一种新型的扩散炉的制作方法

文档序号:15958470发布日期:2018-11-16 22:05阅读:408来源:国知局

本实用新型涉及一种太阳能电池领域,具体为一种新型的扩散炉。



背景技术:

随着全球能源日趋紧张,太阳能成为新型能源得到了大力开发,太阳能电池作为绿色环保的清洁能源,安装量与日俱增。扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,扩散炉在太阳能电池链式扩散工艺中扮演着非常重要的角色,现在的扩散炉大多没有尾气处理装置,就会导致污染空气扩散在实验场地,导致实验场地环境受到污染。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种新型的扩散炉,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种新型的扩散炉,包括控制面板、尾气收集箱、扩散炉管箱和底座,所述控制面板右侧设有尾气收集箱,所述尾气收集箱右端设有扩散炉管箱,所述扩散炉管箱内部设有扩散炉管,所述扩散炉管外壁四周固定安装有加热管,所述加热管四周设有保温层,所述保温层外部设有隔热板,所述扩散炉管箱外壁上设有维修门,所述扩散炉管箱右侧设有玻璃框,所述玻璃框前壁上设有玻璃门,所述扩散炉管箱的底部设有底座,所述底座前壁上设有底座门,所述底座底部设有橡胶垫片。

优选的,所述扩散炉管内部上壁面上设有温度传感器,所述扩散炉管的左端设有通管,所述扩散炉管通过通管与尾气收集箱连接。

优选的,所述维修门、玻璃门和底座门上均设有把手。

优选的,所述底座内部设有气氛系统,所述底座门上设有通风孔。

优选的,所述扩散炉管右端上设有炉管帽,所述炉管帽与扩散炉管通过密封圈密封连接。

优选的,所述控制面板、尾气收集箱和扩散炉管箱的低端面均与底座固定连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型扩散炉,结构可靠,使用方便简单,加热保温效果好,扩散炉管内的温度传感器时刻监测扩散管内的温度情况,安装在扩散炉管左侧的尾气收集箱将炉管呢的尾气收集起来防止污染。本实用新型产品,结构简单,实用性强,安全性高,效果好,利于推广。

附图说明

图1为一种新型的扩散炉的结构示意图。

图2为一种新型的扩散炉的图1的A区放大结构示意图。

图中:1-控制面板,2-尾气收集箱,3-通管,4-保温层,5-扩散炉管箱,6-隔热板,7-加热管,8-温度传感器,9-扩散炉管,10-炉管帽,11-玻璃门,12-玻璃框,13-维修门,14-橡胶垫片,15-通风孔,16-底座门,17-底座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1~2,本实用新型提供一种技术方案:一种新型的扩散炉,包括控制面板1、尾气收集箱2、扩散炉管箱5和底座17,所述控制面板1右侧设有尾气收集箱2,所述尾气收集箱2右端设有扩散炉管箱5,所述扩散炉管箱5内部设有扩散炉管9,所述扩散炉管9外壁四周固定安装有加热管7,所述加热管7四周设有保温层4,所述保温层4外部设有隔热板6,所述扩散炉管箱5外壁上设有维修门13,所述扩散炉管箱5右侧设有玻璃框12,所述玻璃框12前壁上设有玻璃门11,所述扩散炉管箱5的底部设有底座17,所述底座17前壁上设有底座门16,所述底座17底部设有橡胶垫片14。

其中,所述扩散炉管9内部上壁面上设有温度传感器8,所述扩散炉管9的左端设有通管3,所述扩散炉管9通过通管3与尾气收集箱2连接;所述维修门13、玻璃门11和底座门16上均设有把手;所述底座17内部设有气氛系统,所述底座门16上设有通风孔15;所述扩散炉管9右端上设有炉管帽10,所述炉管帽10与扩散炉管9通过密封圈密封连接;所述控制面板1、尾气收集箱2和扩散炉管箱5的低端面均与底座17固定连接。

本实用新型的工作原理是:工作人员打开玻璃门和管帽,将要加工的物品放入扩散炉管中,加工过程的尾气收集到了尾气收集箱中,温度传感器时刻监测着管内的温度,从控制面板中得到温度信息,从而控制扩散炉管。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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