一种用于活动式炉层的清洁装置的制作方法

本发明涉及机械制造领域，尤其涉及一种用于tft湿制程中用于活动式炉层的清洁装置。

背景技术：

现有技术的面板制程中，需要定期对设备进行维护保养作业，例如：清洁制程炉内粉尘，保持其洁净度等内容。

现有的制程炉的炉体过长，上下表面狭窄情况也极为普遍。由于炉体的炉层空间狭窄，且没有专门的清洁工具，作业人员通常只使用常用的清洁工具清洁炉层的下表面，但对于炉层的上表面，由于支撑力度不均匀、炉体过长、清洁头无法紧贴炉体上表面等因素导致无法清理。

此外，现有的用于活动式炉层的清洁装置还存在清洁效率低，作业效果不佳，清洁不彻底，影响制程良率等问题。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种用于活动式炉层的清洁装置，能够应用在多种狭窄空间多面清洁的腔体中，有效清除制程炉内细小粉尘，提升产品的良率；结构精简，有效提高作业效率。

为了解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种用于活动式炉层的清洁装置，用于对制备液晶面板的炉体的多个腔室内壁进行清洁，其中：炉体的长度尺寸远大于每个炉层的上下间距尺寸，其特征在于，包括：用于对每个炉层内的粉尘进行粘附的粘附组件，粘附组件设为能够分别对每个炉层的顶表面和底表面进行清洁的两个；与粘附组件相连，用以将其中一个粘附组件抵压在炉层的顶表面，将另一个粘附组件抵压在该炉层底表面上的抵压固定支撑组件；以及连接在抵压固定支撑组件上的杆件，其中：杆体推送抵压固定支撑组件连同粘附组件在炉体腔室的内部往复移动，抵压固定支撑组件始终将粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上，粘附组件对炉体的腔室内壁进行清洁。

其中，每个炉层被多根支撑柱分割成多个区域；炉体的长度尺寸与每个炉层的上下间距尺寸间的比例小于1：16。

其中，粘附组件包括：粘附滚轮；紧固连接在粘附滚轮上进行支撑的固定支架，其中：粘附滚轮以固定支架的一转动轴为轴心进行自转。

其中，固定支架的纵截面呈n字形。

其中，粘附滚轮的长度为20cm，直径为3cm；固定支架由铝制材料制成。

其中，抵压固定支撑组件包括:分别连接在两个粘附组件上的弹性元件，弹性元件在炉体内部时处于挤压状态，分别将粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上；分别紧固连接在两个粘附组件上的活动支架。

其中，弹性元件为一弹簧，长度为6cm；活动支架为厚度为0.2cm的不锈钢板。

其中，炉体的长度大于199cm，每个炉层的上下间距小于12.5cm。

其中，杆件为由铝制材料制成的可伸缩结构。

实施本发明所提供的用于活动式炉层的清洁装置，具有如下有益效果：

第一、杆体推送抵压固定支撑组件连同粘附组件在炉体腔室的内部往复移动，抵压固定支撑组件始终将粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上，粘附组件对炉体的腔室内壁进行清洁，能够应用在多种狭窄空间多面清洁的腔体中，有效清除制程炉内细小粉尘，提升产品的良率。

第二、结构精简，布置合理，能有效提高作业效率，降低维修和维护成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例用于活动式炉层的清洁装置的主视结构示意图。

图2是本发明实施例用于活动式炉层的清洁装置的侧视结构示意图。

图3是本发明实施例用于活动式炉层的清洁装置的立体结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参见图1-图3所示，为本发明用于活动式炉层的清洁装置的实施例一。

本实施例中的用于活动式炉层的清洁装置，用于对制备液晶面板的炉体的多个腔室内壁进行清洁，其中：炉体的长度尺寸远大于每个炉层的上下间距尺寸。

本实施例中炉体的长度尺寸为200cm，每个炉层的上下间距小于12cm，炉体的长度尺寸远大于每个炉层的上下间距尺寸是指：鉴于现有制程炉的炉体过长，上下表面狭窄极为普遍，且没有专门的有效清除制程炉内细小粉尘清洁工具的状况下，炉体的长度尺寸与每个炉层的上下间距尺寸间的比例小于1：16。

