支承框的、具有能够取入气体的取入口的腔室，各浮起单元脚的内部与所述腔室的内部连通，各浮起单元脚通过所述 腔室与所述气体供给源连通。
7. 如权利要求6所述的浮起运送装置，其特征在于，所述气体供给 源是设置在所述取入口的附近，并将所述气体供给到所述腔室的内部的风 扇。
8. —种浮起单元，利用气体的压力使基板浮起，其特征在于，具有 在上表面形成有喷出气体的喷嘴的浮起单元主体； 设置在所述浮起单元主体的下表面且内部与所述浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚，所述浮起单元脚的单元长度方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主 体的所述单元长度方向的最大外形尺寸小。
9. 如权利要求8所述的浮起单元，其特征在于，构成为侧视形状 为由所述浮起单元主体和所述浮起单元脚形成的T字形状。
10. 如权利要求8所述的浮起单元，其特征在于，构成为所述浮起 单元脚的单元宽度方向的最大外形尺寸比所述浮起单元主体的所述单元 宽度方向的最大外形尺寸小，且主视形状为由所述浮起单元主体和所述浮 起单元脚形成的T字形状。
全文摘要
本发明提供一种浮起运送装置(1)，在充分确保浮起性能的同时运送大型化的基板(W)的情况下，能够高效地确保基板(W)的平坦度，能够避免基板(W)的端部和浮起单元(37)等之间的干涉。在浮起运送装置(1)中，将基板W向运送方向运送的运送单元(11)设置在支承框(3)上，并且多个浮起单元(37)沿着运送方向以及运送宽度方向设置在支承框(3)上。各浮起单元(37)具有在上表面形成有喷出空气的喷嘴(41)的浮起单元主体(39)；设置在浮起单元主体(39)的下表面中央的、内部与浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚(43)。在此，浮起单元脚的运送方向的最大外形尺寸比浮起单元主体的运送方向的最大外形尺寸小。
文档编号B65G51/02GK101643152SQ20091016410
公开日2010年2月10日 申请日期2009年8月4日 优先权日2007年10月4日
发明者和田芳幸, 平田贤辅, 田中刈入 申请人:株式会社Ihi