专利名称：一种加热炉体的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及加热炉体，尤其涉及一种可达到均匀加热且可避免腔体温度过闻的加热炉体，进而提升加工稳定性。
背景技术：
随着电子产品的演进，半导体科技已广泛地应用于制造内存、中央处理器(computer processing unit, CPU)、液晶显不设备(liquid crystal display, LCD)、发光二极管(light emitting diode, LED)、激光二极管以及其他装置或芯片组。而许多半导体的重要制程中，例如物理气相沉积(physical vapor deposition, PVD)化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD),通常在真空环境下执行。现有一般真空腔体内部材料采用铝、不锈钢以及钛等金属，然而在电浆轰击过程中容易于腔体产生高热，并使处理中的试片中心与边缘有温差产生热应力，热应力常常会致使内部金属材料变形，使得处理中的试片因此破裂。因此选择一可耐高热、耐高抗折性以及耐高热冲击能作为真空腔体的材料便为目前真空腔体最重要的议题之一。在日益严苛的制程均温条件要求下，均温性的优异，未来势必对产品质量与良率造成极大影响。
发明内容有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种加热炉体，藉由该结构可达到均匀加热的功效，并透过水路系统的设置可避免腔体温度过高进而提升加工稳定性。为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的一种加热炉体，其主要包含一支架；一腔体；一承载装置；多个加热单元以及多个传动单元。其中该支架用以支撑该加热炉体的系统结构；该腔体形成于该支架之上；该承载装置形成于该腔体内部，用以放置加工工件；该些加热单元形成于该腔体与该承载装置之间；以及该些传动单元的一端延伸形成于该腔体的外部，该些传动单元的另一端延伸形成于该承载装置的下方形成多个传动滚轮，用以带动该承载装置；其中该些加热单元更设置有多个水路系统，可达到均温或降温保护效果。本实用新型所提供的加热炉体，具有以下优点I)本实用新型的加热炉体具有均匀加热的功效，并可使加热有效区范围扩大；2)藉由本实用新型的水路系统可避免腔体温度过高，提高加工稳定性；3)藉由本实用新型的加热炉体可提高产品质量、延长设备使用寿命以及达到改善劳动环境的功效。
图I为本实用新型之一种加热炉体之结构示意图；图2为本实用新型之多个加热单元之结构示意图；图3为本实用新型之多个加热单元中之加热组件结构示意图；[0013]图4为本实用新型之多个传动单元之结构示意图(含局部放大部分)。主要组件符号说明100:加热炉体110:支架120:腔体130 :承载装置140 :加热单元140a :加热组件140b:加热组件的末端141 :加热组件142:固定单元143 :双向接头143k :水路系统144 :接线单元150 :传动单元150a :磁流体150b:回转接头150c:出水口150d:进水口。
具体实施方式
以下结合附图及本实用新型的实施例对本新型的加热炉体作进一步详细的说明。现请参考第I图，其为本实用新型之一种加热炉体之结构示意图100，其主要包含一支架110 ;—腔体120 ;—承载装置130 ;多个加热单元140 ;以及多个传动单元150。其中，该支架110主要用以支撑该加热炉体的系统结构，因此必须具备高强度的特点，一般可选用钢构材料。该腔体120扮演提供后续镀膜或热处理制程的角色，因此必须依照不同的需求选择不同材料的因应，一般而言，腔体材料选用铝、不锈钢、钛合金、碳纤维及其复合材料之一。在该腔体120的内部包含该承载装置130，用以放置加工工件。其中，该承载装置130选用铝、不锈钢、钛合金、碳纤维及其复合材料等。该些加热单元140形成于该腔体120与该承载装置130之间。该些传动单元150的另一端延伸形成于该承载装置130的下方形成多个传动滚轮，用以带动该承载装置130。