一种气浮装置及玻璃基板传送装置的制作方法

文档序号:12757771阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气浮装置,包括:

第一架体,所述第一架体用于支撑玻璃基板;

至少两根气浮条,所述至少两根气浮条排列设置在所述第一架体的第一端面上;

其特征在于,还包括:

气管,所述气管具有至少两个支管,所述至少两个支管连接至少两根不同的气浮条;

至少两个调节模块,所述调节模块设置在所述支管上,用于调节所述支管的气流以调节相应气浮条的供气量。

2.根据权利要求1所述的气浮装置,其特征在于,所述气浮条的数量、所述支管的数量和所述调节模块的数量一致;

一所述气浮条连通一所述支管,一所述支管上设有一所述调节模块。

3.根据权利要求2所述的气浮装置,其特征在于,还包括:

至少两个测距传感器,所述测距传感器设置在所述第一架体的第一端面或所述气浮条上,用于测量所述气浮条与所述玻璃基板之间的距离值;

控制器,所述控制器分别与所述测距传感器和所述调节模块电连接,用于根据所述测距传感器获得的距离值控制所述调节模块以调节所述支管的气流。

4.根据权利要求3所述的气浮装置,其特征在于,所述测距传感器设置在所述气浮条上,且位于所述气浮条的第一端,所述第一端为玻璃基板相对所述第一端面移动的起始端。

5.根据权利要求4所述的气浮装置,其特征在于,

所述测距传感器的数量与所述气浮条的数量一致,所述测距传感器与所述气浮条一一对应。

6.根据权利要求5所述的气浮装置,其特征在于,

所述至少两根气浮条等间距设置在所述第一端面上;所述测距传感器位于每个所述气浮条的第一端的同侧。

7.一种玻璃基板传送装置,其特征在于,包括:上述权利要求1~6中任一项所述的气浮装置。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板传送装置,其特征在于,还包括:

第二架体,所述第二架体置于地面上;

传动轮组,所述传动轮组设置在所述第二架体的一端上,用于传导玻璃基板;

所述气浮装置的第一架体设置在所述第二架体上,用于当所述传动轮组传导玻璃基板时,玻璃基板的板面与所述第一架体的第一端面相对。

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