一种硅片快速风干槽的制作方法

文档序号:14765634发布日期:2018-06-23 00:26阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种硅片快速风干槽,包括第一支撑架,第一支撑架的上表面设有传送带,传送带的上表面设有橡胶条,橡胶条的上表面设有卡接槽,传送带的前后两侧面设有两个前后对称设置的护板,护板的外侧面设有支撑板,支撑板的下表面设有第二支撑架,支撑板的后侧面设有托板,托板的上表面从左往右依次设有气泵、单片机和过滤箱,过滤箱的内侧面设有电加热片,本硅片快速风干槽,结构简单,操作方便,使用时占用空间小,可以快速将清洗完成后的硅片风干,吸气嘴可以对热风进行回收,干燥器过滤网可以将空气中的水蒸气过滤清除,灰尘过滤网可以将空气中的灰尘过滤清除,橡胶条的设置有利于硅片的快速风干。

技术研发人员:陈忠海
受保护的技术使用者:苏州德瑞姆超声科技有限公司
技术研发日:2017.11.27
技术公布日:2018.06.22

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