需注意的是，该些传动单元150亦包含多个水路系统用于冷却，并达到不伤害腔体120内部构件的效果。现请参考第2图，并配合第I图，其为本实用新型之多个加热单元140之结构示意图。该些加热单元140包含一加热组件141 ;一固定单元142 ;—双向接头143以及一接线单元144。该固定单元142，罩住该加热组件141，用以固定该固定单元142与该些加热单元140的相对位置。该双向接头143，与该些加热单元140链接。该接线单元144，与该固定单元142链接，用以传送电力讯号。其中，该双向接头143更设置有多个水路系统143k，该些水路系统143k可达到最佳均温或降温保护效果。其中该些加热单元140的内部包含一加热组件141，且该加热组件141的末端140b超出该些加热单元140的末端往外延伸。在本实用新型的最佳实施例中，该加热组件141的材料选自碳化娃。现请参考第3图，其为本实用新型之多个加热单元140之加热组件141结构示意图。图中显示，黑色部分为具有加热功用的加热组件，白色部分为不具有加热功用的加热组件。当本实用新型的该加热组件141加热时可使加热有效区范围扩大。该固定单元142连接并罩住该加热组件141，用以固定该固定单元142与该些加热单元140的相对位置。此外，该固定单元142的目的为提升绝缘与隔热度的功能，亦即可避免温度过高并保护该加热组件141的相关零件，例如第四图的第一 0形环143c、该第二 0形环143e，不会因高温而毁损，造成整体该加热单元140无法保持真空度与无法密合。该接线单元144,与该加热组件140a链接,用以传送电力讯号。其中，该接线单元144由接线铝带、束紧块材与接线盒组成。该接线盒的设置为了保护工作人员若发生误触电源端时而不至于发生触电危险。现请参考第4图，并同时配合参考第I图，其为本实用新型之多个传动单元150之结构示意图(含局部放大部分)。其中，该些传动单元150的一端延伸形成于该腔体120的外部。该些传动单元150包含一磁流体150a与一回转接头150b，其中该回转接头150b更包含一出水口 150c与一进水口 150d。为达到本实用新型的均匀加热与避免腔体温度过高的功效，该些传动单元150亦具有水路系统的设置，其系设置在该磁流体150a之内。以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的保护范围。
权利要求1.ー种加热炉体,其特征在于,其主要包含 一支架，用以支撑该加热炉体的系统结构； 一腔体，形成于该支架的上方； ー承载装置，形成于该腔体的内部，用以放置加工エ件； 多个加热単元，形成于该腔体与该承载装置之间；以及 多个传动单元，其中该些传动单元的一端延伸形成于该腔体的外部，该些传动单元的另一端延伸形成于该承载装置的下方形成多个传动滚轮，用以带动该承载装置； 其中该些加热单元更设置有多个水路系统，能够达到均温或降温保护效果。
2.如权利要求I所述的加热炉体，其特征在于，其中该些加热单元的内部包含 一加热组件； 一固定単元，罩住该加热组件，用以固定该固定単元与该些加热单元的相对位置； 一双向接头，与该些加热单元链接；以及 一接线单元，与该固定单元链接，用以传送电カ讯号； 其中该双向接头更设置有多个水路系统，能够达到均温或降温保护效果。
3.如权利要求2所述的加热炉体，其特征在于，其中该固定単元具有提升绝缘与隔热度功能，避免温度过高以保护该加热组件。
4.如权利要求I所述的加热炉体，其特征在于，其中该些传动单元包含ー磁流体与一回转接头，其中该些传动单元的所述回转接头包含一出水ロ与ー进水口。
专利摘要本实用新型公开了一种加热炉体，其主要包含一支架；一腔体；一承载装置；多个加热单元；以及多个传动单元。采用该加热炉体可达到均匀加热的功效，并可避免腔体温度过高，进而提升加工稳定性。
文档编号F27D9/00GK202814076SQ201220488890
公开日2013年3月20日 申请日期2012年9月24日 优先权日2012年9月24日
发明者郭勋聪, 洪婉玲, 蔡俊毅 申请人:钜永真空科技股份有限公司