进一步说，在其它实施方式中，基于炉体的长度大于199cm，每个炉层的上下间距小于12.5cm的状况下，本实施例中用于活动式炉层的清洁装置能够发挥其最大的效能，极好的应用在此种狭窄空间且多面清洁的腔体中，其具有较于普通的刷体所不具有的优势，例如：清扫范围广，能够适用于现有制程炉炉体过长，上下表面狭窄的状况等。

具体实施时，制程炉由多个炉层构成，本实施例中的单个炉体包括20层，且每条生产线上还具有此种结构的多个制程炉，可见用于活动式炉层的清洁装置的必要性。进一步的，每个炉层被多根支撑柱分割成多个区域，如此，普通的清洁刷是无法高效率的完成每个区域的清洁作业的。本实施例中每个炉层被6根支撑柱等距均匀分割，由于炉体过长、上下表面狭窄，常用的清洁工具只能清洁到下表面，对于上表面支撑力度不均匀导致刷头无法紧贴于炉层上表面，细小粉尘清洁不彻底，影响制程良率。

本实施例中的用于活动式炉层的清洁装置包括：用于对每个炉层内的粉尘进行粘附的粘附组件1，粘附组件1设为能够分别对每个炉层的顶表面和底表面进行清洁的两个；与粘附组件1相连，用以将其中一个粘附组件抵压在炉层的顶表面，将另一个粘附组件抵压在该炉层底表面上的抵压固定支撑组件2；以及连接在抵压固定支撑组件上的杆件3，其中：杆体3推送抵压固定支撑组件2连同粘附组件1在炉体腔室的内部往复移动，抵压固定支撑组件2始终将粘附组件1抵压在该炉层的顶表面和底表面上，粘附组件1对炉体的腔室内壁进行清洁。

进一步的，粘附组件1包括：粘附滚轮11；紧固连接在粘附滚轮11上进行支撑的固定支架12，其中：粘附滚轮11以固定支架12的一转动轴为轴心进行自转。本实施例子中的粘附滚轮的长度为20cm，直径为3cm，两个粘附滚轮11的结构相同；固定支架12由铝制材料制成，适合于无尘环境；固定支架12的纵截面呈n字形。采用粘附除尘的方式以及采用特定形状的固定支架的结构能够适应长度过长、上下表面狭窄的工作环境，将作业的体积降至最低。

进一步的，抵压固定支撑组件2包括:分别连接在两个粘附组件1上的弹性元件22，弹性元件22在炉体内部时处于挤压状态，分别将粘附组件1抵压在该炉层的顶表面和底表面上；分别紧固连接在两个粘附组件1上的活动支架21。

本实施例中弹性元件22为一弹簧，长度为6cm；活动支架21为厚度为0.2cm的不锈钢板。如此能够适应长度过长、上下表面狭窄的工作环境，将作业的体积降至最低。

进一步的，杆体3设为可伸缩结构，其为铝材料制成。如此能够适应长度过长、上下表面狭窄的工作环境，适合无尘环境。

实施本发明所提供的用于活动式炉层的清洁装置在具体实施时，杆体3推送活动支架21连同固定支架12和粘附滚轮11在炉体腔室的内部往复移动，弹簧始终将两个粘附滚轮11分别抵压在该炉层的顶表面和底表面上，粘附滚轮11对炉体的腔室内壁进行清洁。如此，作业人员只需实施对杆体3的推拉作业即可完成全方位、无死角的清洁作业，且无需提供额外的作用力使刷头始终紧贴于炉层上表面。此外，双粘附滚轮的结构使作业效率提升一倍。

实施本发明所提供的用于活动式炉层的清洁装置，具有如下有益效果：

第一、杆体推送抵压固定支撑组件连同粘附组件在炉体腔室的内部往复移动，抵压固定支撑组件始终将粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上，粘附组件对炉体的腔室内壁进行清洁，能够应用在多种狭窄空间多面清洁的腔体中，有效清除制程炉内细小粉尘，提升产品的良率。

第二、结构精简，布置合理，能有效提高作业效率，降低维修和维护成本。